Плазмогенераторы постоянного тока
Импульсные плазмогенераторы постоянного тока производства компании TRUMPF Hüttinger идеально подходят для использования в различных реактивных процессах. В отличие от простых генераторов постоянного тока, генераторы импульсного постоянного тока позволяют обрабатывать полупроводниковые и непроводящие материалы, например оксиды. Импульсные генераторы часто используются для нанесения твердосплавных покрытий, а также протравливания и нанесения покрытий при производстве полупроводников.
TruPlasma Highpulse серии 4000
Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 — идеальный выбор при использовании технологий магнетронного распыления импульсами высокой мощности (HIPIMS), гарантирующий получение особо устойчивых к коррозии и износу твердосплавных покрытий. В сочетании с поляризованной подложкой устройства TruPlasma Highpulse серии 4000 способны также поставлять электроэнергию для процессов производства полупроводников, таких как травление, предварительная обработка поверхностей и заполнение желобков.
TruPlasma DC серии 4000 (G2)
TruPlasma DC серии 4000 (G2) объединяет превосходное качество дуговой обработки TRUMPF Hüttinger с преимуществами технологии импульсного постоянного тока. Вы получаете лучшие результаты нанесения слоев с меньшим количеством дефектов и повышенной скоростью осаждения. Итог — идеальные поверхности и высокая производительность.
TruPlasma DC серии 4000
Генераторы TruPlasma DC серии 4000 — идеальный выбор для сложных технологических процессов плазменной обработки. Они работают с полной мощностью, легко адаптируясь к нагрузке в широком диапазоне. Таким образом, они достаточно производительны для высокотехнологичных процессов ионно-плазменного напыления, а также для других плазменных технологий со стандартным или пульсирующим постоянным током. Как и генераторы непульсирующего тока, они оснащены уникальной функцией управления дугой.
TruPlasma Bias серии 4000
TruPlasma Bias серии 4000 — это линейка современных генераторов смещающего напряжения пульсирующего постоянного тока. Возможны частота пульсации до 100 кГц и непрерывное смещающее напряжение на выходе.
Каждое устройство серии имеет два режима работы: высоковольтный режим с напряжением 1200 В для травления подложки и низковольтный режим с напряжением 300 В для процессов нанесения покрытия с использованием смещающего напряжения, которые применяются, например, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавных покрытий.