Гарантия великолепных результатов технологического процесса
С этими высокочастотными генераторами успех гарантирован: модель TruPlasma RF серии 3000 отличается прочной конструкцией и высокой эффективностью. Благодаря этому она идеально подходит для стабильных, воспроизводимых процессов плазменной обработки, которые применяются, к примеру, при производстве плоских экранов, фотоэлементов и полупроводников. Генераторы этой серии установлены в тысячи производственных линий по всему миру и гарантируют высокую производительность, позволяющую достичь выдающихся результатов технологического процесса.
КПД до 80 % сокращает расходы на электроэнергию до 50 %.
Надежное управление даже самыми сложными и ранее не опробованными технологическими процессами.
Технология CombineLine: надежная защита от отраженной мощности при неточном согласовании сопротивлений.
Непрерывная или импульсная отдача мощности, что обеспечивает возможность применения в самых разных целях.
Процессы протравливания и нанесения покрытий
Высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 3000 более всего подходят для процессов протравливания и нанесения покрытий, например плазменного травления, реактивного ионного травления, АСО и ПХГФО.
Нанесение покрытий на металлические заготовки
При помощи плазменных процессов можно как наносить материал на поверхности, так и снимать слои. Примеры: нанесение на металлические заготовки защитного покрытия от износа, структурирование электронных конструктивных элементов методом плазменного травления или прокаливания фотолака до золы.
Нанесение покрытий на плоские экраны и фотоэлементы
Высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 3000 идеально подходят для плазменных процессов, например реактивного ионного травления (РИТ), атомно-слоевого осаждения (АСО), плазмохимического газофазного осаждения (ПХГФО) и высокочастотного ионно-плазменного распыления. Эти методы применяются в том числе при нанесении покрытий на плоские экраны и фотоэлементы.
|
TruPlasma RF 3012
|
TruPlasma RF 3020
|
TruPlasma RF 3024
|
|
|---|---|---|---|
| Выход RF | |||
| Выходная мощность | 12 кВт | 20 кВт | 24 кВт |
| Номинальная мощность | 12 кВт | 20 кВт | 24 кВт |
| Номинальное полное сопротивление нагрузки | 50 Ом | 50 Ом | 50 Ом |
| Выходная частота | 13,56 мГц | 13,56 мГц | 13,56 мГц |
| Параметры подключения к сети | |||
| Сетевое напряжение | 400 - 480 В | 400 - 480 В | 400 - 480 В |
| Сетевая частота | 50-60 Гц | 50-60 Гц | 50-60 Гц |
| Потребляемая сетевая мощность | 16,6 кВА | 28,1 кВА | 33,3 кВА |
| Коэффициент мощности | 0,93 | 0,93 | 0,93 |
| Интерфейсы связи | |||
| Синхронные интерфейсы | Да | Да | Да |
| Аналоговое/цифровое | Да | Да | Да |
| RS 232/RS 485 | Да | Да | Да |
| Шина PROFIBUS | Да | Да | Да |
| EtherCAT | Да | Да | Да |
| DeviceNet | Да | Да | Да |
| Корпус | |||
| Вес | 57 кг | 117 кг | 117 кг |
| Класс защиты IP | 20 | 20 | 20 |
| Требования к охлаждению | |||
| Макс. давление воды | 7 бар | 7 бар | 7 бар |
| Мин. разница давления | 2 бар | 2 бар | 2 бар |
| Мин. расход | 10 л/мин | 20 л/мин | 20 л/мин |
| Температура хладагента | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 |
| Общая информация | |||
| Суммарный КПД | 78 % | 75 % | 75 % |
| Сертификаты/стандарты | SEMI F47, CE, RoHs | SEMI F47, CE, RoHs | SEMI F47, CE, RoHs |
| Условия окружающей среды | |||
| Наружная температура | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Влажность воздуха | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Барометрическое давление | 79,5 кПа - 106 кПа | 79,5 кПа - 106 кПа | 79,5 кПа - 106 кПа |
Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.
Высочайшая эффективность и стабильность технологических процессов
Снижение мощности потерь наполовину и сокращение расхода охлаждающей жидкости благодаря выдающемуся КПД — так вы можете снизить эксплуатационные расходы до минимума. Очень прочная конструкция генераторов позволяет продлить время эксплуатации при выполнении процессов, требующих большой осторожности, и тем самым достичь более высокой скорости нанесения покрытия. Технология CombineLine надежно предотвращает колебания плазмы за счет стабильного полного сопротивления 50 Ом, что позволяет рассчитывать на абсолютную стабильность технологических процессов.
Безопасность в любой ситуации
Прочная конструкция обеспечивает максимальную надежность и производительность технологических процессов. Стопроцентная защита от неточного согласования сопротивлений гарантирует безопасную эксплуатацию даже при критических нагрузках. Возможность выбора непрерывной или пульсирующей отдачи мощности позволяет адаптировать систему к самым разным требованиям технологического процесса. По всему миру установлено более 20 000 единиц оборудования, что превышает количество любых других источников электропитания для технологий плазменной обработки.
TRUMPF SystemPort
SystemPort позволяет использовать замкнутый контур регулирования благодаря измерению РЧ-сигнала непосредственно на входе и выходе коммутирующей коробки. Для РЧ-генератора доступны все результаты измерения. Это позволяет лучше контролировать технологические параметры, защищает коммутирующую коробку и обеспечивает раннее распознавание дуги генератора. Таким образом, один интерфейс генератора обеспечивает управление всей РЧ-системой.
Различные опции дают возможность оптимальной адаптации высокочастотного генератора к вашей цели применения.
Продуманная система управления дугой представляет собой идеальный модуль, обеспечивающий наилучший контроль за плазменным процессом. Целенаправленное распознавание дуги гарантирует максимально возможную производительность и одновременно с этим защищает изделие и установку.
TruControl Power
Программное обеспечение системы управления TruControl Power с удобным интерфейсом обеспечивает удобный ввод в эксплуатацию и надежный контроль высокочастотного генератора, а также всей РЧ-системы TRUMPF в процессе эксплуатации.
Все компоненты РЧ-системы TRUMPF оптимально согласованы по своим характеристикам.
Согласующие четырехполюсники TruPlasma Match обеспечивают оптимальную передачу мощности генератора в плазменный разряд. Эксплуатация коммутирующей коробки может осуществляться в автономном режиме или через интеллектуальную систему связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемый порт SystemPort.
Ведущие осцилляторы позволяют стабилизировать и оптимизировать критические синхронные процессы плазменной обработки. Встроенный цифровой синтезатор частот и фаз поддерживает эти параметры на стабильном уровне и позволяет настраивать фазовое положение с очень малой величиной шага. На выбор доступны разнообразные исполнения ведущих осцилляторов для частоты 13,56 МГц, а также различных сочетаний частот.
Высокочастотный переключатель позволяет многократно использовать высокочастотный генератор на различных станциях плазменной обработки, например для электропитания многостадийных процессов или в системах с разными точками питания. Ассортимент включает в себя высокочастотные переключатели двух классов мощности с двумя, тремя или четырьмя выходами.
Компания TRUMPF Hüttinger предлагает коаксиальные кабели для передачи высокочастотной мощности, конструкция которых специально предназначена для эксплуатации в системах 50 Ом.
Идеальная настройка генератора и коммутирующей коробки
Процессы плазменной обработки подразумевают комплексную переменную нагрузку, требующую непрерывного подвода электропитания от генератора. Его обеспечивают активные согласующие четырехполюсники, так называемые коммутирующие коробки, которые бесперебойно выполняют точную корректировку параметров до оптимального сопротивления 50 Ом. Так создается системное решение с идеально согласованными компонентами — РЧ-система TRUMPF. С помощью различных интерфейсов, например EtherCAT, вы можете с легкостью интегрировать генератор и коммутирующую коробку в имеющиеся технологические условия и добиться оптимального решения благодаря интеллектуальной системе связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемому порту SystemPort.
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.
Примечания-
Температура охлаждающей жидкости должна превышать температуру конденсации окружающего воздуха для предотвращения конденсации.
