Tratamento soberano de processos exigentes
O TruPlasma DC Série 4000 (G2) foi desenvolvido especialmente para a pulverização reativa de CC com materiais difíceis. Os geradores que trabalham com corrente contínua pulsada se destacam principalmente em processos de PVD e PECVD críticos, nos quais são exigidas uma alta produtividade e qualidade de camada. As alimentações de corrente do processo de corrente contínua compactas podem ser usadas tanto na operação pulsada quanto em unilaterais, ou seja, dois aparelhos em uma caixa!
O processamento digital de sinais garante processos estáveis e o mínimo de perda de tempo em razão de arcos.
Tratamento rápido de arcos em combinação com tecnologia de pulsos de corrente contínua para minimizar os dados ao substrato.
Graças ao amplo espectro de frequência e à voltagem reversa ajustável.
A refrigeração de água integrada economiza espaço e reduz os esforços de manutenção.
Revestimento em resina
Pela aplicação de camadas funcionais, as peças de trabalho bastante exigidas recebem uma dureza de bordo aumentada e fricção estática, bem como estabilidade química e térmica aprimoradas. Os geradores pulsados TruPlasma DC Série 4000 (G2) garantem um processo de plasma estável e, assim, uma qualidade de camada ideal.
Metalização
Por meio de um processo de PVD, as camadas de metal bem finas podem ser aplicadas em diversos materiais, conferindo a eles as características visuais e elétricas ideais. Uma alimentação elétrica ajustada ao parâmetro de processo de forma ideal permite a deposição totalmente homogênea com camadas sem defeitos.
Fabricação de células solares
Para influenciar suas propriedades elétricas, as células solares, telas planas e sensíveis ao toque recebem camadas de materiais condutores. Em razão da pouca energia do arco, os geradores pulsados TruPlasma DC Série 4000 (G2) são os mais adequados para isso.
Vidro para arquitetura
O revestimento de grandes áreas de vidro para arquitetura em um processo de plasma de PVD apresenta um requisito especialmente alto para a alimentação de corrente de processo. Os geradores pulsados TruPlasma DC Série 4000 (G2) oferecem as melhores condições para um resultado de revestimento de alto padrão.
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TruPlasma DC 4010 (G2)
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TruPlasma DC 4020 (G2)
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TruPlasma DC 4040 (G2)
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|---|---|---|---|
| Saída | |||
| Potência nominal | 10 kW | 20 kW | 40 kW |
| Corrente máx. de saída | 33 A rms | 67 A rms | 133 A rms |
| Tensão máx. de saída | 1200 V rms | 1200 V rms | 1200 V rms |
| Frequência operacional nominal | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Parâmetros do arco | |||
| Taxa máx. de arco | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energia Arc | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW |
| Tempo de processamento de arcos | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs |
| Tensões de ignição | |||
| com dispositivo de ignição auxiliar | 1750 V | 1750 V | 1750 V |
| sem dispositivo de ignição auxiliar | 1250 V | 1250 V | 1250 V |
| Dados de conexão de rede | |||
| Tensão de rede | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V |
| Frequência de rede | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Interfaces de comunicação | |||
| Analógico/Digital | sim | sim | sim |
| RS 232 / RS 485 | sim | sim | sim |
| PROFIBUS | sim | sim | sim |
| EtherCAT | não | não | não |
| DeviceNet | sim | sim | sim |
| Caixa | |||
| Peso | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
| Tipo de protecção IP | 40 | 40 | 40 |
| Requisitos de refrigeração | |||
| Líquido de refrigeração | Água | Água | Água |
| Pressão máx. da água | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Diferencial mín. de pressão | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Caudal mín. | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min |
| Temperatura do líquido de refrigeração | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Dados de conexão CC | |||
| Quantidade de terminais | 3 | 3 | 3 |
| Corrente nominal / Terminal | 25 A | 45 A | 85 A |
| Geral | |||
| Nível de eficiência total | 90 % | 90 % | 90 % |
| Certificados / normas | CE | CE | CE |
| Condições ambientais | |||
| Temperatura externa | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Humidade do ar | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Pressão barométrica | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Os dados técnicos de todas as versões de produto como download.
Alta qualidade de revestimento e produtividade
A combinação de tratamento rápido de arcos e tecnologia de pulso de corrente contínua gera uma taxa de incidência de gotas baixa e menos defeitos na superfície. As interrupções de processo causadas por arcos são minimizadas, a taxa de deposição é significativamente aumentada.
Adaptação flexível ao processo
A frequência do pulso pode ser ajustada em uma ampla gama, para isso a operação de polarização do gerador de corrente contínua é possível. Assim, você pode usar o mesmo aparelho para diversas aplicações. As ferramentas de monitoramento de qualidade superior ajudam você a melhorar seu processo.
As diferentes opções permitem uma adaptação ideal do gerador de CC pulsada à sua aplicação.
Vários geradores de corrente contínua TruPlasma DC Série 4000 (G2) podem ser operados de maneira síncrona. Esse modo permite a sincronização da detecção de arco de vários geradores alinhados conforme diversas metas. O modo de pulso também pode ser sincronizado.
PVD Power
O software fácil de usar e em diversos idiomas PVD Power oferece várias opções para operação, configuração e diagnóstico para otimização da qualidade de processo e solução de falhas eficaz: exibição de valores reais de todos os parâmetros de processo relevantes, bem como avisos e mensagens de alarme, especificação de valores nominais pelo operador, gravação e visualização de parâmetros operacionais importantes em alta resolução (função do osciloscópio).
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