Univerzálne generátory pre Vaše Sputterprozess
TruPlasma Bias Série 4000 je skupina najmodernejších pulzných DC Bias generátorov. Umožňuje frekvencie pulzov až do 100 kHz ako aj nepretržitý výstup Bias. Tieto generátory podporujú najmä optické a metalické aplikácie povrchových úprav, ktoré nachádzajú využitie napr. v technike polovodičov alebo pri povrchových úpravách vytvrdzujúcich povrch. Okrem toho sú vhodné pre každú aplikáciu s porovnateľnými požiadavkami na napätie a prúd.
1200 V pre substrátové procesy leptania,
300 V pre procesy nanášania podporované Bias-om.
Preto je podstatne menej vylučovania kvapiek a poškodenia substrátu.
Excelentný Arc manažment vďaka modernej technike DSP a FPGA vyhodnoteniu signálu.
Výroba vrstiev odolných voči opotrebovaniu
Generátory TruPlasma Bias Série 4000 prispievajú k stabilnému procesu plazmy a tým aj k optimálnej kvalite povrchovej vrstvy.
Veľkoplošné povrstvovanie
Veľkoplošné povrchové úpravy si v procese plazmy vyžadujú mimoriadne vysoké nároky na napájanie procesným prúdom. Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.
Výroba solárnych článkov
Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 sa osvedčili vo všetkých kritických procesoch PVD a PECVD a poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.
TruPlasma Bias 4012
|
TruPlasma Bias 4018
|
TruPlasma Bias 4026
| |
|---|---|---|---|
| Výstup | |||
| Menovitý výkon | 12 kW | 18 kW | 26 kW |
| Maximálny výstupný prúd | 40 A eff | 60 A eff | 87 A eff |
| Maximálne výstupné napätie | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
| Menovitá prevádzková frekvencia | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Parametre svetelného oblúka | |||
| Max. miera svetelného oblúka | 50 1/s | 50 1/s | 50 1/s |
| Doba opracovania - svetelný oblúk | <0,5 µs | <0,5 µs | <0,5 µs |
| Údaje sieťového pripojenia | |||
| Sieťové napätie | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V |
| Sieťová frekvencia | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Komunikačné rozhrania | |||
| Analógové/digitálne | Áno | Áno | Áno |
| RS 232 / RS 485 | - | Áno | - |
| PROFIBUS | Áno | - | Áno |
| EtherCAT | Nie | Nie | Nie |
| Teleso | |||
| Hmotnosť | 70 kg | 70 kg | 71 kg |
| Stupeň ochrany IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
| Požiadavky na chladenie | |||
| Chladiace médium | Vzduch | Vzduch | Vzduch |
| Teplota chladiaceho prostriedku | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Všeobecne | |||
| Celková účinnosť | 90 % | 90 % | 90 % |
| Certifikáty / štandardy | CE | CE | CE |
| Podmienky okolia | |||
| Vonkajšia teplota | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Vlhkosť vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa |
Technické údaje všetkých variantov produktu na stiahnutie.
Zabezpečí konštantne dobré podmienky procesu
Špeciálna konštrukcia vkonu a riadenia poskytuje fundovanú stabilitu napätia, ktorá je rozhodujúca pre kvalitu nanesenej vrstvy a stabilný proces. TruPlasma Bias Série 4000 koncipovené v DSP technike a s vyhodnocovaním FPGA disponujú moderným Arc manažmentom, ktorý poskytuje jedinečnú presnosť a presnosť opakovania. Vďaka vynikajúcim hodnotám oboch parametrov je možné dosiahnuť optimálnu stabilizáciu procesu.
Zjednodušené ovládanie systému viacerých procesov len za pomoci jedného zariadenia
TruPlasma Bias Série 4000 disponuje dvoma samostatnými režimami napätia: vysokonapäťovým režimom až do 1200 V a nízkonapäťovým režimom až do 300 V. Tieto režimy podporujú najmä optické a metalické aplikácie povrchových úprav, ktoré nachádzajú využitie napr. v technike polovodičov alebo pri povrchových úpravách vytvrdzujúcich povrch. Okrem toho sú vhodné pre každú aplikáciu s porovnateľnými požiadavkami na napätie a prúd.
Optimálna kvalita vrstvy vďaka bezstarostným procesom
Generátory zariadenia TruPlasma Bias Série 4000 sú vybavené plne digitálnym Arc manažmentom s veľmi nízkou Arc energiou a systémom CompensateLine, umožňujú teda dosahovať vysoké kvality vrstiev a miery úberu. Pritom je ešte menej vylučovania kvapiek a poškodenia substrátu, vylepší sa proces a produkt.
PVD Power
Viacjazyčný softvér PVD Power nenáročný na obsluhu Vám ponúka rôzne možnosti obsluhy, konfigurácie a diagnostiky na optimalizáciu kvality procesov a odstránenie chyby: Zobrazenie skutočných hodnôt všetkých podstatných parametrov procesu ako aj výstrah a poplašných hlásení, zadanie požadovaných hodnôt operátorom a zaznamenanie a vizualizácia dôležitých prevádzkových parametrov s veľkým časovým rozkladom (funkcie osciloskopu).
V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.
