Для отображения данного веб-сайта используются файлы куки. Если вы продолжаете пользоваться веб-сайтом, не меняя настроек файлов куки, мы расцениваем это как ваше согласие на использование файлов куки.
Генератор смещающего напряжения с устойчивой регулировкой напряжения и системой быстрого управления дугой
Генератор смещающего напряжения с устойчивой регулировкой напряжения и системой быстрого управления дугой
Плазменное возбуждение
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias серии 4000

Стабильность и универсальность

    - / -
    • Обзор
    • Возможности применения
    • Технические характеристики
    • Преимущества для клиента
    • Программное обеспечение
    • Больше Меньше
    Универсальные генераторы для процессов ионно-плазменного распыления

    TruPlasma Bias серии 4000 — это линейка современных генераторов смещающего напряжения пульсирующего постоянного тока. Возможны частота пульсации до 100 кГц и непрерывное смещающее напряжение на выходе. Эти генераторы наиболее пригодны для нанесения оптических и металлических покрытий, которые применяются, к примеру, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавных покрытий. Их можно использовать и в других процессах с аналогичными требованиями к уровню напряжения и силе тока.

    Высоковольтный и низковольтный режим

    1200 В для процессов травления подложки;
    300 В для процессов нанесения покрытия с применением смещающего напряжения.

    Быстрое управление дугой

    Благодаря этому осаждается меньше капель и возникает меньше повреждений подложки.

    Стабильные и воспроизводимые результаты процесса

    Великолепное управление дугой благодаря современной технологии цифровой обработки сигналов и анализу сигналов с помощью программируемой пользователем вентильной матрицы (ППВМ).

    Основная область применения генераторов TruPlasma Bipolar серии 4000 (G2): нанесение износостойких слоев

    Нанесение износостойких слоев

    Генераторы TruPlasma Bias серии 4000 обеспечивают стабильность процессов плазменной обработки и, таким образом, оптимальное качество слоев.

    Идеальный выбор для нанесения покрытий большой площади

    Нанесение покрытий большой площади

    Для нанесения покрытий на поверхности большой площади с использованием плазменных технологий требуется стабильная технологическая система электропитания. Генераторы TruPlasma Bias серии 4000 создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного к конкретному процессу, что позволяет создавать изделия выдающегося качества с высоким уровнем воспроизводимости.

    Генератор TruPlasma Bias серии 4000

    Производство фотоэлементов

    Эффективность генераторов TruPlasma Bias серии 4000 проявляется во всех процессах вакуумного напыления и ПХГФО; они создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного к конкретному процессу, что позволяет создавать изделия выдающегося качества с высоким уровнем воспроизводимости.

    TruPlasma Bias 4012
    TruPlasma Bias 4018
    TruPlasma Bias 4026
    Выход      
    Номинальная мощность 12 кВт 18 кВт 26 кВт
    Макс. выходной ток 40 А эфф. 60 А эфф. 87 А эфф.
    Макс. выходное напряжение 1200 В эфф. 1200 В эфф. 1200 В эфф.
    Номинальная рабочая частота 0 кГц - 100 кГц 0 кГц - 100 кГц 0 кГц - 100 кГц
    Параметры электродуги      
    Макс. интенсивность электродуги 50 1/с 50 1/с 50 1/с
    Время обработки электродугой <0,5 мкСм <0,5 мкСм <0,5 мкСм
    Параметры подключения к сети      
    Сетевое напряжение 3x 360 В - 440 В 3x 360 В - 440 В 3x 360 В - 440 В
    Сетевая частота 50 Гц - 60 Гц 50 Гц - 60 Гц 50 Гц - 60 Гц
    Интерфейсы связи      
    Аналоговое/цифровое Да Да Да
    RS 232/RS 485 - Да -
    Шина PROFIBUS Да - Да
    EtherCAT Нет Нет Нет
    Корпус      
    Вес 70 кг 70 кг 71 кг
    Класс защиты IP IP 20 IP 20 IP 20
    Требования к охлаждению      
    Охлаждающая среда Воздух Воздух Воздух
    Температура хладагента 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Общая информация      
    Суммарный КПД 90 % 90 % 90 %
    Сертификаты/стандарты CE CE CE
    Условия окружающей среды      
    Наружная температура 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Влажность воздуха 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Барометрическое давление 860 кПа - 1060 кПа 860 кПа - 1060 кПа 860 кПа - 1060 кПа
    PDF <1MB
    Технический паспорт

    Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.

    Архитектурное стекло

    Гарантия неизменно благоприятных технологических условий

    Конфигурация мощности и исполнение системы управления поддерживают стабильное напряжение, имеющее определяющее значение для качества поверхностей и стабильности технологических процессов. Концепция TruPlasma Bias серии 4000 основана на технологии цифровой обработки сигналов с функцией анализа сигналов с помощью ППВМ и включает в себя современную систему управления дугой, обеспечивающую уникальную точность и воспроизводимость технологических процессов. Впечатляющие значения этих параметров оптимально стабилизируют технологический процесс.

    Нанесение твердосплавных покрытий

    Одно устройство для нескольких процессов — простота работы с системой

    Устройство TruPlasma Bias серии 4000 оснащено двумя режимами напряжения: высоковольтным (до 1200 В) и низковольтным (до 300 В). Эти режимы необходимы прежде всего для нанесения оптических и металлических покрытий, которые применяются, к примеру, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавного покрытия. Их можно использовать и в других процессах с аналогичными требованиями к уровню напряжения и силе тока.

    Управление дугой

    Оптимальное качество слоев благодаря бесперебойным процессам

    Генераторы TruPlasma Bias серии 4000 оснащены цифровой системой управления дугой и функцией CompensateLine, позволяющей создавать покрытия высокого качества с быстрыми темпами оседания. Благодаря этому выделяется меньше капель, и возникает меньше повреждений подложки — налицо улучшение как технологического процесса, так и изделий.

    Удобное для пользователя программное обеспечение PVD Power

    PVD Power

    Удобное для эксплуатации многоязычное программное обеспечение PVD Power предлагает разнообразные возможности управления, изменения конфигурации и диагностики с целью оптимизации качества технологических процессов и эффективного устранения неисправностей: индикация фактических значений всех существенных технологических параметров, предупреждений и аварийных сообщений, предварительная установка заданных значений оператором, регистрация и визуализация важнейших производственных параметров с точным указанием времени (функция осциллографа).

    В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.

    Вам могут быть интересны эти темы

    Services_Electronics_Technical_Support
    Отличный сервис

    Благодаря подходящему договору на сервисное обслуживание вы добьетесь максимальной производительности генератора даже при ограниченных затратах на обслуживание и эксплуатационные расходы.

    Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
    Оптимизация пульсирующего тока

    Генераторы TruPlasma Bias серии 3000 оснащены двумя режимами работы и цифровой системой управления дугой и позволяют создавать покрытия высокого качества с быстрыми темпами оседания.

    Services_Electronics_Training
    Индивидуальное обучение клиентов — наше преимущество

    Опытные сервисные инженеры делятся своими обширными знаниями, подбирая содержание обучения в зависимости от потребностей участников.

    Контакты

    Klaus Nock
    Продажи плазменной техники
    Факс: +49 761 89711150
    Электронная почта

    Загрузки

    Брошюра
    Брошюра «TruPlasma Bias серии 3000/4000»
    Брошюра «TruPlasma Bias серии 3000/4000»
    pdf - 1 MB
    Сервисное обслуживание и контакты