Всплывающее предупреждение об использовании "cookie" Если вы разрешаете нам использовать файлы "cookie" также в других целях, пожалуйста, нажмите здесь. Информация о дезактивации куки-файлов и защиты данных
Генератор смещающего напряжения с устойчивой регулировкой напряжения и системой быстрого управления дугой
Генератор смещающего напряжения с устойчивой регулировкой напряжения и системой быстрого управления дугой
Плазменное возбуждение
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias серии 3000

Стабильность и универсальность

Универсальные генераторы для процессов ионно-плазменного распыления

Генераторы TruPlasma Bias серии 3000 наиболее пригодны для нанесения оптических и металлических покрытий, которые применяются, к примеру, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавных покрытий. Их можно использовать и в других процессах с аналогичными требованиями к уровню напряжения и силе тока.

Высоковольтный и низковольтный режим

1200 В для процессов травления подложки;
300 В для процессов нанесения покрытия с применением смещающего напряжения.

Быстрое управление дугой

Очень низкий уровень остаточной энергии дуги, благодаря чему сокращается количество повреждений подложки и технологический процесс становится более стабильным.

Стабильные и воспроизводимые результаты процесса

Уникальная точность благодаря современной технологии цифровой обработки сигналов и анализу сигналов с помощью программируемой пользователем вентильной матрицы (ППВМ).

Идеальный выбор для нанесения покрытий большой площади

Нанесение декоративных слоев

Для нанесения покрытий на поверхности большой площади с использованием плазменных технологий требуется стабильная технологическая система электропитания. Генераторы TruPlasma Bias серии 3000 создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного к конкретному процессу, что позволяет создавать изделия выдающегося качества с высоким уровнем воспроизводимости.

Идеально подходит для применения в процессах протравливания и нанесения покрытий

Технология производства полупроводников

Эффективность генераторов TruPlasma Bias серии 3000 проявляется во всех процессах вакуумного напыления и ПХГФО; они создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного к конкретному процессу, что позволяет создавать изделия выдающегося качества с высоким уровнем воспроизводимости.

- / -
Генератор TruPlasma Bias серии 3000 в процессе эксплуатации

Гарантия неизменно благоприятных технологических условий

Конфигурация мощности и исполнение системы управления поддерживают стабильное напряжение, имеющее определяющее значение для качества поверхностей и стабильности технологических процессов. Концепция TruPlasma Bias серии 3000 основана на технологии цифровой обработки сигналов с функцией анализа сигналов с помощью ППВМ и включает в себя современную систему управления дугой, обеспечивающую уникальную точность и воспроизводимость технологических процессов. Впечатляющие значения этих параметров оптимально стабилизируют технологический процесс.

Основная область применения генераторов TruPlasma Bipolar серии 4000 (G2): нанесение износостойких слоев

Одно устройство для нескольких процессов — простота работы с системой

Устройство TruPlasma Bias серии 3000 оснащено двумя режимами напряжения: высоковольтным (до 1200 В) и низковольтным (до 300 В). Эти режимы необходимы прежде всего для нанесения оптических и металлических покрытий, которые применяются, к примеру, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавного покрытия. Их можно использовать и в других процессах с аналогичными требованиями к уровню напряжения и силе тока.

Основная область применения генератора TruPlasma Bias серии 3000: производство фотоэлементов

Оптимальное качество слоев благодаря бесперебойным процессам

Генераторы TruPlasma Bias серии 3000 оснащены цифровой системой управления дугой и функцией CompensateLine, позволяющей создавать покрытия высокого качества с быстрыми темпами оседания. Благодаря этому возникает меньше повреждений подложки — налицо улучшение как технологического процесса, так и конечного продукта.

Удобное для пользователя программное обеспечение PVD Power

PVD Power

Удобное для эксплуатации многоязычное программное обеспечение PVD Power предлагает разнообразные возможности управления, изменения конфигурации и диагностики с целью оптимизации качества технологических процессов и эффективного устранения неисправностей: индикация фактических значений всех существенных технологических параметров, предупреждений и аварийных сообщений, предварительная установка заданных значений оператором, регистрация и визуализация важнейших производственных параметров с точным указанием времени (функция осциллографа).

В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.

Вам могут быть интересны эти темы

Контакты

Klaus Nock
Продажи плазменной техники
Факс +49 761 89711150
Адрес электронной почты

Загрузки

Брошюра
Брошюра «TruPlasma Bias серии 3000/4000»
Брошюра «TruPlasma Bias серии 3000/4000»
pdf - 1 MB
Сервисное обслуживание и контакты

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Russia . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Russia
United States

Or select a country or region.