Идеальный выбор для сложных процессов плазменной обработки
Генераторы TruPlasma DC серии 4000 — идеальный выбор для сложных технологических процессов плазменной обработки. Они работают с полной мощностью, легко адаптируясь к нагрузке в широком диапазоне. Таким образом, они достаточно производительны для высокотехнологичных процессов ионно-плазменного напыления, а также для других плазменных технологий со стандартным или пульсирующим постоянным током. Как и генераторы непульсирующего тока, они оснащены уникальной функцией управления дугой.
Современная технология цифровой обработки сигналов (DSP) сводит к минимуму временные потери, обусловленные воздействием дуги.
Лучшие результаты, так как осаждается меньше капель и возникает меньше повреждений подложки.
Универсальное использование благодаря широкому диапазону мощности и частоте пульсации до 100 кГц.
Реактивное ионно-плазменное распыление тяжелых материалов
Генераторы пульсирующего тока TruPlasma DC серии 4000 специально разработаны для реактивного ионно-плазменного распыления тяжелых материалов. Эффективность генераторов проявляется во всех процессах вакуумного напыления и ПХГФО, требующих большой осторожности, например при производстве фотоэлементов и полупроводников, а также нанесении покрытий на высокопрочные материалы.
Сложные процессы плазменной обработки
Генераторы TruPlasma DC серии 4000 — идеальный выбор для сложных технологических процессов плазменной обработки. Они работают с полной мощностью, легко адаптируясь к нагрузке в широком диапазоне. Таким образом, они достаточно производительны для высокотехнологичных процессов ионно-плазменного напыления, а также для других плазменных технологий со стандартным или пульсирующим постоянным током. Как и генераторы непульсирующего тока, они оснащены уникальной функцией управления дугой.
Высокая эффективность
Цифровая система управления дугой с очень низким уровнем энергии дуги повышает качество слоев и скорость осаждения. Благодаря этому выделяется меньше капель и возникает меньше повреждений подложки. С учетом очень низкой остаточной энергии дуги это улучшает и параметры технологического процесса, и конечный продукт. Неизменная продолжительность технологического процесса с очень короткими перерывами обеспечивает высокую производительность.
Удобная адаптация параметров процесса
В генераторах TruPlasma DC серии 4000 система управления дугой, частота пульсации и сдвиг по фазе синхронизированы. Параметры частоты и пульсации настраиваются, за счет чего множество процессов можно выполнять с помощью одного устройства. Кроме того, возможна синхронная пульсация с использованием нескольких генераторов TruPlasma DC 4000.
PVD Power
Удобное для эксплуатации многоязычное программное обеспечение PVD Power предлагает разнообразные возможности управления, изменения конфигурации и диагностики с целью оптимизации качества технологических процессов и эффективного устранения неисправностей: индикация фактических значений всех существенных технологических параметров, предупреждений и аварийных сообщений, предварительная установка заданных значений оператором, регистрация и визуализация важнейших производственных параметров с точным указанием времени (функция осциллографа).
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.
