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Technologiebild RF Plasmageneratoren

Geradores de plasma HF

Os geradores HF TruPlasma da TRUMPF Hüttinger oferecem a mais alta estabilidade de processo de todas as alimentações elétricas para a formação de plasma. A tecnologia HF é especialmente adequada para processos nos quais são necessárias a mais alta precisão e reprodutibilidade. Também no que diz respeito à eficiência energética e robustez, nossos geradores de alta frequência são líderes no mercado – por isso eles são a primeira escolha para aplicações exigentes como a fabricação de elementos de construção de semicondutores, microchips, células solares ou telas planas.

Gerador de alta frequência TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13)

Os geradores TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) são geradores de alta frequência de última geração. Graças às funções inovadoras, como a tecnologia de acoplamento patenteada CombineLine ou a medição em tempo real de todos os parâmetros de processo, o abastecimento de corrente é garantido mesmo em processos de plasma exigentes – as condições ideais para resultados reprodutíveis e alta produtividade.

Geradores de alta frequência TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF Série 3000

Os geradores de alta frequência potentes TruPlasma RF Série 3000 se destacam pela alta eficiência e estabilidade de processo. Por isso, eles são ideais para aplicação em processos de plasma exigentes, como a fabricação de telas planas, células solares ou semicondutores. Matchboxes perfeitamente ajustados ao gerador para adaptação de impedância garante uma transferência de potência ideal e estável a qualquer momento do gerador para o plasma.

VHF Generator Série 3000

TruPlasma VHF Série 3000

A máxima potência para seu processo: os geradores TruPlasma VHF Série 3000 se baseiam em um conceito de plataforma inovador que atende às exigências mais rigorosas de processo. A construção modular e resfriada somente por água dos geradores de frequência ultra-alta permite um dimensionamento da potência de saída de até 80 kW - e isso nos espaços mais apertados!

Solução de sistema catódico: Matchbox para a máxima estabilidade de processo

TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

Para o controle de um processo de plasma, o importante é a adaptação exata da impedância de saída do gerador de alta frequência. Isso é feito por Matchboxes do TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) como elemento de ligação entre o gerador e o processo. Dessa forma, surge uma solução completa para a alimentação de energia do processo - o sistema catódico TRUMPF.

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