Для отображения и функционирования данного веб-сайта используются файлы куки. Если вы даете разрешение на использование нами файлов куки также для других целей, нажмите эту кнопку. Информация о деактивации файлов куки и защите данных
Генератор смещающего напряжения с устойчивой регулировкой напряжения и системой быстрого управления дугой
Генератор смещающего напряжения с устойчивой регулировкой напряжения и системой быстрого управления дугой
Плазменное возбуждение
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias серии 3000

Стабильность и универсальность

Универсальные генераторы для процессов ионно-плазменного распыления

Генераторы TruPlasma Bias серии 3000 наиболее пригодны для нанесения оптических и металлических покрытий, которые применяются, к примеру, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавных покрытий. Их можно использовать и в других процессах с аналогичными требованиями к уровню напряжения и силе тока.

Высоковольтный и низковольтный режим

1200 В для процессов травления подложки;
300 В для процессов нанесения покрытия с применением смещающего напряжения.

Быстрое управление дугой

Очень низкий уровень остаточной энергии дуги, благодаря чему сокращается количество повреждений подложки и технологический процесс становится более стабильным.

Стабильные и воспроизводимые результаты процесса

Уникальная точность благодаря современной технологии цифровой обработки сигналов и анализу сигналов с помощью программируемой пользователем вентильной матрицы (ППВМ).

Идеальный выбор для нанесения покрытий большой площади

Нанесение декоративных слоев

Для нанесения покрытий на поверхности большой площади с использованием плазменных технологий требуется стабильная технологическая система электропитания. Генераторы TruPlasma Bias серии 3000 создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного к конкретному процессу, что позволяет создавать изделия выдающегося качества с высоким уровнем воспроизводимости.

Идеально подходит для применения в процессах протравливания и нанесения покрытий

Технология производства полупроводников

Эффективность генераторов TruPlasma Bias серии 3000 проявляется во всех процессах вакуумного напыления и ПХГФО; они создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного к конкретному процессу, что позволяет создавать изделия выдающегося качества с высоким уровнем воспроизводимости.

-/-
Генератор TruPlasma Bias серии 3000 в процессе эксплуатации

Гарантия неизменно благоприятных технологических условий

Конфигурация мощности и исполнение системы управления поддерживают стабильное напряжение, имеющее определяющее значение для качества поверхностей и стабильности технологических процессов. Концепция TruPlasma Bias серии 3000 основана на технологии цифровой обработки сигналов с функцией анализа сигналов с помощью ППВМ и включает в себя современную систему управления дугой, обеспечивающую уникальную точность и воспроизводимость технологических процессов. Впечатляющие значения этих параметров оптимально стабилизируют технологический процесс.

Основная область применения генераторов TruPlasma Bipolar серии 4000 (G2): нанесение износостойких слоев

Одно устройство для нескольких процессов — простота работы с системой

Устройство TruPlasma Bias серии 3000 оснащено двумя режимами напряжения: высоковольтным (до 1200 В) и низковольтным (до 300 В). Эти режимы необходимы прежде всего для нанесения оптических и металлических покрытий, которые применяются, к примеру, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавного покрытия. Их можно использовать и в других процессах с аналогичными требованиями к уровню напряжения и силе тока.

Основная область применения генератора TruPlasma Bias серии 3000: производство фотоэлементов

Оптимальное качество слоев благодаря бесперебойным процессам

Генераторы TruPlasma Bias серии 3000 оснащены цифровой системой управления дугой и функцией CompensateLine, позволяющей создавать покрытия высокого качества с быстрыми темпами оседания. Благодаря этому возникает меньше повреждений подложки — налицо улучшение как технологического процесса, так и конечного продукта.

Удобное для пользователя программное обеспечение PVD Power

PVD Power

Удобное для эксплуатации многоязычное программное обеспечение PVD Power предлагает разнообразные возможности управления, изменения конфигурации и диагностики с целью оптимизации качества технологических процессов и эффективного устранения неисправностей: индикация фактических значений всех существенных технологических параметров, предупреждений и аварийных сообщений, предварительная установка заданных значений оператором, регистрация и визуализация важнейших производственных параметров с точным указанием времени (функция осциллографа).

В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.

Вам могут быть интересны эти темы

Сервисное обслуживание и контакты

Close

Country/region and language selection

Please take note of

You have selected the international language version "Russian" of the website. Based on your configuration, United States might be more suitable. Would you like to keep or change the selection?

International Russian
United States

Or, select a country or a region.