TruPlasma Bias Série 4000 je skupina najmodernejších pulzných DC Bias generátorov. Umožňuje frekvencie pulzov až do 100 kHz ako aj nepretržitý výstup Bias. Tieto generátory podporujú najmä optické a metalické aplikácie povrchových úprav, ktoré nachádzajú využitie napr. v technike polovodičov alebo pri povrchových úpravách vytvrdzujúcich povrch. Okrem toho sú vhodné pre každú aplikáciu s porovnateľnými požiadavkami na napätie a prúd.

Režim vysokého a nízkeho napätia

1200 V pre substrátové procesy leptania,
300 V pre procesy nanášania podporované Bias-om.

Rýchly Arc manažment

Preto je podstatne menej vylučovania kvapiek a poškodenia substrátu.

Stabilné a opakovateľné výsledky procesov

Excelentný Arc manažment vďaka modernej technike DSP a FPGA vyhodnoteniu signálu.

Výroba vrstiev odolných voči opotrebovaniu

Generátory TruPlasma Bias Série 4000 prispievajú k stabilnému procesu plazmy a tým aj k optimálnej kvalite povrchovej vrstvy.

Veľkoplošné povrstvovanie

Veľkoplošné povrchové úpravy si v procese plazmy vyžadujú mimoriadne vysoké nároky na napájanie procesným prúdom. Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

Generátor zariadenia TruPlasma Bias Séria 4000

Výroba solárnych článkov

Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 sa osvedčili vo všetkých kritických procesoch PVD a PECVD a poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

-/-

	TruPlasma Bias 4012	TruPlasma Bias 4018	TruPlasma Bias 4026
Výstup
Menovitý výkon	12 kW	18 kW	26 kW
Maximálny výstupný prúd	40 A eff	60 A eff	87 A eff
Maximálne výstupné napätie	1200 V eff	1200 V eff	1200 V eff
Menovitá prevádzková frekvencia	0 kHz - 100 kHz	0 kHz - 100 kHz	0 kHz - 100 kHz
Parametre svetelného oblúka
Max. miera svetelného oblúka	50 1/s	50 1/s	50 1/s
Doba opracovania - svetelný oblúk	<0,5 µs	<0,5 µs	<0,5 µs
Údaje sieťového pripojenia
Sieťové napätie	3x 360 V - 440 V	3x 360 V - 440 V	3x 360 V - 440 V
Sieťová frekvencia	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
Komunikačné rozhrania
Analógové/digitálne	Áno	Áno	Áno
RS 232 / RS 485	-	Áno	-
PROFIBUS	Áno	-	Áno
EtherCAT	Nie	Nie	Nie
Teleso
Hmotnosť	70 kg	70 kg	71 kg
Stupeň ochrany IP	IP 20	IP 20	IP 20
Požiadavky na chladenie
Chladiace médium	Vzduch	Vzduch	Vzduch
Teplota chladiaceho prostriedku	5 °C - 35 °C	5 °C - 35 °C	5 °C - 35 °C
Všeobecne
Celková účinnosť	90 %	90 %	90 %
Certifikáty / štandardy	CE	CE	CE
Podmienky okolia
Vonkajšia teplota	5 °C - 35 °C	5 °C - 35 °C	5 °C - 35 °C
Vlhkosť vzduchu	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
Barometrický tlak	860 kPa - 1060 kPa	860 kPa - 1060 kPa	860 kPa - 1060 kPa

PDF <1MB

Technický list

Technické údaje všetkých variantov produktu na stiahnutie.

Zabezpečí konštantne dobré podmienky procesu

Špeciálna konštrukcia vkonu a riadenia poskytuje fundovanú stabilitu napätia, ktorá je rozhodujúca pre kvalitu nanesenej vrstvy a stabilný proces. TruPlasma Bias Série 4000 koncipovené v DSP technike a s vyhodnocovaním FPGA disponujú moderným Arc manažmentom, ktorý poskytuje jedinečnú presnosť a presnosť opakovania. Vďaka vynikajúcim hodnotám oboch parametrov je možné dosiahnuť optimálnu stabilizáciu procesu.

Zjednodušené ovládanie systému viacerých procesov len za pomoci jedného zariadenia

TruPlasma Bias Série 4000 disponuje dvoma samostatnými režimami napätia: vysokonapäťovým režimom až do 1200 V a nízkonapäťovým režimom až do 300 V. Tieto režimy podporujú najmä optické a metalické aplikácie povrchových úprav, ktoré nachádzajú využitie napr. v technike polovodičov alebo pri povrchových úpravách vytvrdzujúcich povrch. Okrem toho sú vhodné pre každú aplikáciu s porovnateľnými požiadavkami na napätie a prúd.

Optimálna kvalita vrstvy vďaka bezstarostným procesom

Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 sú vybavené plne digitálnym Arc manažmentom s veľmi nízkou Arc energiou a systémom CompensateLine, umožňujú teda dosahovať vysoké kvality vrstiev a miery úberu. Pritom je ešte menej vylučovania kvapiek a poškodenia substrátu, vylepší sa proces a produkt.

PVD Power

Viacjazyčný softvér PVD Power nenáročný na obsluhu Vám ponúka rôzne možnosti obsluhy, konfigurácie a diagnostiky na optimalizáciu kvality procesov a odstránenie chyby: Zobrazenie skutočných hodnôt všetkých podstatných parametrov procesu ako aj výstrah a poplašných hlásení, zadanie požadovaných hodnôt operátorom a zaznamenanie a vizualizácia dôležitých prevádzkových parametrov s veľkým časovým rozkladom (funkcie osciloskopu).

V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

Individuálne školenia pre zákazníkov sú našou silnou stránkou

Skúsení servisní technici sprostredkujú fundované vedomosti, ktoré sú obsahom ušité na mieru požiadaviek účastníkov.

Pozrite si viac

Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management

Optimalizované pulzné procesy

Generátory TruPlasma Bias Série 3000 so svojimi dvoma pracovnými režimami a plne digitálnym Arc manažmentom umožňujú vysoké kvality vrstiev a miery úberu.

Pozrite si viac