Для отображения данного веб-сайта используются файлы куки. Если вы продолжаете пользоваться веб-сайтом, не меняя настроек файлов куки, мы расцениваем это как ваше согласие на использование файлов куки.
Высокочастотный генератор TruPlasma RF 3006
Высокочастотный генератор TruPlasma RF 3006
Плазменное возбуждение
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13)

Максимальная производительность благодаря стабильным процессам

    - / -
    • Обзор
    • Возможности применения
    • Технические характеристики
    • Преимущества для клиента
    • Опции
    • Системные компоненты
    • Система RF
    • Больше Меньше
    Высокочастотные генераторы нового поколения

    В процессе нанесения слоев или структурирования поверхностей определяющее значение имеет стабильное и воспроизводимое электропитание плазменного устройства. Высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13), оснащенные современной силовой электроникой, способны создать оптимальные условия для этого: благодаря постоянной выходной мощности и точности регулирования они гарантируют лучшие результаты при высокой производительности.

    Высокая точность и воспроизводимость

    Технология CombineLine: оптимальные показатели процесса благодаря реальному полному выходному сопротивлению 50 Ом.

    Независимость от длины высокочастотного кабеля

    Корректировка длины кабелей больше не требуется — абсолютное новшество в области высокочастотного оборудования!

    Прочность и безопасность

    Технология CombineLine: надежная защита от отраженной мощности при неточном согласовании сопротивлений.

    Эффективность и экономичность

    КПД до 80 % сокращает расходы на электроэнергию до 50 %.

    Концепция охлаждения без принудительного вентилирования

    Отсутствие нагрева или загрязнения окружающего воздуха, что дает возможность эксплуатации генератора в чистых помещениях.

    Высокочастотный генератор TruPlasma RF 3006

    Идеально подходит для нанесения покрытий на плоские экраны

    Высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) идеально подходят для плазменной обработки, например для реактивного ионного травления РИТ, атомно-слоевого осаждения (АСО), плазмохимического газофазного осаждения (ПХГФО) и высокочастотного ионно-плазменного распыления. Помимо всего прочего, эти методы применяются при производстве полупроводниковых компонентов и микроэлектромеханических систем (МЭМС), а также нанесении слоев на плоские экраны и фотоэлементы.

    Производство фотоэлементов

    Основная область применения: производство фотоэлементов

    Наиболее распространенные области применения TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13): сложные процессы ПХГФО, травления и высокочастотного ионно-плазменного распыления в производстве фотоэлементов.

    Идеально подходит для применения в процессах протравливания и нанесения покрытий

    Производство полупроводников

    В сфере производства полупроводников используются различные методы плазменной обработки, от снятия слоев путем сухого травления до метода плавающей зоны при изготовлении чистого кремния. Генераторы TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) создают все необходимые условия для стабильного электропитания, оптимально адаптированного для конкретных процессов, что позволяет получать отличные результаты с высоким уровнем воспроизводимости.

    TruPlasma RF 1002
    TruPlasma RF 1003
    TruPlasma RF 3006
    Выход RF      
    Выходная мощность 2 кВт 3 кВт 6 кВт
    Номинальная мощность 2 кВт 3 кВт 6 кВт
    Номинальное полное сопротивление нагрузки 50 Ом 50 Ом 50 Ом
    Выходная частота 13,56 мГц 13,56 мГц 13,56 мГц
    Параметры подключения к сети      
    Сетевое напряжение 200 - 480 В 200 - 480 В 200 - 480 В
    Сетевая частота 50-60 Гц 50-60 Гц 50-60 Гц
    Потребляемая сетевая мощность 3,1 кВА 4,3 кВА 7,9 кВА
    Коэффициент мощности 0,95 0,95 0,95
    Интерфейсы связи      
    Синхронные интерфейсы Да Да Да
    Аналоговое/цифровое Да Да Да
    RS 232/RS 485 Да Да Да
    Шина PROFIBUS Да Да Да
    EtherCAT Да Да Да
    DeviceNet Да Да Да
    Корпус      
    Вес 18 кг 18 кг 38 кг
    Класс защиты IP 30 30 30
    Требования к охлаждению      
    Макс. давление воды 7 бар 7 бар 7 бар
    Мин. разница давления 1,1 бар 1,1 бар 1,1 бар
    Мин. расход 4 л/мин 4 л/мин 8 л/мин
    Температура хладагента 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
    Общая информация      
    Суммарный КПД 80 % 80 % 80 %
    Сертификаты/стандарты Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs
    Условия окружающей среды      
    Наружная температура 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Влажность воздуха 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Барометрическое давление 79,5 кПа - 106 кПа 79,5 кПа - 106 кПа 79,5 кПа - 106 кПа
    PDF <1MB
    Технический паспорт

    Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.

    Встроенная технология CombineLine

    Оптимальная адаптация к вашему технологическому процессу

    Интеллектуальная система синхронизации TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) в режиме реального времени быстро и напрямую корректирует уровень полного сопротивления до 50 Ом. Запатентованная технология CombineLine надежно защищает от колебаний плазмы и загрязнений, а концепция охлаждения без принудительного вентилирования снижает частоту отказов, повышает эффективность и делает возможным применение системы в чистых помещениях.

    Высокочастотный генератор для параллельных колебательных контуров

    Максимальная эффективность и универсальность

    КПД до 80 % позволяет снизить расходы на электроэнергию до 50 % по сравнению с обычными генераторами. Многочисленные интерфейсы (аналоговый интерфейс с изменяемой конфигурацией, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) упрощают интеграцию в готовые установки — благодаря встроенным источникам питания с большим числом уровней напряжения (в диапазоне 200–480 В пер. тока) техническая адаптация не требуется. Несмотря на большую плотность мощности, устройство обладает компактной конструкцией (вставной отсек 19 или ½-19 дюймов), благодаря чему его интеграция в любую готовую производственную установку не требует много места.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    SystemPort позволяет использовать замкнутый контур регулирования благодаря измерению РЧ-сигнала непосредственно на входе и выходе коммутирующей коробки. Для РЧ-генератора доступны все результаты измерения. Это позволяет лучше контролировать технологические параметры, защищает коммутирующую коробку и обеспечивает раннее распознавание дуги генератора. Таким образом, один интерфейс генератора обеспечивает управление всей РЧ-системой.

    Различные опции дают возможность оптимальной адаптации высокочастотного генератора к вашей цели применения.

    Управление высокочастотной дугой

    Продуманная система управления дугой представляет собой идеальный модуль, обеспечивающий наилучший контроль за плазменным процессом. Целенаправленное распознавание дуги гарантирует максимально возможную производительность и одновременно с этим защищает изделие и установку.

    Автоматическая настройка частоты

    Запатентованное решение для автоматической настройки частоты обеспечивает синхронную и быструю адаптацию частоты и гарантирует оптимальное взаимодействие генератора и коммутирующей коробки. Благодаря этой запатентованной технологии локальный минимум больше не является препятствием: РЧ-система настраивается на оптимальные параметры, что позволяет получать наилучшие результаты технологических процессов с высокой степенью воспроизводимости.

    Все компоненты РЧ-системы TRUMPF оптимально согласованы по своим характеристикам.

    Системное радиочастотное решение: невероятная стабильность процессов благодаря использованию коммутирующей коробки
    Коммутирующая коробка TruPlasma Match серии 1000 (G2/13)

    Согласующие четырехполюсники TruPlasma Match обеспечивают оптимальную передачу мощности генератора в плазменный разряд. Эксплуатация коммутирующей коробки может осуществляться в автономном режиме или через интеллектуальную систему связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемый порт SystemPort.

    Ведущий осциллятор для стабилизации критических синхронных процессов плазменной обработки
    Ведущие осцилляторы

    Ведущие осцилляторы позволяют стабилизировать и оптимизировать критические синхронные процессы плазменной обработки. Встроенный цифровой синтезатор частот и фаз поддерживает эти параметры на стабильном уровне и позволяет настраивать фазовое положение с очень малой величиной шага. На выбор доступны разнообразные исполнения ведущих осцилляторов для частоты 13,56 МГц, а также различных сочетаний частот.

    Переключатель для использования высокочастотного генератора на адаптируемых плазменных системах
    Высокочастотный переключатель

    Высокочастотный переключатель позволяет многократно использовать высокочастотный генератор на различных станциях плазменной обработки, например для электропитания многостадийных процессов или в системах с разными точками питания. Ассортимент включает в себя высокочастотные переключатели двух классов мощности с двумя, тремя или четырьмя выходами.

    Коаксиальный кабель для передачи требуемых значений мощности
    Коаксиальный кабель

    Компания TRUMPF Hüttinger предлагает коаксиальные кабели для передачи высокочастотной мощности, конструкция которых специально предназначена для эксплуатации в системах 50 Ом.

    Генератор и коммутирующая коробка: системное решение с идеально согласованными компонентами

    Идеально настроенные компоненты РЧ-системы TRUMPF

    Процессы плазменной обработки подразумевают комплексную переменную нагрузку, требующую непрерывного подвода электропитания от генератора. Его обеспечивают активные согласующие четырехполюсники, так называемые коммутирующие коробки, которые бесперебойно выполняют точную корректировку параметров до оптимального сопротивления 50 Ом. Так создается системное решение с идеально согласованными компонентами — РЧ-система TRUMPF. С помощью различных интерфейсов, например EtherCAT, вы можете с легкостью интегрировать генератор и коммутирующую коробку в имеющиеся технологические условия и добиться оптимального решения благодаря интеллектуальной системе связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемому порту SystemPort.

    В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.

    Примечания
    • Температура охлаждающей жидкости должна превышать температуру конденсации окружающего воздуха для предотвращения конденсации.

    Вам могут быть интересны эти темы

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
    Электропитание для использования плазменных технологий

    Плазмогенераторы TRUMPF Hüttinger отличаются широким спектром мощностей и частот. Узнайте больше о наших изделиях.

    RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
    Интеллектуальное согласование с применением измерений в режиме реального времени

    Новые коммутирующие коробки серии TruPlasma Match 1000 (G2/13) — оптимальное дополнение к РЧ-генераторам и часть комплексного решения, а именно РЧ-системы TRUMPF.

    Services_Electronics_Technical_Support
    Отличный сервис

    Благодаря подходящему договору на сервисное обслуживание вы добьетесь максимальной производительности генератора даже при ограниченных затратах на обслуживание и эксплуатационные расходы.

    Контакты

    Klaus Nock
    Продажи плазменной техники
    Факс: +49 761 89711150
    Электронная почта

    Загрузки

    Брошюра «TruPlasma RF серии 1000 3000»
    Брошюра «TruPlasma RF серии 1000 3000»
    pdf - 337 KB
    Брошюра «Система TruPlasma RF»
    pdf - 6 MB
    Whitepaper Autofrequency Tuning
    pdf - 1 MB
    Whitepaper Precision in Processing
    pdf - 2 MB
    Сервисное обслуживание и контакты