Выбор страны/региона и языка
Технологическая схема постоянного тока, плазмогенератор

Плазмогенераторы

Плазмогенераторы TRUMPF Hüttinger обеспечивают подачу энергии для многих высокотехнологичных областей промышленности, например для нанесения функционального покрытия на фотоэлементы и микрочипы, нанесения покрытий большой площади на архитектурное стекло, а также в производстве полупроводниковых элементов и плоских экранов. Они являются лидерами рынка благодаря выдающейся точности, эффективности использования энергии и высокой стабильности технологического процесса.

Среднечастотные плазмогенераторы

Идеальное решение для разнообразных случаев применения с устройствами для возбуждения плазмы благодаря выдающейся точности и высокой производительности.

Импульсные плазмогенераторы постоянного тока

Импульсные плазмогенераторы постоянного тока производства компании TRUMPF Hüttinger идеально подходят для применения в различных реактивных процессах.

Плазмогенераторы постоянного тока

Плазмогенераторы постоянного тока TRUMPF Hüttinger — классические устройства для возбуждения плазмы.

Высокочастотные плазмогенераторы

Оптимальный выбор для использования в таких сложных областях, как производство полупроводниковых элементов, микрочипов, фотоэлементов или плоских экранов.

Среднечастотные плазмогенераторы

Биполярный генератор TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar серии 4000 (G2.1)

Благодаря возможности выбора формы выходных сигналов и продуманной функции управления дугой генераторы TruPlasma Bipolar серии 4000 (G2.1) обеспечивают превосходные результаты при производстве фотоэлементов и полупроводников, изготовлении декоративных и износостойких покрытий, а также при нанесении слоев на архитектурное стекло. Генераторы новейшего поколения прекрасно подходят для сложных процессов плазменной обработки, таких как реактивное ионно-плазменное напыление, вакуумное напыление и ПХГФО.

TruPlasma MF серии 7000 (G2)

TruPlasma MF серии 7000 (G2)

При использовании среднечастотных генераторов TruPlasma MF серии 7000 (G2) ваш технологический процесс всегда будет под контролем. Результат — выдающееся качество слоев и высочайшая производительность даже при трудоемком нанесении покрытия на поверхность большой площади. Кроме того, благодаря максимальному КПД, превышающему 90 %, эти источники электропитания новейшего поколения чрезвычайно экономичны при эксплуатации.

Импульсные плазмогенераторы постоянного тока

Генератор TruPlasma Highpulse серии 4000

TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2)

Генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) позволяют создавать твердосплавные покрытия повышенной стойкости к коррозии и износу и идеально подходят для использования в системах HIPIMS. В сочетании с поляризованной подложкой генераторы TruPlasma Highpulse серии 4000 (G2) подходят также для технологических процессов производства полупроводников, таких как заполнение бороздок, предварительная обработка поверхностей и травление.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC серии 4000 (G2)

TruPlasma DC серии 4000 (G2) объединяет превосходное качество дуговой обработки TRUMPF Hüttinger с преимуществами технологии импульсного постоянного тока. Вы получаете лучшие результаты нанесения слоев с меньшим количеством дефектов и повышенной скоростью осаждения. Итог — идеальные поверхности и высокая производительность.

Плазмогенераторы постоянного тока

Генератор постоянного тока TruPlasma DC 3040

TruPlasma DC серии 3000 (G2)

Новое поколение генераторов постоянного тока TruPlasma DC серии 3000 (G2) подходит для многих процессов ионно-плазменного распыления с применением постоянного тока. Благодаря прогрессивной системе управления дугой и встроенному водяному охлаждению генераторы постоянного тока могут быть выгодной альтернативой генераторам пульсирующего постоянного тока. Кроме того, компактность конструкции упрощает их встраивание в готовые установки.

Дуговой генератор TruPlasma Arc серии 3000

TruPlasma Arc серии 3000

Преимущества генераторов TruPlasma Arc серии 3000 наиболее ярко проявляются при нанесении твердосплавных и декоративных покрытий. Компактная конструкция и воздушное охлаждение позволяют оптимально использовать полезную площадь и упрощают интеграцию в новые или уже действующие системы.

Радиочастотные плазмогенераторы

Generator der TruPlasma RF Air Serie

TruPlasma RF Air серии 1000

Высокочастотный генератор с воздушным охлаждением TruPlasma RF 1001 Air производит до 1000 ватт воспроизводимой энергии с очень точным разрешением — шагами по 100 мВт — и таким образом подходит для самых разных способов применения плазмы. Современные функции обработки, присущие запатентованной технологии TRUMPF Hüttinger, гарантируют максимальную эксплуатационную готовность и лучшие результаты любого процесса: производство полупроводников, фотоэлементов или дисплеев.

Сверхвысокочастотный генератор серии 3000

TruPlasma VHF серии 3000

Максимальная производительность ваших технологических процессов: генераторы TruPlasma VHF серии 3000 основаны на инновационной платформенной концепции, соответствующей самым высоким требованиям к технологическому процессу. Модульная структура генераторов сверхвысоких частот, оснащенная исключительно водной системой охлаждения, позволяет регулировать выходную мощность до 80 кВт, и все это на минимальной занимаемой площади!

Системное радиочастотное решение: высочайшая стабильность процессов благодаря использованию коммутирующей коробки

TruPlasma Match серии 1000 (G2/13)

Оптимальное ведение процесса плазменной обработки требует точной адаптации выходного сопротивления высокочастотного генератора. С этой задачей справляются коммутирующие коробки TruPlasma Match серии 1000 (G2/13), которые выполняют функцию связующего звена между генератором и технологическим процессом. Так создается комплексная технологическая система электропитания — РЧ-система TRUMPF.

Это может быть вам интересно

Контакты
Сервисное обслуживание и контакты