Для отображения данного веб-сайта используются файлы куки. Если вы продолжаете пользоваться веб-сайтом, не меняя настроек файлов куки, мы расцениваем это как ваше согласие на использование файлов куки.
Высокочастотные генераторы TruPlasma RF 3024/3012/3006
Высокочастотные генераторы TruPlasma RF 3024/3012/3006
Плазменное возбуждение
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF серии 3000

Высокочастотные технологии без компромиссов

    - / -
    • Обзор
    • Возможности применения
    • Технические характеристики
    • Преимущества для клиента
    • Опции
    • Программное обеспечение
    • Системные компоненты
    • Система RF
    • Больше Меньше
    Гарантия великолепных результатов технологического процесса

    С этими высокочастотными генераторами успех гарантирован: модель TruPlasma RF серии 3000 отличается прочной конструкцией и высокой эффективностью. Благодаря этому она идеально подходит для стабильных, воспроизводимых процессов плазменной обработки, которые применяются, к примеру, при производстве плоских экранов, фотоэлементов и полупроводников. Генераторы этой серии установлены в тысячи производственных линий по всему миру и гарантируют высокую производительность, позволяющую достичь выдающихся результатов технологического процесса.

    Эффективность и экономичность

    КПД до 80 % сокращает расходы на электроэнергию до 50 %.

    Великолепное высокочастотное управление дугой

    Надежное управление даже самыми сложными и ранее не опробованными технологическими процессами.

    Высокая прочность и стабильность технологического процесса

    Технология CombineLine: надежная защита от отраженной мощности при неточном согласовании сопротивлений.

    Максимальная универсальность

    Непрерывная или импульсная отдача мощности, что обеспечивает возможность применения в самых разных целях.

    Идеально подходит для применения в процессах протравливания и нанесения покрытий

    Процессы протравливания и нанесения покрытий

    Высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 3000 более всего подходят для процессов протравливания и нанесения покрытий, например плазменного травления, реактивного ионного травления, АСО и ПХГФО.

    Идеально подходит для нанесения слоев на металлические заготовки

    Нанесение покрытий на металлические заготовки

    При помощи плазменных процессов можно как наносить материал на поверхности, так и снимать слои. Примеры: нанесение на металлические заготовки защитного покрытия от износа, структурирование электронных конструктивных элементов методом плазменного травления или прокаливания фотолака до золы.

    Электропитание экстра-класса для нанесения покрытий на плоские экраны

    Нанесение покрытий на плоские экраны и фотоэлементы

    Высокочастотные генераторы TruPlasma RF серии 3000 идеально подходят для плазменных процессов, например реактивного ионного травления (РИТ), атомно-слоевого осаждения (АСО), плазмохимического газофазного осаждения (ПХГФО) и высокочастотного ионно-плазменного распыления. Эти методы применяются в том числе при нанесении покрытий на плоские экраны и фотоэлементы.

    Выход RF          
    Выходная мощность 12 кВт 20 кВт 24 кВт 40 кВт 50 кВт
    Номинальная мощность 12 кВт 20 кВт 24 кВт 40 кВт 50 кВт
    Номинальное полное сопротивление нагрузки 50 Ом 50 Ом 50 Ом 50 Ом 50 Ом
    Выходная частота 13,56 мГц 13,56 мГц 13,56 мГц 13,56 мГц 13,56 мГц
    Параметры подключения к сети          
    Сетевое напряжение 400 - 480 В 400 - 480 В 400 - 480 В 400 - 480 В 400 - 480 В
    Сетевая частота 50-60 Гц 50-60 Гц 50-60 Гц 50/60 Гц 50/60 Гц
    Потребляемая сетевая мощность 16,6 кВА 28,1 кВА 33,3 кВА 80 кВА 100 кВА
    Коэффициент мощности 0,93 0,93 0,93 - -
    Интерфейсы связи          
    Синхронные интерфейсы Да Да Да Да Да
    Аналоговое/цифровое Да Да Да Да Да
    RS 232/RS 485 Да Да Да Да Да
    Шина PROFIBUS Да Да Да Да Да
    EtherCAT Да Да Да Нет Нет
    DeviceNet Да Да Да Да Да
    Корпус          
    Вес 57 кг 117 кг 117 кг 1000 кг 1200 кг
    Класс защиты IP 20 20 20 54 54
    Требования к охлаждению          
    Макс. давление воды 7 бар 7 бар 7 бар 6 бар 6 бар
    Мин. разница давления 2 бар 2 бар 2 бар 2,5 бар 2,5 бар
    Мин. расход 10 л/мин 20 л/мин 20 л/мин 46 л/мин 56 л/мин
    Температура хладагента 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
    Общая информация          
    Суммарный КПД 78 % 75 % 75 % - -
    Сертификаты/стандарты SEMI F47, CE, RoHs SEMI F47, CE, RoHs SEMI F47, CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
    Условия окружающей среды          
    Наружная температура 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Влажность воздуха 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Барометрическое давление 79,5 кПа - 106 кПа 79,5 кПа - 106 кПа 79,5 кПа - 106 кПа 79,5 кПа - 106 кПа 79,5 кПа - 106 кПа
    PDF <1MB
    Технический паспорт

    Технические характеристики всех видов продукции в виде файла для загрузки.

    Встроенная технология CombineLine

    Высочайшая эффективность и стабильность технологических процессов

    Снижение мощности потерь наполовину и сокращение расхода охлаждающей жидкости благодаря выдающемуся КПД — так вы можете снизить эксплуатационные расходы до минимума. Очень прочная конструкция генераторов позволяет продлить время эксплуатации при выполнении процессов, требующих большой осторожности, и тем самым достичь более высокой скорости нанесения покрытия. Технология CombineLine надежно предотвращает колебания плазмы за счет стабильного полного сопротивления 50 Ом, что позволяет рассчитывать на абсолютную стабильность технологических процессов.

    Высокочастотный генератор TruPlasma RF 3012

    Безопасность в любой ситуации

    Прочная конструкция обеспечивает максимальную надежность и производительность технологических процессов. Стопроцентная защита от неточного согласования сопротивлений гарантирует безопасную эксплуатацию даже при критических нагрузках. Возможность выбора непрерывной или пульсирующей отдачи мощности позволяет адаптировать систему к самым разным требованиям технологического процесса. По всему миру установлено более 20 000 единиц оборудования, что превышает количество любых других источников электропитания для технологий плазменной обработки.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    SystemPort позволяет использовать замкнутый контур регулирования благодаря измерению РЧ-сигнала непосредственно на входе и выходе коммутирующей коробки. Для РЧ-генератора доступны все результаты измерения. Это позволяет лучше контролировать технологические параметры, защищает коммутирующую коробку и обеспечивает раннее распознавание дуги генератора. Таким образом, один интерфейс генератора обеспечивает управление всей РЧ-системой.

    Различные опции дают возможность оптимальной адаптации высокочастотного генератора к вашей цели применения.

    Управление дугой

    Продуманная система управления дугой представляет собой идеальный модуль, обеспечивающий наилучший контроль за плазменным процессом. Целенаправленное распознавание дуги гарантирует максимально возможную производительность и одновременно с этим защищает изделие и установку.

    Удобное для пользователя программное обеспечение TruControl Power

    TruControl Power

    Программное обеспечение системы управления TruControl Power с удобным интерфейсом обеспечивает удобный ввод в эксплуатацию и надежный контроль высокочастотного генератора, а также всей РЧ-системы TRUMPF в процессе эксплуатации.

    Все компоненты РЧ-системы TRUMPF оптимально согласованы по своим характеристикам.

    Системное радиочастотное решение: невероятная стабильность процессов благодаря использованию коммутирующей коробки
    TruPlasma Match серии 1000 (G2/13)

    Согласующие четырехполюсники TruPlasma Match обеспечивают оптимальную передачу мощности генератора в плазменный разряд. Эксплуатация коммутирующей коробки может осуществляться в автономном режиме или через интеллектуальную систему связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемый порт SystemPort.

    Ведущий осциллятор для стабилизации критических синхронных процессов плазменной обработки
    Ведущие осцилляторы

    Ведущие осцилляторы позволяют стабилизировать и оптимизировать критические синхронные процессы плазменной обработки. Встроенный цифровой синтезатор частот и фаз поддерживает эти параметры на стабильном уровне и позволяет настраивать фазовое положение с очень малой величиной шага. На выбор доступны разнообразные исполнения ведущих осцилляторов для частоты 13,56 МГц, а также различных сочетаний частот.

    Переключатель для использования высокочастотного генератора на адаптируемых плазменных системах
    Высокочастотный переключатель

    Высокочастотный переключатель позволяет многократно использовать высокочастотный генератор на различных станциях плазменной обработки, например для электропитания многостадийных процессов или в системах с разными точками питания. Ассортимент включает в себя высокочастотные переключатели двух классов мощности с двумя, тремя или четырьмя выходами.

    Коаксиальный кабель для передачи требуемых значений мощности
    Коаксиальный кабель

    Компания TRUMPF Hüttinger предлагает коаксиальные кабели для передачи высокочастотной мощности, конструкция которых специально предназначена для эксплуатации в системах 50 Ом.

    Генератор и коммутирующая коробка: системное решение с идеально согласованными компонентами

    Идеальная настройка генератора и коммутирующей коробки

    Процессы плазменной обработки подразумевают комплексную переменную нагрузку, требующую непрерывного подвода электропитания от генератора. Его обеспечивают активные согласующие четырехполюсники, так называемые коммутирующие коробки, которые бесперебойно выполняют точную корректировку параметров до оптимального сопротивления 50 Ом. Так создается системное решение с идеально согласованными компонентами — РЧ-система TRUMPF. С помощью различных интерфейсов, например EtherCAT, вы можете с легкостью интегрировать генератор и коммутирующую коробку в имеющиеся технологические условия и добиться оптимального решения благодаря интеллектуальной системе связи между генератором и коммутирующей коробкой, так называемому порту SystemPort.

    В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.

    Примечания
    • Температура охлаждающей жидкости должна превышать температуру конденсации окружающего воздуха для предотвращения конденсации.

    Вам могут быть интересны эти темы

    Services_Electronics_TQZ_TRUMPF_Tower
    Центр испытаний и повышения квалификации

    В нашем собственном центре испытаний и повышения квалификации (TQZ) опытные инженеры по внедрению каждый день работают над оптимизацией качества продукции.

    TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
    Минимальные затраты при максимальном результате

    TruPlasma RF серии 1000/3000 (G2/13) — это высокочастотные генераторы новейшего поколения, которые обеспечивают лучшие условия для стабильного электропитания плазменного устройства.

    Services_Electronics_Training
    Индивидуальное обучение клиентов — наше преимущество

    Опытные сервисные инженеры делятся своими обширными знаниями, подбирая содержание обучения в зависимости от потребностей участников.

    Контакты

    Klaus Nock
    Продажи плазменной техники
    Факс: +49 761 89711150
    Электронная почта

    Загрузки

    Брошюра «TruPlasma RF серии 3000»
    Брошюра «TruPlasma RF серии 3000»
    pdf - 1 MB
    Брошюра «Система TruPlasma RF»
    pdf - 6 MB
    Сервисное обслуживание и контакты