Всплывающее предупреждение об использовании "cookie" Если вы разрешаете нам использовать файлы "cookie" также в других целях, пожалуйста, нажмите здесь. Информация о дезактивации куки-файлов и защиты данных
Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

Плазмогенераторы постоянного тока

Импульсные плазмогенераторы постоянного тока производства компании TRUMPF Hüttinger идеально подходят для использования в различных реактивных процессах. В отличие от простых генераторов постоянного тока, генераторы импульсного постоянного тока позволяют обрабатывать полупроводниковые и непроводящие материалы, например оксиды. Импульсные генераторы часто используются для нанесения твердосплавных покрытий, а также протравливания и нанесения покрытий при производстве полупроводников.

Генератор TruPlasma Highpulse серии 4000

TruPlasma Highpulse серии 4000

Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 — идеальный выбор при использовании технологий магнетронного распыления импульсами высокой мощности (HIPIMS), гарантирующий получение особо устойчивых к коррозии и износу твердосплавных покрытий. В сочетании с поляризованной подложкой устройства TruPlasma Highpulse серии 4000 способны также поставлять электроэнергию для процессов производства полупроводников, таких как травление, предварительная обработка поверхностей и заполнение желобков.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC серии 4000 (G2)

TruPlasma DC серии 4000 (G2) объединяет превосходное качество дуговой обработки TRUMPF Hüttinger с преимуществами технологии импульсного постоянного тока. Вы получаете лучшие результаты нанесения слоев с меньшим количеством дефектов и повышенной скоростью осаждения. Итог — идеальные поверхности и высокая производительность.

Генератор пульсирующего тока TruPlasma DC серии 4000

TruPlasma DC серии 4000

Генераторы TruPlasma DC серии 4000 — идеальный выбор для сложных технологических процессов плазменной обработки. Они работают с полной мощностью, легко адаптируясь к нагрузке в широком диапазоне. Таким образом, они достаточно производительны для высокотехнологичных процессов ионно-плазменного напыления, а также для других плазменных технологий со стандартным или пульсирующим постоянным током. Как и генераторы непульсирующего тока, они оснащены уникальной функцией управления дугой.

Генератор смещающего напряжения с устойчивой регулировкой напряжения и системой быстрого управления дугой

TruPlasma Bias серии 4000

TruPlasma Bias серии 4000 — это линейка современных генераторов смещающего напряжения пульсирующего постоянного тока. Возможны частота пульсации до 100 кГц и непрерывное смещающее напряжение на выходе.
Каждое устройство серии имеет два режима работы: высоковольтный режим с напряжением 1200 В для травления подложки и низковольтный режим с напряжением 300 В для процессов нанесения покрытия с использованием смещающего напряжения, которые применяются, например, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавных покрытий.

Сервисное обслуживание и контакты

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Russia . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Russia
United States

Or select a country or region.