Suverénne ovládanie náročných procesov
TruPlasma DC Série 4000 (G2) bol vyvinutý špeciálne na reaktívne DC pokovovanie rozprašovaním s ťažkými materiálmi. Generátory pracujúce s pulzným jednosmerným prúdom sa osvedčili najmä v kritických procesoch PVD a PECVD, pri ktorých je zároveň požadovaná najvyššia produktivita a kvalita vrstvy. Kompaktné DC zdroje procesného prúdu je možné nasadiť tak v pulzných ako aj v režimoch bias – takpovediac dve zariadenia v jednej schránke!
Digitálne šírenie signálu garantuje stabilné procesy a minimálne časové straty spôsobené Arc.
Rýchle ovládanie Arc v kombinácii s DC pulznou technológiou minimalizuje poškodenie substrátu.
Vďaka širokému spektru frekvencií a nastaviteľnej reverznej voltáži.
Integrované chladenie vodou šetrí miesto a znižuje nároky na údržbu.
Povrchová úprava vytvrdzujúca povrch
Po nanesení funkčných vrstiev získajú nadmerne namáhané obrobky zvýšenú tvrdosť povrchovej vrstvy a adhéziu ako aj lepšiu tepelnú a chemickú stabilitu. Pulzné generátory TruPlasma DC Série 4000 (G2) prispievajú k stabilnému procesu plazmy a tým aj k optimálnej kvalite povrchovej vrstvy.
Pokovovanie
Pomocou PVD procesov je možné nanášať tenulinké vrstvy kovu na rozličné materiály, aby im prepožičali optimálne optické a elektrické vlastnosti. Zdroj prúdu optimálne nastavený na parametre procesu umožňuje separáciu absolútne homogénnych vrstiev bez defektov.
Výroba solárnych článkov
Solárne články ale aj ploché a dotykové obrazovky sú opatrené elektricky vodivými materiálmi (TCO) z dôvodu ovplyvnenia ich elektrických vlastností. Vďaka ich veľmi nízkej Arc energii sú na to najviac vhodné pulzné generátory TruPlasma DC Série 4000 (G2).
Architektonické sklo
Veľkoplošné povrstvovanie architektonického skla v procese plazmy PVD si vyžaduje mimoriadne vysoké nároky na napájanie procesným prúdom. Pulzné generátory TruPlasma DC Série 4000 (G2) ponúkajú ideálne predpoklady pre vysoko kvalitné výsledky povrchových úprav.
TruPlasma DC 4010 (G2)
|
TruPlasma DC 4020 (G2)
|
TruPlasma DC 4040 (G2)
| |
|---|---|---|---|
| Výstup | |||
| Menovitý výkon | 10 kW | 20 kW | 40 kW |
| Maximálny výstupný prúd | 33 A eff | 67 A eff | 133 A eff |
| Maximálne výstupné napätie | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
| Menovitá prevádzková frekvencia | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Parametre svetelného oblúka | |||
| Max. miera svetelného oblúka | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Energia Arc | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW |
| Doba opracovania - svetelný oblúk | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs |
| Zápalné napätia | |||
| so zápalnou pomôckou | 1750 V | 1750 V | 1750 V |
| bez zápalnej pomôcky | 1250 V | 1250 V | 1250 V |
| Údaje sieťového pripojenia | |||
| Sieťové napätie | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V |
| Sieťová frekvencia | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Komunikačné rozhrania | |||
| Analógové/digitálne | Áno | Áno | Áno |
| RS 232 / RS 485 | Áno | Áno | Áno |
| PROFIBUS | Áno | Áno | Áno |
| EtherCAT | Nie | Nie | Nie |
| DeviceNet | Áno | Áno | Áno |
| Teleso | |||
| Hmotnosť | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
| Stupeň ochrany IP | 40 | 40 | 40 |
| Požiadavky na chladenie | |||
| Chladiace médium | Voda | Voda | Voda |
| Max. tlak vody | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. rozdiel tlaku | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. prietokové množstvo | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min |
| Teplota chladiaceho prostriedku | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Pripájacie hodnoty jednosmerného prúdu | |||
| Počet svoriek | 3 | 3 | 3 |
| Menovitý prúd/terminál | 25 A | 45 A | 85 A |
| Všeobecne | |||
| Celková účinnosť | 90 % | 90 % | 90 % |
| Certifikáty / štandardy | CE | CE | CE |
| Podmienky okolia | |||
| Vonkajšia teplota | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Vlhkosť vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Technické údaje všetkých variantov produktu na stiahnutie.
Vysoká produktivita a kvalita vrstvy
Kombinácia rýchleho ovládania Arc a DC pulznej technológie spôsobí minimálnu mieru kvapôčiek a menej defektov na povrchu. Minimalizujú sa prerušenia procesu spôsobené Arc, výrazne sa zvýši miera separácie.
Flexibilné prispôsobenie k procesu
Frekvenciu pulzov je možné nastaviť v širokom rozsahu, okrem toho je možný režim bias DC generátora. Môžete tak jedno a to isté zariadenie použiť pri množstve aplikácií. Pri optimalizácii Vášho procesu Vás podporujú premyslené nástroje monitoringu.
Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie pulzného DC generátora s Vašimi aplikáciami.
Viacero jednosmerných generátorov TruPlasma DC Série 4000 (G2) je možné synchrónne prevádzkovať. Tento režim umožňuje synchronizáciu rozpoznania Arc viacerých generátorov, ktoré sú nasmerované na rozličné ciele. Synchronizovať je možné aj pulzný režim.
PVD Power
Viacjazyčný softvér PVD Power nenáročný na obsluhu Vám ponúka rôzne možnosti obsluhy, konfigurácie a diagnostiky na optimalizáciu kvality procesov a odstránenie chyby: Zobrazenie skutočných hodnôt všetkých podstatných parametrov procesu ako aj výstrah a poplašných hlásení, zadanie požadovaných hodnôt operátorom a zaznamenanie a vizualizácia dôležitých prevádzkových parametrov s veľkým časovým rozkladom (funkcie osciloskopu).
V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.
