Pre zabezpečenie funkčnosti tejto internetovej stránky používame súbory cookie. Keď môžeme súbory cookie použiť aj na iné účely, kliknite sem. Informácie týkajúce sa deaktivácie súborov cookie a ochrany osobných údajov
Generátory Bias so stabilným riadením napätia a rýchlym Arc manažmentom
Generátory Bias so stabilným riadením napätia a rýchlym Arc manažmentom
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Séria 4000

Stabilné a mnohostranné

Univerzálne generátory pre Vaše Sputterprozess

TruPlasma Bias Série 4000 je skupina najmodernejších pulzných DC Bias generátorov. Umožňuje frekvencie pulzov až do 100 kHz ako aj nepretržitý výstup Bias. Tieto generátory podporujú najmä optické a metalické aplikácie povrchových úprav, ktoré nachádzajú využitie napr. v technike polovodičov alebo pri povrchových úpravách vytvrdzujúcich povrch. Okrem toho sú vhodné pre každú aplikáciu s porovnateľnými požiadavkami na napätie a prúd.

Režim vysokého a nízkeho napätia

1200 V pre substrátové procesy leptania,
300 V pre procesy nanášania podporované Bias-om.

Rýchly Arc manažment

Preto je podstatne menej vylučovania kvapiek a poškodenia substrátu.

Stabilné a opakovateľné výsledky procesov

Excelentný Arc manažment vďaka modernej technike DSP a FPGA vyhodnoteniu signálu.

Typická oblasť použitia zariadenia TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2): Výroba vrstiev odolných voči opotrebovaniu

Výroba vrstiev odolných voči opotrebovaniu

Generátory TruPlasma Bias Série 4000 prispievajú k stabilnému procesu plazmy a tým aj k optimálnej kvalite povrchovej vrstvy.

Ideálne pre veľkoplošné povrstvovanie

Veľkoplošné povrstvovanie

Veľkoplošné povrchové úpravy si v procese plazmy vyžadujú mimoriadne vysoké nároky na napájanie procesným prúdom. Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

Generátor zariadenia TruPlasma Bias Séria 4000

Výroba solárnych článkov

Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 sa osvedčili vo všetkých kritických procesoch PVD a PECVD a poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

- / -
TruPlasma Bias 4012
TruPlasma Bias 4018
TruPlasma Bias 4026
Výstup      
Menovitý výkon 12 kW 18 kW 26 kW
Maximálny výstupný prúd 40 A eff 60 A eff 87 A eff
Maximálne výstupné napätie 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Menovitá prevádzková frekvencia 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Parametre svetelného oblúka      
Max. miera svetelného oblúka 50 1/s 50 1/s 50 1/s
Doba opracovania - svetelný oblúk <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
Údaje sieťového pripojenia      
Sieťové napätie 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
Sieťová frekvencia 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Komunikačné rozhrania      
Analógové/digitálne Áno Áno Áno
RS 232 / RS 485 - Áno -
PROFIBUS Áno - Áno
EtherCAT Nie Nie Nie
Teleso      
Hmotnosť 70 kg 70 kg 71 kg
Stupeň ochrany IP IP 20 IP 20 IP 20
Požiadavky na chladenie      
Chladiace médium Vzduch Vzduch Vzduch
Teplota chladiaceho prostriedku 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Všeobecne      
Celková účinnosť 90 % 90 % 90 %
Certifikáty / štandardy CE CE CE
Podmienky okolia      
Vonkajšia teplota 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Vlhkosť vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrický tlak 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
PDF <1MB
Technický list

Technické údaje všetkých variantov produktu na stiahnutie.

Architektonické sklo

Zabezpečí konštantne dobré podmienky procesu

Špeciálna konštrukcia vkonu a riadenia poskytuje fundovanú stabilitu napätia, ktorá je rozhodujúca pre kvalitu nanesenej vrstvy a stabilný proces. TruPlasma Bias Série 4000 koncipovené v DSP technike a s vyhodnocovaním FPGA disponujú moderným Arc manažmentom, ktorý poskytuje jedinečnú presnosť a presnosť opakovania. Vďaka vynikajúcim hodnotám oboch parametrov je možné dosiahnuť optimálnu stabilizáciu procesu.

Povrchová úprava vytvrdzujúca povrch

Zjednodušené ovládanie systému viacerých procesov len za pomoci jedného zariadenia

TruPlasma Bias Série 4000 disponuje dvoma samostatnými režimami napätia: vysokonapäťovým režimom až do 1200 V a nízkonapäťovým režimom až do 300 V. Tieto režimy podporujú najmä optické a metalické aplikácie povrchových úprav, ktoré nachádzajú využitie napr. v technike polovodičov alebo pri povrchových úpravách vytvrdzujúcich povrch. Okrem toho sú vhodné pre každú aplikáciu s porovnateľnými požiadavkami na napätie a prúd.

Arc manažment

Optimálna kvalita vrstvy vďaka bezstarostným procesom

Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 sú vybavené plne digitálnym Arc manažmentom s veľmi nízkou Arc energiou a systémom CompensateLine, umožňujú teda dosahovať vysoké kvality vrstiev a miery úberu. Pritom je ešte menej vylučovania kvapiek a poškodenia substrátu, vylepší sa proces a produkt.

Softvér PVD Power príjemný na ovládanie

PVD Power

Viacjazyčný softvér PVD Power nenáročný na obsluhu Vám ponúka rôzne možnosti obsluhy, konfigurácie a diagnostiky na optimalizáciu kvality procesov a odstránenie chyby: Zobrazenie skutočných hodnôt všetkých podstatných parametrov procesu ako aj výstrah a poplašných hlásení, zadanie požadovaných hodnôt operátorom a zaznamenanie a vizualizácia dôležitých prevádzkových parametrov s veľkým časovým rozkladom (funkcie osciloskopu).

V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

Kontakt

Klaus Nock
Predaj, Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Na stiahnutie

Brožúra
Brožúra TruPlasma Bias Séria 3000 / 4000
Brožúra TruPlasma Bias Séria 3000 / 4000
pdf - 1 MB
Servis & Kontakt

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Slovakia . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Slovakia
United States

Or select a country or region.