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Gerador de polarização com gestão de tensão estável e gestão rápida de arco
Gerador de polarização com gestão de tensão estável e gestão rápida de arco
Estimulações por plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Série 4000

Estável e versátil

Geradores universais para seu processo de pulverização

O TruPlasma Bias Série 4000 é uma série de produtos de geradores de corrente contínua de polarização pulsada mais modernos. As frequências de pulsos de até 100 kHz e a saída de polarização contínua são possíveis. Os geradores oferecem suporte principalmente a aplicações de revestimento ópticas e metálicas, como as usadas na tecnologia de semicondutores ou de revestimento de resina. Além disso, eles se ajustam a requisitos comparáveis conforme a tensão e a corrente.

Modo de alta e baixa tensão

1200 V para processos de gravação em substratos,
300 V para processos de revestimento com base em polarização.

Gestão de arco rápida

Por isso, a pouca deposição de gotas e danos ao substrato.

Resultados de processo estáveis e reprodutíveis

Gestão de arco excelente graças à moderna tecnologia DSP e análise de sinal FPGA.

Área de aplicação típica do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2): fabricação de camadas resistentes a desgaste

Fabricação de camadas resistentes a desgaste

Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 garantem um processo de plasma estável e, assim, uma qualidade de camada ideal.

Ideal para revestimentos de grandes áreas

Revestimentos de grandes áreas

Os revestimentos de grandes áreas exigem bastante da alimentação de corrente no processo de plasma. Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que os resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.

Gerador TruPlasma Bias Série 4000

Fabricação de células solares

Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 se destacam em todos os processos de PVD e PECV críticos e oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.

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TruPlasma Bias 4012
TruPlasma Bias 4018
TruPlasma Bias 4026
Saída      
Potência nominal 12 kW 18 kW 26 kW
Corrente de saída máxima 40 A eff 60 A eff 87 A eff
Tensão de saída máxima 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Frequência operacional nominal 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Parâmetros do arco      
Taxa de arco máxima 50 1/s 50 1/s 50 1/s
Tempo de processamento de arcos <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
Dados de conexão de rede      
Tensão de rede 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
Frequência de rede 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Interfaces de comunicação      
Analógico/Digital Sim Sim Sim
RS 232 / RS 485 - Sim -
PROFIBUS Sim - Sim
EtherCAT Não Não Não
Carcaça      
Peso 70 kg 70 kg 71 kg
Tipo de proteção IP IP 20 IP 20 IP 20
Requisitos de refrigeração      
Meio de refrigeração Ar Ar Ar
Temperatura do líquido de refrigeração 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Informações gerais      
Nível de eficiência total 90 % 90 % 90 %
Certificados / normas CE CE CE
Condições ambientais      
Temperatura externa 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Umidade do ar 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pressão barométrica 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
PDF <1MB
Ficha de dados técnica

Os dados técnicos de todas as versões de produto como download.

Vidro para arquitetura

Garantia de condições de processo constantes e boas

O design de potência e controle especial garante uma estabilidade de tensão consolidada e decisiva para a qualidade de camadas e estabilidade do processo. Concebido com tecnologia DSP e com uma análise de sinais FPGA, o TruPlasma Bias Série 4000 possui uma moderna gestão de arco, que oferece uma precisão única e precisão de repetição. Os valores impressionantes de ambos os parâmetros garantem a estabilidade ideal do processo.

Revestimento em resina

Manuseio do sistema simplificado com apenas um aparelho para diversos processos

O TruPlasma Bias Série 4000 possui dois modos de tensão separados: um modo de alta tensão com até 1200 Volt e um modo de baixa tensão com até 300 Volt. Os modos oferecem suporte principalmente a aplicações de revestimento ópticas e metálicas, como na tecnologia de semicondutores ou revestimento de resinas. Além disso, eles se ajustam a requisitos comparáveis conforme a tensão e a corrente.

Gestão de arco

Qualidade de camada ideal por processos perfeitos

Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 são equipados com uma gestão de arco totalmente digital com energia de arco mínima e CompensateLine, por isso permitem qualidades de camadas e taxas de deposição maiores. Assim, há uma baixa ocorrência de separações de gotas e danos ao substrato, o processo e o produto são otimizados.

Software PVD Power fácil de utilizar

PVD Power

O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficaz: exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).

Dependendo do país, pode haver divergências na oferta de produtos e nos dados apresentados. Reserva-se o direito de efetuar alterações em tecnologia, equipamento, preço e oferta de acessórios. Entre em contato com nosso parceiro no local para saber se o produto está disponível em seu país.

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Os geradores TruPlasma Bias Série 3000 com seus dois modos de operação e gestão de arco totalmente digital permitem qualidades de camadas e taxas de deposição maiores.

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Técnicos de assistência experientes transmitem conhecimento aprofundado, com conteúdo adaptado às necessidades dos participantes.

Contato

Klaus Nock
Vendas de plasma
Fax +49 761 89711150
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Folheto TruPlasma Bias Série 3000/4000
Folheto TruPlasma Bias Série 3000/4000
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