Высокочастотные генераторы нового поколения
В процессе нанесения слоев или структурирования поверхностей определяющее значение имеет стабильное и воспроизводимое электропитание плазменного устройства. Высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13), оснащенные современной силовой электроникой, способны создать оптимальные условия для этого: благодаря постоянной выходной мощности и точности регулирования они гарантируют лучшие результаты при высокой производительности.
Технология CombineLine: оптимальные показатели процесса благодаря реальному полному выходному сопротивлению 50 Ом.
Корректировка длины кабелей больше не требуется — абсолютное новшество в области высокочастотного оборудования!
Технология CombineLine: надежная защита от отраженной мощности при неточном согласовании сопротивлений.
КПД до 80 % сокращает расходы на электроэнергию до 50 %.
Отсутствие нагрева или загрязнения окружающего воздуха, что дает возможность эксплуатации генератора в чистых помещениях.
Идеально подходит для нанесения покрытий на плоские экраны
Высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) идеально подходят для плазменной обработки, например для реактивного ионного травления РИТ, атомно-слоевого осаждения (АСО), плазмохимического газофазного осаждения (ПХГФО) и высокочастотного ионно-плазменного распыления. Помимо всего прочего, эти методы применяются при производстве полупроводниковых компонентов и микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также нанесении слоев на плоские экраны и фотоэлементы.
Основная область применения: производство фотоэлементов
Наиболее распространенные области применения TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13): сложные процессы ПХГФО, травления и высокочастотного ионно-плазменного распыления в производстве фотоэлементов.
Производство полупроводников
В сфере производства полупроводников используются различные методы плазменной обработки, от снятия слоев путем сухого травления до метода плавающей зоны при изготовлении чистого кремния. Генераторы TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного для конкретных процессов, что позволяет получать отличные результаты с высоким уровнем воспроизводимости.
|
TruPlasma RF 1002
|
TruPlasma RF 1003
|
|
|---|---|---|
| Выход RF | ||
| Выходная мощность | 2 кВт | 3 кВт |
| Номинальная мощность | 2 кВт | 3 кВт |
| Номинальное полное сопротивление нагрузки | 50 Ом | 50 Ом |
| Выходная частота | 13,56 мГц | 13,56 мГц |
| Параметры подключения к сети | ||
| Сетевое напряжение | 200 - 480 В | 200 - 480 В |
| Сетевая частота | 50-60 Гц | 50-60 Гц |
| Потребляемая сетевая мощность | 3,1 кВА | 4,3 кВА |
| Коэффициент мощности | 0,95 | 0,95 |
| Интерфейсы связи | ||
| Синхронные интерфейсы | Да | Да |
| Аналоговое/цифровое | Да | Да |
| RS 232/RS 485 | Да | Да |
| Шина PROFIBUS | Да | Да |
| EtherCAT | Да | Да |
| DeviceNet | Да | Да |
| Корпус | ||
| Вес | 18 кг | 18 кг |
| Класс защиты IP | 30 | 30 |
| Требования к охлаждению | ||
| Макс. давление воды | 7 бар | 7 бар |
| Мин. разница давления | 1,1 бар | 1,1 бар |
| Мин. расход | 4 л/мин | 4 л/мин |
| Температура хладагента | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C 1 |
| Общая информация | ||
| Суммарный КПД | 80 % | 80 % |
| Сертификаты/стандарты | Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs |
| Условия окружающей среды | ||
| Наружная температура | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Влажность воздуха | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Барометрическое давление | 79,5 кПа - 106 кПа | 79,5 кПа - 106 кПа |
Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.
Оптимальная адаптация к вашему технологическому процессу
Интеллектуальная система синхронизации TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) в режиме реального времени быстро и напрямую корректирует уровень полного сопротивления до 50 Ом. Запатентованная технология CombineLine надежно защищает от колебаний плазмы и загрязнений, а концепция охлаждения без принудительного вентилирования снижает частоту отказов, повышает эффективность и делает возможным применение системы в чистых помещениях.
Максимальная эффективность и универсальность
КПД до 80 % позволяет снизить расходы на электроэнергию до 50 % по сравнению с обычными генераторами. Многочисленные интерфейсы (аналоговый интерфейс с изменяемой конфигурацией, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) упрощают интеграцию в готовые установки — благодаря встроенным источникам питания с большим числом уровней напряжения (в диапазоне 200–480 В пер. тока) техническая адаптация не требуется. Несмотря на большую плотность мощности, устройство обладает компактной конструкцией (вставной отсек 19 или ½-19 дюймов), благодаря чему его интеграция в любую готовую производственную установку не требует много места.
TRUMPF SystemPort
SystemPort позволяет использовать замкнутый контур регулирования благодаря измерению РЧ-сигнала непосредственно на входе и выходе коммутирующей коробки. Для РЧ-генератора доступны все результаты измерения. Это позволяет лучше контролировать технологические параметры, защищает коммутирующую коробку и обеспечивает раннее распознавание дуги генератора. Таким образом, один интерфейс генератора обеспечивает управление всей РЧ-системой.
Различные опции дают возможность оптимальной адаптации высокочастотного генератора к вашей цели применения.
Продуманная система управления дугой представляет собой идеальный модуль, обеспечивающий наилучший контроль за плазменным процессом. Целенаправленное распознавание дуги гарантирует максимально возможную производительность и одновременно с этим защищает изделие и установку.
Запатентованное решение для автоматической настройки частоты обеспечивает синхронную и быструю адаптацию частоты и гарантирует оптимальное взаимодействие генератора и коммутирующей коробки. Благодаря этой запатентованной технологии локальный минимум больше не является препятствием: РЧ-система настраивается на оптимальные параметры, что позволяет получать наилучшие результаты технологических процессов с высокой степенью воспроизводимости.
Все компоненты РЧ-системы TRUMPF оптимально согласованы по своим характеристикам.
Согласующие четырехполюсники TruPlasma Match обеспечивают оптимальную передачу мощности генератора в плазменный разряд. Эксплуатация коммутирующей коробки может осуществляться в автономном режиме или через интеллектуальную систему связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемый порт SystemPort.
Ведущие осцилляторы позволяют стабилизировать и оптимизировать критические синхронные процессы плазменной обработки. Встроенный цифровой синтезатор частот и фаз поддерживает эти параметры на стабильном уровне и позволяет настраивать фазовое положение с очень малой величиной шага. На выбор доступны разнообразные исполнения ведущих осцилляторов для частоты 13,56 МГц, а также различных сочетаний частот.
Высокочастотный переключатель позволяет многократно использовать высокочастотный генератор на различных станциях плазменной обработки, например для электропитания многостадийных процессов или в системах с разными точками питания. Ассортимент включает в себя высокочастотные переключатели двух классов мощности с двумя, тремя или четырьмя выходами.
Компания TRUMPF Hüttinger предлагает коаксиальные кабели для передачи высокочастотной мощности, конструкция которых специально предназначена для эксплуатации в системах 50 Ом.
Идеально настроенные компоненты РЧ-системы TRUMPF
Процессы плазменной обработки подразумевают комплексную переменную нагрузку, требующую непрерывного подвода электропитания от генератора. Его обеспечивают активные согласующие четырехполюсники, так называемые коммутирующие коробки, которые бесперебойно выполняют точную корректировку параметров до оптимального сопротивления 50 Ом. Так создается системное решение с идеально согласованными компонентами — РЧ-система TRUMPF. С помощью различных интерфейсов, например EtherCAT, вы можете с легкостью интегрировать генератор и коммутирующую коробку в имеющиеся технологические условия и добиться оптимального решения благодаря интеллектуальной системе связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемому порту SystemPort.
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.
Примечания-
Температура охлаждающей жидкости должна превышать температуру конденсации окружающего воздуха для предотвращения конденсации.
