You have selected Slovensko. Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Generátory plazmy | TRUMPF
Technologický obrázok DC generátory plazmy

Generátory plazmy

Generátory plazmy firmy TRUMPF Hüttinger dodávajú potrebnú energiu procesu pre mnohé špičkové zariadenia a umožňujú tak funkčné povrchové úpravy solárne články a mikročipy, veľkoplošné povlakovanie architektonického skla a výrobu polovodičových prvkov a plochých obrazoviek. Vďaka svojej vynikajúcej presnosti, svojej energetickej efektivite a vysokej stabilite procesu patria ku priekopníkom na trhu.

MF generátory plazmy

Vďaka vynikajúcej presnosti a produktivite sú ideálnym riešením pre početné aplikácie v budení plazmy.

DC pulzné generátory plazmy

DC pulzné generátory plazmy z TRUMPF Hüttinger sú vhodné najmä na použitie v početných reaktívnych procesoch.

DC generátory plazmy

DC generátory plazmy z TRUMPF Hüttinger sú klasici budenia plazmy.

HF generátory plazmy

Prvá voľba pre náročné aplikácie akými je výroba polovodičových prvkov, mikročipov, solárnych článkov alebo plochých obrazoviek.

MF generátory plazmy

Bipolárny generátor TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar Séria 4000 (G2.1)

Zdroje procesného prúdu TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) podávajú pomocou flexibilne tvarovateľných výstupných signálov a premysleného Arc manažmentu excelentné výsledky pri výrobe solárnych článkov a polovodičov, pri nanášaní dekoratívnych a opotrebovaniu odolných vrstiev ako aj pri nanášaní vrstiev na povrch architektonického skla. Generátory najnovšej generácie sa vynikajúco hodia na náročné procesy plazmy ako napríklad reaktívne pokovovanie rozprašovaním, PVD a PECVD.

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

TruPlasma MF Séria 7000 (G2)

Pomocou SF generátorov TruPlasma Série MF 7000 (G2) budete mať stále kontrolu nad Vašimi procesmi – výsledkom je vynikajúca kvalita vrstiev a najvyššia produktivita aj pri náročných, veľkoplošných aplikáciách nanášania vrstiev. Pri špičkových účinnostiach viac ako 90% sú tieto zdroje prúdu najnovšej generácie zároveň mimoriadne hospodárne pri používaní.

DC pulzné generátory plazmy

Generátor TruPlasma Highpulse Série 4000

TruPlasma Highpulse Séria 4000 (G2)

Zdroje procesného prúdu zariadenia TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) vytvárajú povrchové úpravy vytvrdzujúce povrch mimoriadne odolné korózii a opotrebovaniu a sú uprednostňované pri aplikáciách HIPIMS. V kombinácii s polarizovanými substrátmi môže TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) obsluhovať aj polovodičové aplikácie, ako napr. Trench-Filling, predúpravu povrchu a leptanie.

Generátor TruPlasma Highpulse Série 4000

TruPlasma Highpulse Séria 4000

Generátory TruPlasma Highpulse Série 4000 sú prvou voľbou pre aplikácie HIPIMS, podávajú mimoriadne korózii a opotrebovaniu odolné povrchové úpravy vytvrdzujúce povrch. V kombinácii s polarizovanými substrátmi môže TruPlasma Highpulse Série 4000 obsluhovať aj polovodičové aplikácie, napr. leptanie, predúpravu povrchov a Trench-Filling.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC Séria 4000 (G2)

TruPlasma DC Série 4000 (G2) spája excelentnú manipuláciu s Arc od firmy TRUMPF Hüttinger s výhodami DC pulznej technológie. Tak dosiahnete lepšie výsledky nanášania materiálu s menšou mierou defektov súčasne pri vyššej miere separácie. Výsledkom sú brilantné povrchy a vysoká výkonnosť výroby.

DC generátory plazmy

Jednosmerný generátor TruPlasma DC 3040

TruPlasma DC Séria 3000 (G2)

Ako nová generácia jednosmerných generátorov je TruPlasma DC Série 3000 (G2) vhodná na množstvo procesov DC pokovovania rozprašovaním. Vďaka pokrokovému Arc manažmentu a integrovanému chladeniu vodou sú DC generátory zaujímavé aj ako cenovo výhodná alternatíva k pulzným DC generátorom. Veľmi kompaktná konštrukcia okrem toho umožňuje jednoduchú integráciu do jestvujúcich aplikácií.

Arc generátor zariadenia TruPlasma Arc Séria 3000

TruPlasma Arc Séria 3000

Generátory pre TruPlasma Arc Série 3000 sú vhodné najmä na tvrdené a dekoratívne povrchové úpravy. Vďaka svojej kompaktnej konštrukcii a chladeniu vzduchom je zabezpečené optimálne využitie cennej úžitkovej plochy a zjednodušená integrácia do nových alebo jestvujúcich systémov.

RF generátory plazmy

TruPlasma RF Air Séria 1000

Vzduchom chladený vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 1001 Air dodáva až do 1000 W vysoko presnú, opakovateľnú VF energiu s extrémne jemným rozlíšením – v krokoch po 100 mW – vďaka čomu je vhodný pre najrôznejšie aplikácie plazmy. Či už pri výrobe polovodičov, solárnych článkov alebo displejov – firmou TRUMPF Hüttinger patentovaná technológia garantuje všade najvyššiu pohotovosť a najlepšie výsledky procesu vďaka moderným funkciám procesu.

Vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF Séria 1000 / 3000 (G2/13)

TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sú VF generátory najnovšej generácie. Vďaka inovatívnej funkcii akou je patentovaná technológia väzby CombineLine alebo meranie všetkých parametrov procesu v reálnom čase je garantované bezpečné napájanie prúdom aj v náročných procesoch plazmy – optimálne predpoklady pre opakovateľné výsledky a vyššou produktivitu.

Vysokofrekvenčné generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF Séria 3000

Výkonné VF generátory TruPlasma RF Série 3000 sa vyznačujú najvyššou efektivitou a stabilitou procesu. Sú preto ideálne pre náročné plazmové procesy, aké sa používajú napríklad pri výrobe plochých obrazoviek, solárnych článkov alebo polovodičov. Adaptačné sieťové systémy na nastavenie impedancie vyladené presne na generátor sa neustále starajú o optimálny a stabilný prenos výkonu z generátora k plazme.

VHF generátor Séria 3000

TruPlasma VHF Séria 3000

Najvyšší výkon pre Váš proces: Generátory TruPlasma VHF Séria 3000 sú vytvorené na základe inovatívnej koncepcie platformy, ktorá spĺňa aj najnáročnejšie požiadavky procesov. Stavebnicová a len vodou chladená konštrukcia VHF generátorov umožňuje zmenu výstupného výkonu až na 80 kW – a to v minimálnom priestore!

RF systémové riešenie : Matchbox pre najvyššiu stabilitu procesov

TruPlasma Match Séria 1000 (G2/13)

Na optimálne riadenie procesu plazmy je vhodné presné nastavenie výstupnej impedancie VF generátora. Vykonávajú to adaptačné sieťové systémy TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) ako spojovací člen medzi generátorom a procesom. Týmto spôsobom vzniká komplexné riešenie pre Vaše napájanie procesným prúdom – TRUMPF RF systém.

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

Kontakt
Nikolas Hunzinger
Predaj, Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail
Servis & Kontakt