Электроника
Быстрее, меньше, эффективнее: прогресс в микроэлектронике тесно связан с лазерной техникой.
Устойчивая тенденции к миниатюризации продукции и производство крупных партий — вот две важные особенности в производстве электроники. Беспрецедентная точность и удобные возможности автоматизации, характерные для лазерной техники, позволяют создавать промышленные решения, отвечающие этим требованиям. Лазеры TRUMPF играют важную роль при производстве компьютерных микросхем нового поколения. Кроме того, лазеры можно использовать и на многих дальнейших этапах процесса: резке и сверлении кремниевых пластин, печатных плат или всего электронного блока. Генераторы TRUMPF Hüttinger обеспечат подачу энергии для нанесения покрытий и травления при производстве кремниевых пластин.
Производство полупроводников
Лазеры TRUMPF создают воспроизводимые высококачественные продукты, предназначенные для производства электроники, в том числе очень крупными партиями. Более 1000 лазеров сверхкоротких импульсов TRUMPF работают круглосуточно 365 дней в году на заводах мировых лидеров отрасли. В зависимости от области применения, TRUMPF поставляет станки или отдельные пакеты лазерных технологий. В обоих случаях клиенты могут воспользоваться преимуществами мировой сети сервисного обслуживания группы компаний TRUMPF.
Высокопроизводительные микросхемы будущего
Появление микроэлектроники, ставшей основой для наших современных компьютеров и смартфонов, было бы невозможным без лазерной техники. Микросхемы памяти и логические микросхемы состоят из структур размером в несколько нанометров и могут создаваться только при сложном экспонировании с лазерным излучением. Обычное УФ-излучение эксимерного лазера имеет ограниченное действие. Мелкие структуры могут создаваться только с еще меньшей длиной волны в спектре глубокого ультрафиолета. В рамках многолетнего сотрудничества с крупнейшим производителем литографических систем ASML и специалистами в области оптики из фирмы Zeiss компания TRUMPF разработала уникальную углекислотную лазерную систему. В будущем новые технологии TRUMPF найдут свое применение во многих высокопроизводительных микросхемах.
Производство микросхем
Плазмогенераторы TRUMPF Hüttinger играют важную роль при производстве микросхем. Качество электропитания определяет качество и точность генерируемой плазмы. На следующем этапе эта плазма используется для введения примесей (ионного травления), осаждения (ПХГФО, АСО) или удаления (плазменного травления) различных материалов для производства полупроводниковых микросхем. Во время этого процесса образуются токсичные газы, которые эффективно отводятся специальной системой в генераторах TRUMPF Hüttinger, поэтому следы CO2 при производстве полупроводников максимально малы.
Холодная прецизионная обработка микросхем, модулей и печатных плат
Следующим этапом после экспонирования и конструирования схемы на кремниевой плате становится ее разделение на отдельные микросхемы. Чтобы обеспечить минимальный размер прорезей и высокое качество кромок, а также не повредить чувствительные микросхемы при воздействии температуры, при разделении используется лазер сверхкоротких импульсов TRUMPF. Он позволяет обрабатывать материал без нежелательного теплового воздействия и с высокой точностью. Этот лазер также подходит для обрезания чувствительных модулей (пакетов схем в едином модуле), обработки печатных плат и сверления так называемых микроперемычек в кремнии и стекле. Помимо того, предприятия данной отрасли используют лазеры TRUMPF для снятия слоев, резки пленки и нанесения надписей.
Выращивание монокристаллов
Синтетическое производство кристаллов лежит в основе производства полупроводников и тем самым всей коммуникационной и мультимедийной техники. Слои монокристаллов вырастают на монокристаллическом субстрате того же материала, при этом сохраняется кристаллографический порядок. Данный метод применяется в том числе для производства светодиодов. Индукционные генераторы TRUMPF Hüttinger обеспечивают однородное стабильное распределение температуры за счет быстрой и точной регулировки выходных параметров.