Для отображения данного веб-сайта используются файлы куки. Если вы продолжаете пользоваться веб-сайтом, не меняя настроек файлов куки, мы расцениваем это как ваше согласие на использование файлов куки.
Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

Плазмогенераторы постоянного тока

Импульсные плазмогенераторы постоянного тока производства компании TRUMPF Hüttinger идеально подходят для использования в различных реактивных процессах. В отличие от простых генераторов постоянного тока, генераторы импульсного постоянного тока позволяют обрабатывать полупроводниковые и непроводящие материалы, например оксиды. Импульсные генераторы часто используются для нанесения твердосплавных покрытий, а также протравливания и нанесения покрытий при производстве полупроводников.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC серии 4000 (G2)

TruPlasma DC серии 4000 (G2) объединяет превосходное качество дуговой обработки TRUMPF Hüttinger с преимуществами технологии импульсного постоянного тока. Вы получаете лучшие результаты нанесения слоев с меньшим количеством дефектов и повышенной скоростью осаждения. Итог — идеальные поверхности и высокая производительность.

Генератор пульсирующего тока TruPlasma DC серии 4000

TruPlasma DC серии 4000

Генераторы TruPlasma DC серии 4000 — идеальный выбор для сложных технологических процессов плазменной обработки. Они работают с полной мощностью, легко адаптируясь к нагрузке в широком диапазоне. Таким образом, они достаточно производительны для высокотехнологичных процессов ионно-плазменного напыления, а также для других плазменных технологий со стандартным или пульсирующим постоянным током. Как и генераторы непульсирующего тока, они оснащены уникальной функцией управления дугой.

Генератор TruPlasma Highpulse серии 4000

TruPlasma Highpulse серии 4000

Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 — идеальный выбор при использовании технологий магнетронного распыления импульсами высокой мощности (HIPIMS), гарантирующий получение особо устойчивых к коррозии и износу твердосплавных покрытий. В сочетании с поляризованной подложкой устройства TruPlasma Highpulse серии 4000 способны также поставлять электроэнергию для процессов производства полупроводников, таких как травление, предварительная обработка поверхностей и заполнение желобков.

Генератор смещающего напряжения с устойчивой регулировкой напряжения и системой быстрого управления дугой

TruPlasma Bias серии 4000

TruPlasma Bias серии 4000 — это линейка современных генераторов смещающего напряжения пульсирующего постоянного тока. Возможны частота пульсации до 100 кГц и непрерывное смещающее напряжение на выходе.
Каждое устройство серии имеет два режима работы: высоковольтный режим с напряжением 1200 В для травления подложки и низковольтный режим с напряжением 300 В для процессов нанесения покрытия с использованием смещающего напряжения, которые применяются, например, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавных покрытий.

Сервисное обслуживание и контакты