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Solução de sistema catódico: Matchbox para a máxima estabilidade de processo
Solução de sistema catódico: Matchbox para a máxima estabilidade de processo
Estimulações por plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

Correspondência inteligente por meio da medição em tempo real

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    Solução de sistema catódico única

    Os novos Matchboxes do TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) são o complemento ideal para os geradores de alta frequência da TRUMPF Hüttinger. Graças ao algoritmo de correspondência inteligente e à plataforma de controle digital para monitoramento de processo é criada uma solução completa, na qual todos os componentes funcionam de maneira ideal - o sistema catódico da TRUMPF.

    Algoritmo de correspondência inteligente

    Ajuste de impedância rápido, estável e reprodutível a 50 Ohm mesmo em processos críticos.

    Integração ideal de todo o sistema

    Software avançado e comunicação aprimorada entre o gerador e o Matchbox.

    Medição em tempo real da potência de alta frequência

    Rastreamento automático do sistema a cada alteração de impedância do Matchbox e carga.

    Circuito de regulação fechado

    Monitoramento ideal dos parâmetros de processo e detecção rápida de arcos.

    Controle de processo de fácil utilização

    Interface de usuário gráfica e ferramentas eficientes (diagrama Smith, osciloscópio em tempo real).

    Solução de sistema catódico: Matchbox para a máxima estabilidade de processo

    Fabricação de semicondutores, células solares e telas planas

    Na fabricação de semicoundutores, células solares e telas planas, os processos estáveis de plasma são decisivos. Em conjunto com os geradores de alta frequência da TRUMPF Hüttinger, os Matchboxes TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) são uma solução completa para a máxima estabilidade de processo e produtividade.

    Apoio em revestimentos de materiais rígidos: Matchboxes do TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

    Aplicação de camadas de resina e proteção contra desgaste

    Pela aplicação de camadas funcionais, as peças de trabalho bastante exigidas recebem uma dureza mecânica aumentada, bem como estabilidade química e térmica aprimoradas. Os Matchboxes TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) garantem a qualidade de camada perfeita em conjunto com um gerador de alta frequência da TRUMPF Hüttinger.

    Ideal para o revestimento em grandes áreas: Matchboxes do TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

    Remoção e revestimento de superfícies

    Os Matchboxes TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) podem ser utilizados em todos os processos de plasma comuns para revestimento ou remoção de superfícies – por exemplo, gravações em plasma, gravação iônica reativa, pulverização catódica ou incineração de plasma fotorresistente. Junto com um gerador de alta frequência da TRUMPF Hüttinger são atingidos os melhores resultados de processo.

    Saída de alta frequência        
    Potência de saída 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
    Potência nominal 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
    Frequência de saída 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Dados de conexão de rede        
    Tensão de rede (±10%) 23,5 V - 24,5 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 23,5 V - 24,5 V
    Frequência de rede 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Interfaces de comunicação        
    Interfaces sincr. Sim Sim Sim Sim
    Analógico/Digital Sim Sim Sim Sim
    RS 232 / RS 485 Sim Sim Sim Sim
    PROFIBUS Sim Sim Sim Sim
    EtherCAT Sim Sim Sim Sim
    DeviceNet Não Não Não Não
    Carcaça        
    Peso 8 kg 27 kg 30 kg 15 kg
    Tipo de proteção IP 21 21 21 21
    Requisitos de refrigeração        
    Pressão máx. água - 6 Bar 6 Bar -
    Diferencial de pressão mín. - 1,5 Bar 1,5 Bar -
    Quantidade mín. de fluxo - 3,5 l/min 5 l/min -
    Temperatura do líquido de refrigeração - 10 °C - 30 °C 1 10 °C - 30 °C 1 -
    Informações gerais        
    Certificados / normas CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47
    Condições ambientais        
    Temperatura externa 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C
    Umidade do ar 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 %
    Pressão barométrica 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa
    PDF <1MB
    Ficha de dados técnica

    Os dados técnicos de todas as versões de produto como download.

    Garantia da potência total do gerador de alta frequência no processo

    Controle de processo perfeito a qualquer momento

    O Matchbox garante que o ajuste de impedância de 50 Ohm seja rápido e direto - assim é garantida a potência total do gerador de alta frequência no processo. A comunicação sem fio entre o Matchbox e o gerador possibilita um monitoramento de processo ideal e a detecção rápida de arcos.

    Software TruControl Power fácil de usar

    Todos os parâmetros em um só lugar

    A medição em tempo real da potência de entrada e saída de alta frequência indica as alterações de impedância dinâmicas, os sensores de refrigeração possibilitam uma previsão confiável da perda de potência. Graças ao software de operação gráfica com opções de apresentação complexas (gráfico de Smith, osciloscópio em tempo real) você mantém todos os parâmetros importantes sob controle.

    TruPlasma RF_Relatório de sistema

    TRUMPF SystemPort

    O SystemPort permite um circuito de regulagem fechado por meio da medição do sinal de RF diretamente na entrada e saída do Matchbox. Diversos valores de medição estão à disposição do gerador de RF. Assim, os parâmetros de processo podem ser melhor monitorados, o Matchbox é protegido e é possível garantir uma detecção de arco rápida. Todo o sistema de RF também pode ser controlado por interfaces do gerador individuais.

    As diferentes opções permitem uma adaptação ideal do sistema catódico TRUMPF à sua aplicação.

    Medição de corrente de alta frequência

    Medição de corrente alternada altamente precisa para detecção de anomalias de plasma, instalado no Matchbox próximo ao processo, diretamente na câmara.

    Gestão de arco

    A gestão de arcos sofisticada é o módulo ideal para o melhor controle do processo de plasma. Uma detecção de arco específica garante a maior produtividade possível e protege ainda o produto e o sistema.

    Interfaces

    Como interfaces opcionais estão disponíveis analógico/digital, PROFIBUS e EtherCAT. Padrão são EtherNet, SystemPort e RS232/485.

    Software TruControl Power fácil de usar

    TruControl Power

    O software de comando TruControl Power de fácil utilização permite uma colocação em funcionamento confortável e o monitoramento seguro do gerador de alta frequência e de todo o sistema catódico TRUMPF no processo em andamento.

    Software TruControl Power fácil de usar

    Software de comando gráfico

    Representações gráficas complexas permitem um controle total de todos os parâmetros de processo relevantes. A impedância da carga e do Matchbox são visualizadas por meio de um diagrama de Smith, a potência de entrada e saída de alta frequência, além da posição da fase e da frequência são visualizadas com ajusta de um osciloscópio em tempo real.

    O sistema catódico da TRUMPF, composto por gerador de alta frequência e Matchbox, forma um sistema perfeitamente ajustado para os melhores resultados de processo.

    Software TruControl Power fácil de usar
    Software de comando gráfico

    Representações gráficas complexas permitem um controle total de todos os parâmetros de processo relevantes. A impedância da carga e do Matchbox são visualizadas por meio de um diagrama de Smith, a potência de entrada e saída de alta frequência, além da posição da fase e da frequência são visualizadas com ajusta de um osciloscópio em tempo real.

    Oscilador mestre para estabilização de processos de plasma síncronos críticos
    Osciladores mestre

    Por causa dos osciladores mestre, os processos de plasma síncronos críticos podem ser estabilizados e otimizados. Um sintetizador digital integrado de frequência e fase garante uma grande estabilidade de frequência e fase e permite o ajuste da posição de fase em incrementos muito pequenos. Há diversas versões de osciladores mestre disponíveis para a frequência 13,56 MHz, bem como para diferentes combinações de frequência.

    Comutador de alta frequência para utilização de um gerador de alta frequência em sistemas de plasma flexíveis
    Comutador de alta frequência

    O comutador de alta frequência permite a utilização múltipla de um gerador de alta frequência em diversas estações de processo de plasma, como para alimentação de tensão de processos sequenciais ou em sistemas com diversos pontos de alimentação. Há diversos comutadores de alta frequência disponíveis em duas classes de potência com 2, 3 ou 4 saídas.

    Cabo coaxial para transmissão de potência específica
    Cabo coaxial

    Para a transmissão de potência de alta frequência, a TRUMPF Hüttinger fornece cabos coaxiais especialmente concebidos para a operação em sistemas de 50 Ohm.

    Gerador e Matchbox: uma solução de sistema perfeitamente ajustada

    Controle total do processo de plasma

    Os processos de plasma se comportam como uma carga complexa e variável que precisa receber uma alimentação elétrica de maneira contínua. Isso é feito por redes de adaptação ativas, chamadas de Matchboxes, que garantem uma adaptação precisa à impedância ideal de 50 Ohm a qualquer momento. Assim surge uma solução de sistema perfeitamente ajustada, o sistema catódico da TRUMPF. Por diversas interfaces, entre elas EtherCAT, é possível integrar o gerador e o Matchbox de maneira simples ao ambiente de processo existente. Com a ligação inteligente entre o Matchbox e o gerador, o chamado SystemPort, atinge-se a solução de sistema ideal.

    Dependendo do país, pode haver divergências na oferta de produtos e nos dados apresentados. Reserva-se o direito de efetuar alterações em tecnologia, equipamento, preço e oferta de acessórios. Entre em contato com nosso parceiro no local para saber se o produto está disponível em seu país.

    Notas de rodapé
    • A temperatura do líquido de refrigeração deve exceder o ponto de orvalho da temperatura do ar ambiente para assegurar ausência de condensação.

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    Contato

    Klaus Nock
    Vendas de plasma
    Fax: +49 761 89711150
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    Downloads

    Catálogo do sistema do TruPlasma RF
    Catálogo do sistema do TruPlasma RF
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