Pre zabezpečenie funkčnosti tejto internetovej stránky používame súbory cookie. Keď môžeme súbory cookie použiť aj na iné účely, kliknite sem. Informácie týkajúce sa deaktivácie súborov cookie a ochrany osobných údajov
Generátory Bias so stabilným riadením napätia a rýchlym Arc manažmentom
Generátory Bias so stabilným riadením napätia a rýchlym Arc manažmentom
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Séria 3000

Stabilné a mnohostranné

Univerzálne generátory pre Vaše Sputterprozess

Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 3000 podporujú najmä optické a metalické aplikácie povrchových úprav, ktoré nachádzajú využitie napr. v technike polovodičov alebo pri povrchových úpravách vytvrdzujúcich povrch. Okrem toho sú vhodné pre každú aplikáciu s porovnateľnými požiadavkami na napätie a prúd.

Režim vysokého a nízkeho napätia

1200 V pre substrátové procesy leptania,
300 V pre procesy nanášania podporované Bias-om.

Rýchly Arc manažment

Veľmi nízka Arc-zvyšková energia, vďaka tomu menšie poškodenie podkladu a stabilné procesy.

Stabilné a opakovateľné výsledky procesov

Jedinečná presnosť vďaka modernej technike DSP a FPGA vyhodnoteniu signálu.

Ideálne pre veľkoplošné povrstvovanie

Dekoratívna povrchová úprava

Veľkoplošné povrchové úpravy si v procese plazmy vyžadujú mimoriadne vysoké nároky na napájanie procesným prúdom. Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 3000 poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

Ideálne vhodné na procesy leptania a nanášania

Polovodičová technika

Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 3000 sa osvedčili vo všetkých kritických procesoch PVD a PECVD a poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

- / -
Generátor zariadenia TruPlasma Bias Séria 3000 v nasadení

Zabezpečí konštantne dobré podmienky procesu

Špeciálna konštrukcia vkonu a riadenia poskytuje fundovanú stabilitu napätia, ktorá je rozhodujúca pre kvalitu nanesenej vrstvy a stabilný proces. TruPlasma Bias Série 3000 koncipované v DSP technike a s vyhodnocovaním FPGA disponujú moderným Arc manažmentom, ktorý poskytuje jedinečnú presnosť a presnosť opakovania. Vďaka vynikajúcim hodnotám oboch parametrov je možné dosiahnuť optimálnu stabilizáciu procesu.

Typická oblasť použitia zariadenia TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2): Výroba vrstiev odolných voči opotrebovaniu

Zjednodušené ovládanie systému viacerých procesov len za pomoci jedného zariadenia

TruPlasma Bias Série 3000 disponuje dvoma samostatnými režimami napätia: vysokonapäťovým režimom až do 1200 V a nízkonapäťovým režimom až do 300 V. Tieto režimy podporujú najmä optické a metalické aplikácie povrchových úprav, ktoré nachádzajú využitie napr. v technike polovodičov alebo pri povrchových úpravách vytvrdzujúcich povrch. Okrem toho sú vhodné pre každú aplikáciu s porovnateľnými požiadavkami na napätie a prúd.

Typická oblasť použitia TruPlasma Bias Série 3000: výroba solárnych buniek

Optimálna kvalita vrstvy vďaka bezstarostným procesom

Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 3000 sú vybavené plne digitálnym Arc manažmentom s veľmi nízkou Arc energiou a systémom CompensateLine, umožňujú teda dosahovať vysoké kvality vrstiev a miery úberu. Vďaka tomu dochádza k minimálnemu poškodeniu podkladu, vylepšený je tým proces aj koncový produkt.

Softvér PVD Power príjemný na ovládanie

PVD Power

Viacjazyčný softvér PVD Power nenáročný na obsluhu Vám ponúka rôzne možnosti obsluhy, konfigurácie a diagnostiky na optimalizáciu kvality procesov a odstránenie chyby: Zobrazenie skutočných hodnôt všetkých podstatných parametrov procesu ako aj výstrah a poplašných hlásení, zadanie požadovaných hodnôt operátorom a zaznamenanie a vizualizácia dôležitých prevádzkových parametrov s veľkým časovým rozkladom (funkcie osciloskopu).

V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

Kontakt

Klaus Nock
Predaj, Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Na stiahnutie

Brožúra
Brožúra TruPlasma Bias Séria 3000 / 4000
Brožúra TruPlasma Bias Séria 3000 / 4000
pdf - 1 MB
Servis & Kontakt

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Slovakia . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Slovakia
United States

Or select a country or region.