Инновационные характеристики, модульное строение, возможность регулировки: новая генераторная установка TRUMPF Hüttinger
Генераторы TruPlasma VHF серии 3000 основаны на инновационной платформенной концепции, позволяющей достичь максимальной плотности мощности и соответствующей самым строгим требованиям к технологическому процессу. Модульная структура, оснащенная исключительно водной системой охлаждения, позволяет регулировать выходную мощность до 80 кВт. Кроме того, компактные сверхвысокочастотные генераторы обладают дополнительным рядом преимуществ — высокой экономической эффективностью и прочной конструкцией.
Это обеспечивает наилучший контроль за плазменным процессом с доступными схемами одноуровневого и многоуровневого генерирования импульсов.
Данная особенность обеспечивает чрезвычайно удобное управление характеристиками зажигания генератора.
Автоматическая настройка частоты для оптимального взаимодействия генератора и коммутирующей коробки.
Высококачественные воспроизводимые результаты технологического процесса благодаря высокоточной цифровой частотной модуляции.
Отсутствие потребности в корректировке длины высокочастотного кабеля при изменении параметров процесса, за счет этого сокращение времени на оснащение.
Технология CombineLine обеспечивает надежное функционирование генератора даже в случае неточного согласования сопротивлений.
Производство фотоэлементов
В сфере фотоэлектрической энергетики существует множество областей применения энергии с точно настроенными параметрами. В них используются различные процессы плазменной обработки для нанесения и снятия слоев материала, например ионно-плазменное распыление, ПХГФО и травление. Генераторы TruPlasma VHF серии 3000 имеют возможность оптимальной настройки в соответствии с параметрами процесса, при этом система быстрого управления дугой позволяет точно контролировать плазменную обработку. Это гарантирует выдающиеся результаты и высокую производительность.
Производство полупроводников
В сфере производства полупроводников используются различные методы плазменной обработки, от снятия слоев путем сухого травления до метода плавающей зоны при изготовлении чистого кремния. Генераторы TruPlasma VHF серии 3000 создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного к конкретному процессу, что позволяет создавать изделия выдающегося качества с высоким уровнем воспроизводимости.
Идеально подходит для нанесения покрытий на плоские экраны
Генераторы TruPlasma VHF серии 3000 идеально подходят для плазменных процессов, например реактивного ионного травления (РИТ), атомно-слоевого осаждения (АСО), плазмохимического газофазного осаждения (ПХГФО) и высокочастотного ионно-плазменного распыления. Помимо всего прочего, эти методы применяются при производстве полупроводниковых компонентов и микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также нанесении слоев на плоские экраны и фотоэлементы.
|
Truplasma VHF 1000-2.5/60
|
TruPlasma VHF 3005
|
TruPlasma VHF 3000-10/40
|
|
|---|---|---|---|
| Выход RF | |||
| Выходная мощность | 2,5 кВт | 5 кВт | 10 кВт |
| Номинальная мощность | 2,5 кВт | 5 кВт | 10 кВт |
| Номинальное полное сопротивление нагрузки | 50 Ом | 50 Ом | 50 Ом |
| Выходная частота | 60 мГц | 40,68 мГц | 40,68 мГц |
| Параметры подключения к сети | |||
| Сетевое напряжение | 200 - 480 В | 200 - 480 В | 200 - 480 В |
| Сетевая частота | 50-60 Гц | 50-60 Гц | 50-60 Гц |
| Потребляемая сетевая мощность | 4 кВА | 9,3 кВА | 18,6 кВА |
| Коэффициент мощности | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Интерфейсы связи | |||
| Синхронные интерфейсы | Да | Да | Да |
| Аналоговое/цифровое | Да | Да | Да |
| RS 232/RS 485 | Да | Да | Да |
| Шина PROFIBUS | Нет | Нет | Нет |
| EtherCAT | Да | Да | Да |
| DeviceNet | Да | Да | Да |
| Корпус | |||
| Вес | 23 кг | 32 кг | 53 кг |
| Класс защиты IP | 30 | 30 | 30 |
| Требования к охлаждению | |||
| Макс. давление воды | 7 бар | 7 бар | 7 бар |
| Мин. разница давления | 2 бар | 2 бар | 2 бар |
| Мин. расход | 8 л/мин | 8 л/мин | 10 л/мин |
| Температура хладагента | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C |
| Общая информация | |||
| Суммарный КПД | 70 % | 70 % | 70 % |
| Сертификаты/стандарты | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | SEMI S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Условия окружающей среды | |||
| Наружная температура | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Влажность воздуха | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Барометрическое давление | 79,5 кПа - 106 кПа | 79,5 кПа - 106 кПа | 79,5 кПа - 106 кПа |
Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.
Легкая адаптация к технологическому процессу
Концепция модульной платформы TruPlasma VHF серии 3000 позволяет регулировать выходную мощность до 80 кВт. Благодаря встроенной технологии CombineLine даже в случае рассогласования генератор работает очень надежно. Широкий диапазон частот и варьируемое сетевое напряжение и длина кабеля обеспечивают его универсальное использование в различных целях и странах применения.
Максимальная эффективность и экономичность
В конструкции высокочастотных генераторов TruPlasma VHF серии 3000 используются лишь современные полупроводниковые технологии с силовыми транзисторами LDMOS. Пленарная модульная система с высокой степенью интеграции позволяет достигать максимальной плотности мощности при одновременно высокой энергоэффективности и соответствующим образом сниженной мощности охлаждения. Таким образом, эта линейка отличается беспрецедентной экономической эффективностью в данном диапазоне частот и сокращает эксплуатационные расходы по сравнению с обычным для данного сегмента рынка уровнем.
TRUMPF SystemPort
SystemPort позволяет использовать замкнутый контур регулирования благодаря измерению РЧ-сигнала непосредственно на входе и выходе коммутирующей коробки. Для РЧ-генератора доступны все результаты измерения. Это позволяет лучше контролировать технологические параметры, защищает коммутирующую коробку и обеспечивает раннее распознавание дуги генератора. Таким образом, один интерфейс генератора обеспечивает управление всей РЧ-системой.
Различные опции дают возможность оптимальной адаптации сверхвысокочастотного генератора к вашей цели применения.
Запатентованное решение для автоматической настройки частоты обеспечивает синхронную и быструю адаптацию частоты и гарантирует оптимальное взаимодействие генератора и коммутирующей коробки. Благодаря этой запатентованной технологии локальный минимум больше не является препятствием: РЧ-система настраивается на оптимальные параметры, что позволяет получать наилучшие результаты технологических процессов с высокой степенью воспроизводимости.
Продуманная система управления дугой представляет собой идеальный модуль, обеспечивающий наилучший контроль за плазменным процессом. Целенаправленное распознавание дуги гарантирует максимально возможную производительность и одновременно с этим защищает изделие и установку.
Гибкое формирование импульса: форму выходного сигнала можно изменить в соответствии с требованиями того или иного технологического процесса.
TruControl Power
Программное обеспечение системы управления TruControl Power с удобным интерфейсом обеспечивает удобный ввод в эксплуатацию и надежный контроль высокочастотного генератора, а также всей РЧ-системы TRUMPF в процессе эксплуатации.
Выбирая подходящие системные компоненты, вы можете оптимально модифицировать сверхвысокочастотный генератор таким образом, чтобы он соответствовал требованиям вашей цели применения.
Согласующие четырехполюсники TruPlasma Match обеспечивают оптимальную передачу мощности генератора в плазменный разряд. Эксплуатация коммутирующей коробки может осуществляться в автономном режиме или через интеллектуальную систему связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемый порт SystemPort.
В комплект входят адаптеры для подключения воды, набор для блока питания переменного тока HARTING, перемычка для функции внутренней блокировки, адаптер LEMO EPL к разъему BNC (для штекеров для тактовой и импульсной синхронизации).
Ведущие осцилляторы позволяют стабилизировать и оптимизировать критические синхронные процессы плазменной обработки. Встроенный цифровой синтезатор частот и фаз поддерживает эти параметры на стабильном уровне и позволяет настраивать фазовое положение с очень малой величиной шага. На выбор доступны разнообразные исполнения ведущих осцилляторов для частоты 13,56 МГц, а также различных сочетаний частот.
Высокочастотный переключатель позволяет многократно использовать высокочастотный генератор на различных станциях плазменной обработки, например для электропитания многостадийных процессов или в системах с разными точками питания. Ассортимент включает в себя высокочастотные переключатели двух классов мощности с двумя, тремя или четырьмя выходами.
Компания TRUMPF Hüttinger предлагает коаксиальные кабели для передачи высокочастотной мощности, конструкция которых специально предназначена для эксплуатации в системах 50 Ом.
Идеально настроенные компоненты РЧ-системы TRUMPF
Процессы плазменной обработки подразумевают комплексную переменную нагрузку, требующую непрерывного подвода электропитания от генератора. Его обеспечивают активные согласующие четырехполюсники, так называемые коммутирующие коробки, которые бесперебойно выполняют точную корректировку параметров до оптимального сопротивления 50 Ом. Так создается системное решение с идеально согласованными компонентами — РЧ-система TRUMPF. С помощью различных интерфейсов, например EtherCAT, вы можете с легкостью интегрировать генератор и коммутирующую коробку в имеющиеся технологические условия и добиться оптимального решения благодаря интеллектуальной системе связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемому порту SystemPort.
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.
Примечания-
Температура охлаждающей жидкости должна превышать температуру конденсации окружающего воздуха для предотвращения конденсации.
