Универсальные генераторы для процессов ионно-плазменного распыления
TruPlasma Bias серии 4000 — это линейка современных генераторов смещающего напряжения пульсирующего постоянного тока. Возможны частота пульсации до 100 кГц и непрерывное смещающее напряжение на выходе. Эти генераторы наиболее пригодны для нанесения оптических и металлических покрытий, которые применяются, к примеру, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавных покрытий. Их можно использовать и в других процессах с аналогичными требованиями к уровню напряжения и силе тока.
1200 В для процессов травления подложки;
300 В для процессов нанесения покрытия с применением смещающего напряжения.
Благодаря этому осаждается меньше капель и возникает меньше повреждений подложки.
Великолепное управление дугой благодаря современной технологии цифровой обработки сигналов и анализу сигналов с помощью программируемой пользователем вентильной матрицы (ППВМ).
Нанесение износостойких слоев
Генераторы TruPlasma Bias серии 4000 обеспечивают стабильность процессов плазменной обработки и, таким образом, оптимальное качество слоев.
Нанесение покрытий большой площади
Для нанесения покрытий на поверхности большой площади с использованием плазменных технологий требуется стабильная технологическая система электропитания. Генераторы TruPlasma Bias серии 4000 создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного к конкретному процессу, что позволяет создавать изделия выдающегося качества с высоким уровнем воспроизводимости.
Производство фотоэлементов
Эффективность генераторов TruPlasma Bias серии 4000 проявляется во всех процессах вакуумного напыления и ПХГФО; они создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного к конкретному процессу, что позволяет создавать изделия выдающегося качества с высоким уровнем воспроизводимости.
TruPlasma Bias 4012
|
TruPlasma Bias 4018
|
TruPlasma Bias 4026
| |
|---|---|---|---|
| Выход | |||
| Номинальная мощность | 12 кВт | 18 кВт | 26 кВт |
| Макс. выходной ток | 40 А эфф. | 60 А эфф. | 87 А эфф. |
| Макс. выходное напряжение | 1200 В эфф. | 1200 В эфф. | 1200 В эфф. |
| Номинальная рабочая частота | 0 кГц - 100 кГц | 0 кГц - 100 кГц | 0 кГц - 100 кГц |
| Параметры электродуги | |||
| Макс. интенсивность электродуги | 50 1/с | 50 1/с | 50 1/с |
| Время обработки электродугой | <0,5 мкСм | <0,5 мкСм | <0,5 мкСм |
| Параметры подключения к сети | |||
| Сетевое напряжение | 3x 360 В - 440 В | 3x 360 В - 440 В | 3x 360 В - 440 В |
| Сетевая частота | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц - 60 Гц |
| Интерфейсы связи | |||
| Аналоговое/цифровое | Да | Да | Да |
| RS 232/RS 485 | - | Да | - |
| Шина PROFIBUS | Да | - | Да |
| EtherCAT | Нет | Нет | Нет |
| Корпус | |||
| Вес | 70 кг | 70 кг | 71 кг |
| Класс защиты IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
| Требования к охлаждению | |||
| Охлаждающая среда | Воздух | Воздух | Воздух |
| Температура хладагента | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Общая информация | |||
| Суммарный КПД | 90 % | 90 % | 90 % |
| Сертификаты/стандарты | CE | CE | CE |
| Условия окружающей среды | |||
| Наружная температура | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Влажность воздуха | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Барометрическое давление | 860 кПа - 1060 кПа | 860 кПа - 1060 кПа | 860 кПа - 1060 кПа |
Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.
Гарантия неизменно благоприятных технологических условий
Конфигурация мощности и исполнение системы управления поддерживают стабильное напряжение, имеющее определяющее значение для качества поверхностей и стабильности технологических процессов. Концепция TruPlasma Bias серии 4000 основана на технологии цифровой обработки сигналов с функцией анализа сигналов с помощью ППВМ и включает в себя современную систему управления дугой, обеспечивающую уникальную точность и воспроизводимость технологических процессов. Впечатляющие значения этих параметров оптимально стабилизируют технологический процесс.
Одно устройство для нескольких процессов — простота работы с системой
Устройство TruPlasma Bias серии 4000 оснащено двумя режимами напряжения: высоковольтным (до 1200 В) и низковольтным (до 300 В). Эти режимы необходимы прежде всего для нанесения оптических и металлических покрытий, которые применяются, к примеру, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавного покрытия. Их можно использовать и в других процессах с аналогичными требованиями к уровню напряжения и силе тока.
Оптимальное качество слоев благодаря бесперебойным процессам
Генераторы TruPlasma Bias серии 4000 оснащены цифровой системой управления дугой и функцией CompensateLine, позволяющей создавать покрытия высокого качества с быстрыми темпами оседания. Благодаря этому выделяется меньше капель, и возникает меньше повреждений подложки — налицо улучшение как технологического процесса, так и изделий.
PVD Power
Удобное для эксплуатации многоязычное программное обеспечение PVD Power предлагает разнообразные возможности управления, изменения конфигурации и диагностики с целью оптимизации качества технологических процессов и эффективного устранения неисправностей: индикация фактических значений всех существенных технологических параметров, предупреждений и аварийных сообщений, предварительная установка заданных значений оператором, регистрация и визуализация важнейших производственных параметров с точным указанием времени (функция осциллографа).
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.
