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Gerador bipolar TruPlasma Bipolar 4040
Gerador bipolar TruPlasma Bipolar 4040
Estimulações por plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1)

Resultados ideais da qualidade da camada

Pulsadores bipolares da mais nova geração

Os fornecimentos de energia de processo do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) foram desenvolvidos especialmente para o revestimento com base em plasma por meio dos processos de pulverização catódica reativa, PVD e PECVD e fornecem resultados excelentes com os sinais de saída de forma flexível e uma gestão de arco refinada para a fabricação de células solares e semicondutores, colocação de camadas decorativas e resistentes ao desgaste, bem como o revestimento do vidro arquitetônico.

Energia de arco extremamente baixa

Gestão de arco totalmente digital para a maior qualidade de camada e produtividade.

Formas de onda ajustáveis

Adaptação simples aos diversos processos por meio da variação do sinal de saída.

Um gerador, muitas aplicações

CC, CC pulsada e bipolar: economia de custos graças às diversas opções de ajuste.

Refrigeração de água integrada

Nenhum componente externo necessário, por isso a pouca necessidade de espaço.

Ideal para revestimento de peças de metal

Alimentação elétrica de ponta

As áreas típicas de aplicação são a produção de semicondutores e a produção fotovoltaica, o revestimento de vidro para arquitetura, bem como a fabricação de camadas decorativas e resistentes a desgaste na maior qualidade. Os processos mais usados são principalmente o PVD e PECVD.

Gestão de arco

Camadas perfeitas, alta produtividade

A gestão de arco totalmente digital com energia de arco muito baixa propicia a alta qualidade de camadas e taxas de separação. Mesmo em processos reativos exigentes, o TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) garante uma alimentação de corrente de processo constante e, assim, o estado estável do plasma.

Aplicação versátil graças à escolha flexível do sinal de saída

Mais flexibilidade, menos custos

Pelas formas de ondas ajustáveis, é possível adaptar os geradores TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) de maneira simples conforme as mais diferentes exigências de processo. Graças à escolha flexível do sinal de saída (CC, CC pulsada ou bipolar), eles podem ser usados de várias formas e ajudam a reduzir os custos operacionais em geral (TCO).

Gerador bipolar TruPlasma Bipolar 4060

Tudo em uma caixa

Graças à caixa do gerador completa protegida contra influências meteorológicas e com refrigeração de água integrada, não são necessários componentes externos.

Software PVD Power fácil de utilizar

PVD Power

O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficiente, exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).

Por meio da seleção de diversos componentes de sistema, é possível ajustar seu gerador de pulsos bipolar da melhor maneira conforme seu ambiente de sistema.

Cabo de potência de média frequência
Cabo de rede

Há diversas versões de cabos e conectores disponíveis para os mais diferentes padrões.

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