Pri poskytovaní tejto stránky používame súbory cookie. Ak naďalej používate túto stránku, bez zmeny nastavení pre súbory cookie, vychádzame z toho, že súhlasíte s používaním súborov cookie.
Generátory Bias so stabilným riadením napätia a rýchlym Arc manažmentom
Generátory Bias so stabilným riadením napätia a rýchlym Arc manažmentom
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Séria 4000

Stabilné a mnohostranné

    - / -
    • Prehľad
    • Aplikácie
    • Technické údaje
    • Úžitok pre zákazníka
    • Softvér
    • Viac Menej
    Univerzálne generátory pre Vaše Sputterprozess

    TruPlasma Bias Série 4000 je skupina najmodernejších pulzných DC Bias generátorov. Umožňuje frekvencie pulzov až do 100 kHz ako aj nepretržitý výstup Bias. Tieto generátory podporujú najmä optické a metalické aplikácie povrchových úprav, ktoré nachádzajú využitie napr. v technike polovodičov alebo pri povrchových úpravách vytvrdzujúcich povrch. Okrem toho sú vhodné pre každú aplikáciu s porovnateľnými požiadavkami na napätie a prúd.

    Režim vysokého a nízkeho napätia

    1200 V pre substrátové procesy leptania,
    300 V pre procesy nanášania podporované Bias-om.

    Rýchly Arc manažment

    Preto je podstatne menej vylučovania kvapiek a poškodenia substrátu.

    Stabilné a opakovateľné výsledky procesov

    Excelentný Arc manažment vďaka modernej technike DSP a FPGA vyhodnoteniu signálu.

    Typická oblasť použitia zariadenia TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2): Výroba vrstiev odolných voči opotrebovaniu

    Výroba vrstiev odolných voči opotrebovaniu

    Generátory TruPlasma Bias Série 4000 prispievajú k stabilnému procesu plazmy a tým aj k optimálnej kvalite povrchovej vrstvy.

    Ideálne pre veľkoplošné povrstvovanie

    Veľkoplošné povrstvovanie

    Veľkoplošné povrchové úpravy si v procese plazmy vyžadujú mimoriadne vysoké nároky na napájanie procesným prúdom. Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

    Generátor zariadenia TruPlasma Bias Séria 4000

    Výroba solárnych článkov

    Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 sa osvedčili vo všetkých kritických procesoch PVD a PECVD a poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

    TruPlasma Bias 4012
    TruPlasma Bias 4018
    TruPlasma Bias 4026
    Výstup      
    Menovitý výkon 12 kW 18 kW 26 kW
    Maximálny výstupný prúd 40 A eff 60 A eff 87 A eff
    Maximálne výstupné napätie 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
    Menovitá prevádzková frekvencia 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
    Parametre svetelného oblúka      
    Max. miera svetelného oblúka 50 1/s 50 1/s 50 1/s
    Doba opracovania - svetelný oblúk <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
    Údaje sieťového pripojenia      
    Sieťové napätie 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
    Sieťová frekvencia 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Komunikačné rozhrania      
    Analógové/digitálne Áno Áno Áno
    RS 232 / RS 485 - Áno -
    PROFIBUS Áno - Áno
    EtherCAT Nie Nie Nie
    Teleso      
    Hmotnosť 70 kg 70 kg 71 kg
    Stupeň ochrany IP IP 20 IP 20 IP 20
    Požiadavky na chladenie      
    Chladiace médium Vzduch Vzduch Vzduch
    Teplota chladiaceho prostriedku 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Všeobecne      
    Celková účinnosť 90 % 90 % 90 %
    Certifikáty / štandardy CE CE CE
    Podmienky okolia      
    Vonkajšia teplota 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Vlhkosť vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrický tlak 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
    PDF <1MB
    Technical data sheet

    Download the technical data of all product variants.

    Architektonické sklo

    Zabezpečí konštantne dobré podmienky procesu

    Špeciálna konštrukcia vkonu a riadenia poskytuje fundovanú stabilitu napätia, ktorá je rozhodujúca pre kvalitu nanesenej vrstvy a stabilný proces. TruPlasma Bias Série 4000 koncipovené v DSP technike a s vyhodnocovaním FPGA disponujú moderným Arc manažmentom, ktorý poskytuje jedinečnú presnosť a presnosť opakovania. Vďaka vynikajúcim hodnotám oboch parametrov je možné dosiahnuť optimálnu stabilizáciu procesu.

    Povrchová úprava vytvrdzujúca povrch

    Zjednodušené ovládanie systému viacerých procesov len za pomoci jedného zariadenia

    TruPlasma Bias Série 4000 disponuje dvoma samostatnými režimami napätia: vysokonapäťovým režimom až do 1200 V a nízkonapäťovým režimom až do 300 V. Tieto režimy podporujú najmä optické a metalické aplikácie povrchových úprav, ktoré nachádzajú využitie napr. v technike polovodičov alebo pri povrchových úpravách vytvrdzujúcich povrch. Okrem toho sú vhodné pre každú aplikáciu s porovnateľnými požiadavkami na napätie a prúd.

    Arc manažment

    Optimálna kvalita vrstvy vďaka bezstarostným procesom

    Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 sú vybavené plne digitálnym Arc manažmentom s veľmi nízkou Arc energiou a systémom CompensateLine, umožňujú teda dosahovať vysoké kvality vrstiev a miery úberu. Pritom je ešte menej vylučovania kvapiek a poškodenia substrátu, vylepší sa proces a produkt.

    Softvér PVD Power príjemný na ovládanie

    PVD Power

    Viacjazyčný softvér PVD Power nenáročný na obsluhu Vám ponúka rôzne možnosti obsluhy, konfigurácie a diagnostiky na optimalizáciu kvality procesov a odstránenie chyby: Zobrazenie skutočných hodnôt všetkých podstatných parametrov procesu ako aj výstrah a poplašných hlásení, zadanie požadovaných hodnôt operátorom a zaznamenanie a vizualizácia dôležitých prevádzkových parametrov s veľkým časovým rozkladom (funkcie osciloskopu).

    V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je stroj dostupný vo Vašej krajine.

    Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

    Services_Electronics_Technical_Support
    Servis ako žiaden iný

    Vďaka zmluve o údržbe nastavenej na mieru dosiahnete najvyššiu pohotovosť generátorov zároveň s prehľadom nákladov na údržby a prevádzku.

    Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
    Optimalizované pulzné procesy

    Generátory TruPlasma Bias Série 3000 so svojimi dvoma pracovnými režimami a plne digitálnym Arc manažmentom umožňujú vysoké kvality vrstiev a miery úberu.

    Services_Electronics_Training
    Individuálne školenia pre zákazníkov sú našou silnou stránkou

    Skúsení servisní technici sprostredkujú fundované vedomosti, ktoré sú obsahom ušité na mieru požiadaviek účastníkov.

    Kontakt

    Klaus Nock
    Predaj, Plasma
    Fax +49 761 89711150
    E-mail

    Na stiahnutie

    Brožúra
    Brožúra TruPlasma Bias Séria 3000 / 4000
    Brožúra TruPlasma Bias Séria 3000 / 4000
    pdf - 1 MB
    Servis & Kontakt