Универсальные генераторы для процессов ионно-плазменного распыления
TruPlasma Bias серии 4000 — это линейка современных генераторов смещающего напряжения пульсирующего постоянного тока. Возможны частота пульсации до 100 кГц и непрерывное смещающее напряжение на выходе. Эти генераторы наиболее пригодны для нанесения оптических и металлических покрытий, которые применяются, к примеру, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавных покрытий. Их можно использовать и в других процессах с аналогичными требованиями к уровню напряжения и силе тока.
1200 В для процессов травления подложки;
300 В для процессов нанесения покрытия с применением смещающего напряжения.
Благодаря этому осаждается меньше капель и возникает меньше повреждений подложки.
Великолепное управление дугой благодаря современной технологии цифровой обработки сигналов и анализу сигналов с помощью программируемой пользователем вентильной матрицы (ППВМ).
TruPlasma Bias 4012
|
TruPlasma Bias 4018
|
TruPlasma Bias 4026
| |
---|---|---|---|
Выход | |||
Номинальная мощность | 12 кВт | 18 кВт | 26 кВт |
Макс. выходной ток | 40 А эфф. | 60 А эфф. | 87 А эфф. |
Макс. выходное напряжение | 1200 В эфф. | 1200 В эфф. | 1200 В эфф. |
Номинальная рабочая частота | 0 кГц - 100 кГц | 0 кГц - 100 кГц | 0 кГц - 100 кГц |
Параметры электродуги | |||
Макс. интенсивность электродуги | 50 1/с | 50 1/с | 50 1/с |
Время обработки электродугой | <0,5 мкСм | <0,5 мкСм | <0,5 мкСм |
Параметры подключения к сети | |||
Сетевое напряжение | 3x 360 В - 440 В | 3x 360 В - 440 В | 3x 360 В - 440 В |
Сетевая частота | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц - 60 Гц | 50 Гц - 60 Гц |
Интерфейсы связи | |||
Аналоговое/цифровое | Да | Да | Да |
RS 232/RS 485 | - | Да | - |
Шина PROFIBUS | Да | - | Да |
EtherCAT | Нет | Нет | Нет |
Корпус | |||
Вес | 70 кг | 70 кг | 71 кг |
Класс защиты IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
Требования к охлаждению | |||
Охлаждающая среда | Воздух | Воздух | Воздух |
Температура хладагента | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
Общая информация | |||
Суммарный КПД | 90 % | 90 % | 90 % |
Сертификаты/стандарты | CE | CE | CE |
Условия окружающей среды | |||
Наружная температура | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
Влажность воздуха | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
Барометрическое давление | 860 кПа - 1060 кПа | 860 кПа - 1060 кПа | 860 кПа - 1060 кПа |
Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.

Гарантия неизменно благоприятных технологических условий
Конфигурация мощности и исполнение системы управления поддерживают стабильное напряжение, имеющее определяющее значение для качества поверхностей и стабильности технологических процессов. Концепция TruPlasma Bias серии 4000 основана на технологии цифровой обработки сигналов с функцией анализа сигналов с помощью ППВМ и включает в себя современную систему управления дугой, обеспечивающую уникальную точность и воспроизводимость технологических процессов. Впечатляющие значения этих параметров оптимально стабилизируют технологический процесс.

Одно устройство для нескольких процессов — простота работы с системой
Устройство TruPlasma Bias серии 4000 оснащено двумя режимами напряжения: высоковольтным (до 1200 В) и низковольтным (до 300 В). Эти режимы необходимы прежде всего для нанесения оптических и металлических покрытий, которые применяются, к примеру, при производстве полупроводников и нанесении твердосплавного покрытия. Их можно использовать и в других процессах с аналогичными требованиями к уровню напряжения и силе тока.

Оптимальное качество слоев благодаря бесперебойным процессам
Генераторы TruPlasma Bias серии 4000 оснащены цифровой системой управления дугой и функцией CompensateLine, позволяющей создавать покрытия высокого качества с быстрыми темпами оседания. Благодаря этому выделяется меньше капель, и возникает меньше повреждений подложки — налицо улучшение как технологического процесса, так и изделий.

PVD Power
Удобное для эксплуатации многоязычное программное обеспечение PVD Power предлагает разнообразные возможности управления, изменения конфигурации и диагностики с целью оптимизации качества технологических процессов и эффективного устранения неисправностей: индикация фактических значений всех существенных технологических параметров, предупреждений и аварийных сообщений, предварительная установка заданных значений оператором, регистрация и визуализация важнейших производственных параметров с точным указанием времени (функция осциллографа).
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.