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Gerador de polarização com gestão de tensão estável e gestão rápida de arco
Gerador de polarização com gestão de tensão estável e gestão rápida de arco
Estimulações por plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Série 4000

Estável e versátil

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    • Vista geral
    • Aplicações
    • Dados técnicos
    • Vantagens do cliente
    • Software
    • Mais Menos
    Geradores universais para seu processo de pulverização

    O TruPlasma Bias Série 4000 é uma série de produtos de geradores de corrente contínua de polarização pulsada mais modernos. As frequências de pulsos de até 100 kHz e a saída de polarização contínua são possíveis. Os geradores oferecem suporte principalmente a aplicações de revestimento ópticas e metálicas, como as usadas na tecnologia de semicondutores ou de revestimento de resina. Além disso, eles se ajustam a requisitos comparáveis conforme a tensão e a corrente.

    Modo de alta e baixa tensão

    1200 V para processos de gravação em substratos,
    300 V para processos de revestimento com base em polarização.

    Gestão de arco rápida

    Por isso, a pouca deposição de gotas e danos ao substrato.

    Resultados de processo estáveis e reprodutíveis

    Gestão de arco excelente graças à moderna tecnologia DSP e análise de sinal FPGA.

    Área de aplicação típica do TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2): fabricação de camadas resistentes a desgaste

    Fabricação de camadas resistentes a desgaste

    Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 garantem um processo de plasma estável e, assim, uma qualidade de camada ideal.

    Ideal para revestimentos de grandes áreas

    Revestimentos de grandes áreas

    Os revestimentos de grandes áreas exigem bastante da alimentação de corrente no processo de plasma. Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que os resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.

    Gerador TruPlasma Bias Série 4000

    Fabricação de células solares

    Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 se destacam em todos os processos de PVD e PECV críticos e oferecem todas as condições para uma alimentação de corrente estável, ideal e conforme o respectivo processo, de maneira que resultados excelentes e reprodutíveis possam ser atingidos.

    TruPlasma Bias 4012
    TruPlasma Bias 4018
    TruPlasma Bias 4026
    Saída      
    Potência nominal 12 kW 18 kW 26 kW
    Corrente de saída máxima 40 A eff 60 A eff 87 A eff
    Tensão de saída máxima 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
    Frequência operacional nominal 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
    Parâmetros do arco      
    Taxa de arco máxima 50 1/s 50 1/s 50 1/s
    Tempo de processamento de arcos <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
    Dados de conexão de rede      
    Tensão de rede 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
    Frequência de rede 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Interfaces de comunicação      
    Analógico/Digital Sim Sim Sim
    RS 232 / RS 485 - Sim -
    PROFIBUS Sim - Sim
    EtherCAT Não Não Não
    Carcaça      
    Peso 70 kg 70 kg 71 kg
    Tipo de proteção IP IP 20 IP 20 IP 20
    Requisitos de refrigeração      
    Meio de refrigeração Ar Ar Ar
    Temperatura do líquido de refrigeração 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Informações gerais      
    Nível de eficiência total 90 % 90 % 90 %
    Certificados / normas CE CE CE
    Condições ambientais      
    Temperatura externa 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Umidade do ar 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Pressão barométrica 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
    PDF <1MB
    Ficha de dados técnica

    Os dados técnicos de todas as versões de produto como download.

    Vidro para arquitetura

    Garantia de condições de processo constantes e boas

    O design de potência e controle especial garante uma estabilidade de tensão consolidada e decisiva para a qualidade de camadas e estabilidade do processo. Concebido com tecnologia DSP e com uma análise de sinais FPGA, o TruPlasma Bias Série 4000 possui uma moderna gestão de arco, que oferece uma precisão única e precisão de repetição. Os valores impressionantes de ambos os parâmetros garantem a estabilidade ideal do processo.

    Revestimento em resina

    Manuseio do sistema simplificado com apenas um aparelho para diversos processos

    O TruPlasma Bias Série 4000 possui dois modos de tensão separados: um modo de alta tensão com até 1200 Volt e um modo de baixa tensão com até 300 Volt. Os modos oferecem suporte principalmente a aplicações de revestimento ópticas e metálicas, como na tecnologia de semicondutores ou revestimento de resinas. Além disso, eles se ajustam a requisitos comparáveis conforme a tensão e a corrente.

    Gestão de arco

    Qualidade de camada ideal por processos perfeitos

    Os geradores TruPlasma Bias Série 4000 são equipados com uma gestão de arco totalmente digital com energia de arco mínima e CompensateLine, por isso permitem qualidades de camadas e taxas de deposição maiores. Assim, há uma baixa ocorrência de separações de gotas e danos ao substrato, o processo e o produto são otimizados.

    Software PVD Power fácil de utilizar

    PVD Power

    O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficaz: exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).

    Dependendo do país, pode haver divergências na oferta de produtos e nos dados apresentados. Reserva-se o direito de efetuar alterações em tecnologia, equipamento, preço e oferta de acessórios. Entre em contato com nosso parceiro no local para saber se o produto está disponível em seu país.

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    Técnicos de assistência experientes transmitem conhecimento aprofundado, com conteúdo adaptado às necessidades dos participantes.

    Contato

    Klaus Nock
    Vendas de plasma
    Fax: +49 761 89711150
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    Folheto TruPlasma Bias Série 3000/4000
    Folheto TruPlasma Bias Série 3000/4000
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