Для отображения данного веб-сайта используются файлы куки. Если вы продолжаете пользоваться веб-сайтом, не меняя настроек файлов куки, мы расцениваем это как ваше согласие на использование файлов куки.
Системное радиочастотное решение: высочайшая стабильность процессов благодаря использованию коммутирующей коробки
Системное радиочастотное решение: высочайшая стабильность процессов благодаря использованию коммутирующей коробки
Плазменное возбуждение
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Match серии 1000 (G2/13)

Интеллектуальное согласование с применением измерений в режиме реального времени

    - / -
    • Обзор
    • Возможности применения
    • Технические характеристики
    • Преимущества для клиента
    • Опции
    • Программное обеспечение
    • Системные компоненты
    • Система RF
    • Больше Меньше
    Комплексное системное высокочастотное решение

    Новые коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13) представляют собой идеальное дополнение к генераторам TRUMPF Hüttinger. При помощи интеллектуального алгоритма согласования и цифровой платформы контроля технологического процесса создается полноценное решение, в котором все компоненты оптимально взаимодействуют друг с другом, — РЧ-система TRUMPF.

    Интеллектуальный алгоритм согласования

    Быстрая, устойчивая и воспроизводимая адаптация полного сопротивления до 50 Ом даже во время критически важных процессов.

    Оптимальное взаимодействие компонентов системы

    Прогрессивное программное обеспечение и улучшенная связь между генератором и коммутирующей коробкой.

    Измерение мощности высокой частоты в реальном времени

    Быстрая отладка системы после каждого изменения полного сопротивления коммутирующей коробки и нагрузки.

    Замкнутый контур регулирования

    Оптимальный контроль технологических параметров и раннее распознавание дуги.

    Удобный для пользователя контроль технологических процессов

    Графический интерфейс пользователя и эффективные инструменты (диаграмма Смита, осциллограф, работающий в режиме реального времени).

    Системное радиочастотное решение: высочайшая стабильность процессов благодаря использованию коммутирующей коробки

    Производство полупроводников, фотоэлементов и плоских экранов

    Решающее значение при производстве полупроводников, фотоэлементов и плоских экранов имеют стабильные процессы плазменной обработки. В сочетании с высокочастотными генераторами TRUMPF Hüttinger коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13) создают единое решение, повышающее стабильность и производительность технологических процессов.

    Поддержка процесса нанесения твердосплавных покрытий: коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13)

    Нанесение твердосплавных покрытий и защиты от износа

    Нанесение функциональных слоев на заготовки, испытывающие большие нагрузки, повышает их поверхностную механическую прочность, а также термическую и химическую устойчивость. Коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13) в сочетании с высокочастотным генератором TRUMPF Hüttinger обеспечивают превосходное качество слоев.

    Идеально подходят для нанесения покрытий на большие поверхности: коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13)

    Снятие слоев и нанесение покрытий на поверхности

    Коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13) можно применять в любых стандартных процессах плазменной обработки с целью нанесения покрытий или снятия слоев с поверхности, например для плазменного травления, реактивного ионного травления, АСО, ПХГФО, радиочастотного ионно-плазменного распыления и плазменного прокаливания фотолака до золы. В сочетании с генератором TRUMPF Hüttinger при этом достигаются оптимальные результаты технологических процессов.

    Выход RF        
    Выходная мощность 6 кВт 12 кВт 24 кВт 3 кВт
    Номинальная мощность 6 кВт 12 кВт 24 кВт 3 кВт
    Выходная частота 13,56 мГц 13,56 мГц 13,56 мГц 13,56 мГц
    Параметры подключения к сети        
    Сетевое напряжение (±10%) 23,5 В - 24,5 В (±10%) 87 В - 264 В (±10%) 87 В - 264 В (±10%) 23,5 В - 24,5 В
    Сетевая частота 50 Гц - 60 Гц 50 Гц - 60 Гц 50 Гц 50 Гц - 60 Гц
    Интерфейсы связи        
    Синхронные интерфейсы Да Да Да Да
    Аналоговое/цифровое Да Да Да Да
    RS 232/RS 485 Да Да Да Да
    Шина PROFIBUS Да Да Да Да
    EtherCAT Да Да Да Да
    DeviceNet Нет Нет Нет Нет
    Корпус        
    Вес 8 кг 27 кг 30 кг 15 кг
    Класс защиты IP 21 21 21 21
    Требования к охлаждению        
    Макс. давление воды - 6 бар 6 бар -
    Мин. разница давления - 1,5 бар 1,5 бар -
    Мин. расход - 3,5 л/мин 5 л/мин -
    Температура хладагента - 10 °C - 30 °C 1 10 °C - 30 °C 1 -
    Общая информация        
    Сертификаты/стандарты CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN 61010, SEMI S2, SEMI F47
    Условия окружающей среды        
    Наружная температура 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C
    Влажность воздуха 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 %
    Барометрическое давление 800 кПа - 1013 кПа 800 кПа - 1013 кПа 800 кПа - 1013 кПа 800 кПа - 1013 кПа
    PDF <1MB
    Технический паспорт

    Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.

    Всегда гарантирована полная отдача мощности высокочастотного генератора

    Превосходный контроль технологических процессов в любое время

    Коммутирующая коробка предназначена для быстрой и непосредственной корректировки полного сопротивления до 50 Ом, что гарантирует непрерывную полную отдачу мощности высокочастотного генератора в процессе обработки. Непрерывная связь между коммутирующей коробкой и генератором обеспечивает оптимальный контроль технологического процесса и раннее распознавание дуги.

    Удобное для пользователя программное обеспечение TruControl Power

    Все параметры перед глазами

    Функция измерения входной и выходной мощности высокочастотного генератора сигнализирует о динамических изменениях полного сопротивления, а датчики охлаждения позволяют заблаговременно распознавать мощность потерь. Благодаря графическому управляющему программному обеспечению с комплексными опциями отображения (диаграмма Смита, осциллограф, работающий в режиме реального времени) все важные технологические параметры всегда доступны для быстрого просмотра.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    SystemPort позволяет использовать замкнутый контур регулирования благодаря измерению РЧ-сигнала непосредственно на входе и выходе коммутирующей коробки. Для РЧ-генератора доступны все результаты измерения. Это позволяет лучше контролировать технологические параметры, защищает коммутирующую коробку и обеспечивает раннее распознавание дуги генератора. Таким образом, один интерфейс генератора обеспечивает управление всей РЧ-системой.

    Различные опции дают возможность оптимальной адаптации РЧ-системы TRUMPF к вашей цели применения.

    Измерение силы тока высокочастотного генератора

    Система точного измерения силы переменного тока, предназначенная для распознавания отклонений в плазменной системе, размещена в коммутирующей коробке в непосредственной близости от камеры, в которой выполняется технологический процесс.

    Управление дугой

    Продуманная система управления дугой представляет собой идеальный модуль, обеспечивающий наилучший контроль за плазменным процессом. Целенаправленное распознавание дуги гарантирует максимально возможную производительность и одновременно с этим защищает изделие и установку.

    Интерфейсы

    В качестве опции поставляются аналого-цифровой интерфейс, PROFIBUS и EtherCAT. В стандартную комплектацию входят интерфейсы EtherNet, SystemPort и RS 232/485.

    Удобное для пользователя программное обеспечение TruControl Power

    TruControl Power

    Программное обеспечение системы управления TruControl Power с удобным интерфейсом обеспечивает удобный ввод в эксплуатацию и надежный контроль высокочастотного генератора, а также всей РЧ-системы TRUMPF в процессе эксплуатации.

    Удобное для пользователя программное обеспечение TruControl Power

    Графическое управляющее программное обеспечение

    Благодаря комплексному графическому отображению всех основных технологических параметров контролировать их стало намного проще. Полное сопротивление нагрузки и коммутирующей коробки отображаются в виде диаграммы Смита; входная и выходная мощность высокочастотного генератора, включая распределение частот и фазовое положение, визуализируются с помощью осциллографа, работающего в режиме реального времени.

    РЧ-система TRUMPF, состоящая из высокочастотного генератора и коммутирующей коробки, представляет собой комплексное решение с идеально согласованными компонентами, способное обеспечить лучшие результаты технологического процесса.

    Удобное для пользователя программное обеспечение TruControl Power
    Графическое управляющее программное обеспечение

    Благодаря комплексному графическому отображению всех основных технологических параметров контролировать их стало намного проще. Полное сопротивление нагрузки и коммутирующей коробки отображаются в виде диаграммы Смита; входная и выходная мощность высокочастотного генератора, включая распределение частот и фазовое положение, визуализируются с помощью осциллографа, работающего в режиме реального времени.

    Ведущий осциллятор для стабилизации критических синхронных процессов плазменной обработки
    Ведущие осцилляторы

    Ведущие осцилляторы позволяют стабилизировать и оптимизировать критические синхронные процессы плазменной обработки. Встроенный цифровой синтезатор частот и фаз поддерживает эти параметры на стабильном уровне и позволяет настраивать фазовое положение с очень малой величиной шага. На выбор доступны разнообразные исполнения ведущих осцилляторов для частоты 13,56 МГц, а также различных сочетаний частот.

    Переключатель для использования высокочастотного генератора на адаптируемых плазменных системах
    Высокочастотный переключатель

    Высокочастотный переключатель позволяет многократно использовать высокочастотный генератор на различных станциях плазменной обработки, например для электропитания многостадийных процессов или в системах с разными точками питания. Ассортимент включает в себя высокочастотные переключатели двух классов мощности с двумя, тремя или четырьмя выходами.

    Коаксиальный кабель для передачи требуемых значений мощности
    Коаксиальный кабель

    Компания TRUMPF Hüttinger предлагает коаксиальные кабели для передачи высокочастотной мощности, конструкция которых специально предназначена для эксплуатации в системах 50 Ом.

    Генератор и коммутирующая коробка: системное решение с идеально согласованными компонентами

    Оптимальный контроль процесса плазменной обработки

    Процессы плазменной обработки подразумевают комплексную переменную нагрузку, требующую непрерывного подвода электропитания от генератора. Его обеспечивают активные согласующие четырехполюсники, так называемые коммутирующие коробки, которые бесперебойно выполняют точную корректировку параметров до оптимального сопротивления 50 Ом. Так создается системное решение с идеально согласованными компонентами — РЧ-система TRUMPF. С помощью различных интерфейсов, например EtherCAT, вы можете с легкостью интегрировать генератор и коммутирующую коробку в имеющиеся технологические условия и добиться оптимального решения благодаря интеллектуальной системе связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемому порту SystemPort.

    В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.

    Примечания
    • Температура охлаждающей жидкости должна превышать температуру конденсации окружающего воздуха для предотвращения конденсации.

    Вам могут быть интересны эти темы

    TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
    Минимальные затраты при максимальном результате

    TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) — это высокочастотные генераторы новейшего поколения, которые обеспечивают лучшие условия для стабильного электропитания плазменного устройства.

    VHF Generator Serie 3000
    Высокая экономичность в прочной конструкции

    Инновационные характеристики, модульное строение, возможность регулировки: новые компактные сверхчастотные генераторы TRUMPF Hüttinger отличаются высокой экономичностью и прочной конструкцией.

    Services_Electronics_Training
    Индивидуальное обучение клиентов — наше преимущество

    Опытные сервисные инженеры делятся своими обширными знаниями, подбирая содержание обучения в зависимости от потребностей участников.

    Контакты

    Klaus Nock
    Продажи плазменной техники
    Факс: +49 761 89711150
    Электронная почта

    Загрузки

    Брошюра «Система TruPlasma RF»
    Брошюра «Система TruPlasma RF»
    pdf - 6 MB
    Сервисное обслуживание и контакты