Voľba krajiny/regiónu a jazyka
TruPlasma MF Séria 7000 (G2)
TruPlasma MF Séria 7000 (G2)
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF Séria 7000 (G2)

Najlepšie vo svojej triede

Úplná kontrola nad procesom

Pri TruPlasma Série MF 7000 (G2) budete mať Váš proces stále pod kontrolou: Pomocou ich premysleného Arc manažmentu a zapaľovania sú tieto generátory vhodné ako zdroje prúdu pre veľkoplošné nanášanie vrstviev (Large Area Coating) a náročné reaktívne procesy ako pokovovanie rozprašovaním Dual Magnetron. Pri špičkových účinnostiach viac ako 90% ako aj mimoriadne efektívnemu manažmentu chladiacej kvapaliny sú zároveň mimoriadne hospodárne pri používaní.

Najvyššia produktivita a kvalita vrstvy

Excelentné výsledky a vysoká miera nanesenia vrstvy dokonca aj v najťažších reaktívnych procesoch.

Maximálna efektivita

Pri špičkových účinnostiach
viac ako 90 % sa dosahujú prevádzkové účinnosti viac ako 80 %.

Stabilný zdroj prúdu pri každej klíme

Spoľahlivá funkcia aj pri vysokých teplotách chladiacej kvapaliny a nízkych rozdieloch tlaku.

Použiteľný na celom svete

Variabilné pripojovacie napätie, preto nie sú potrebné žiadne technické úpravy.

SF zdroj prúdu špičkovej triedy ideálne pre veľkoplošné povrstvovanie

SF zdroj prúdu špičkovej triedy

Veľkoplošné povlakovanie (Large Area Coating) architektonického skla: Náročné materiály ako SiOx kladú vysoké nároky na stabilitu zdroja prúdu.

SF zdroj prúdu špičkovej triedy na povrchové úpravy plochých obrazoviek

Nanášanie najtenších vrstiev

Povlakovanie plochých obrazoviek a dotykových panelov: pomocou pokovovanie rozprašovaním Dual Magnetron sa vytvárajú najtenšie (nm), vysoko pevné a homogénne vrstvy AlxOx.

Stredno frekvenčný generátor TruPlasma MF Série 7000 (G2) na nanášanie ultra tenkých vrstiev

Výroba solárnych článkov

Povrchová úprava solárneho skla: Stabilný zdroj prúdu TruPlasma MF Série 7000 (G2) umožňuje homogénne nanášanie najtenších vrstiev TCO pomocou stredno frekvenčného pokovovania rozprašovaním.

Výstup                    
Menovitý výkon 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW
Maximálny výstupný prúd 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff
Maximálne výstupné napätie 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff
Menovitá prevádzková frekvencia 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz
Parametre svetelného oblúka                    
Max. miera svetelného oblúka 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s
Energia Arc 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW
Doba opracovania - svetelný oblúk 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs
Zápalné napätia                    
so zápalnou pomôckou 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V
bez zápalnej pomôcky 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V
Údaje sieťového pripojenia                    
Sieťové napätie (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V
Sieťová frekvencia 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
Príkon v sieti 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA
Účinník 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Teleso                    
Hmotnosť 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg
Stupeň ochrany IP 54 54 54 54 54 54 54 54 54 54
Požiadavky na chladenie                    
Chladiace médium Voda Voda Voda Voda Voda Voda Voda Voda Voda Voda
Max. tlak vody 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
Min. rozdiel tlaku 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar
Min. prietokové množstvo 30 l/min 31 l/min 31 l/min 36 l/min 36 l/min 28 l/min 30 l/min 30 l/min 34 l/min 34 l/min
Teplota chladiaceho prostriedku 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Všeobecne                    
Celková účinnosť 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 %
Certifikáty / štandardy CE, SEMI S2-0709, FCC štandard časť 18 CE, SEMI S2-0709, FCC štandard časť 18 CE, SEMI S2-0709, FCC štandard časť 18 CE, SEMI S2-0709, FCC štandard časť 18 CE, SEMI S2-0709, FCC štandard časť 18 CE, SEMI S2-0709, FCC štandard časť 18 CE, SEMI S2-0709, FCC štandard časť 18 CE, SEMI S2-0709, FCC štandard časť 18 CE, SEMI S2-0709, FCC štandard časť 18 CE, SEMI S2-0709, FCC štandard časť 18
Podmienky okolia                    
Vonkajšia teplota 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Generátory TruPlasma MF Série 7000 (G2) garantujú najvyššiu efektivitu.

Najvyššia hospodárnosť a flexibilita

Vysoké prevádzkové účinnosti a flexibilný koncept chladenia zariadenia TruPlasma MF Série 7000 (G2) garantujú najvyššiu hospodárnosť počas celého trvania životnosti. Aj za ťažkých klimatických podmienok a podmienok inštalácie ostáva zdroj prúdu vždy stabilný – ani vysoké teploty chladiacej kvapaliny, minimálny tlak vody ani vysoká vlhkosť vzduchu neovplyvňujú kvalitu procesu. Vďaka jeho širokej oblasti prevádzkového napätia môžete použiť SF generátor kdekoľvek na svete bez technických úprav.

Stredno frekvenčný generátor TruPlasma MF Série 7000 (G2)

Presné riadenie procesu

Pomocou niekoľko málo nastavení parametrov môžete presne riadiť kvalitu vrstvy a produktivitu. Takto nájdete optimálnu rovnováhu medzi citlivosťou Arc spracovania a požadovanou výrobnou dávkou. Okrem toho zaručí množstvo prípojok a komfortný ovládací softvér TruControl Power efektívny konfiguráciu a diagnostiku.

Arc manažment

Premyslený Arc manažment

Vysoké rýchlosti odozvy a patrične znížené zvyškové energie prispievajú k stabilite procesov a k najvyšším mieram pokovovania rozprašovaním. Generátor spoľahlivo rozpozná a zabráni tvorbe Arc a tepelných stresov na terčíkoch – výsledkom sú absolútne homogénne vrstvy na celej ploche substrátu. Okrem toho umožňuje rýchly a spoľahlivý Arc manažment bezproblémovú prevádzku generátora v prechodovej oblasti regulovanej napätím (transition mode).

Pre zariadenie TruPlasma MF Série 7000 (G2) sú dostupné rozsiahle doplnkové výbavy, pomocou ktorých môžete prispôsobiť SF generátor podľa požiadaviek Vašich aplikácií.

Rozšírený rozsah frekvencie

SF generátory výkonu do 100 kW sú na požiadanie dostupné s rozšíreným rozsahom frekvencie 20 - 70 kHz (štandard je 20 - 50 kHz).

Pomôcka zapaľovania

Pomocou nej sa zníži tvorba Arc a zníži tepelný stres. Zapaľovacie napätie a dobu rampy je možné individuálne regulovať.

Ultra rýchly Arc manažment

TruPlasma MF Série 7000 (G2) je možné vybaviť mimoriadne citlivým Arc manažmentom (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, štandard je ≤ 10 mJ/kW). Pre UltraFastTreatment je potrebná bezpečnostná kategória 3.

Für alle Fälle gerüstet

Profinet, Profibus, EtherCAT sowie analoge und digitale Schnittstellen ermöglichen eine einfache Einbindung der TruPlasma MF Serie 7000 in bestehende Anlagen.

Vybavené pre všetky prípady

Profinet, Profibus, EtherCAT ako aj znalógové a digitálne rozhrania umnožňujú jednoduché integrovanie zariadenia TruPlasma MF Série 7000 do jestvujúcich zariadení.

Aktive Schaltschrankentfeuchtung

Für Umgebungen mit sehr hoher Luftfeuchtigkeit kann der Generator-Schaltschrank mit einer aktiven Entfeuchtungseinheit ausgestattet werden. Für deren Betrieb ist eine Kühlwasserregelung erforderlich.

Dvere rozvodnej skrine

Dvere rozvodnej skrine je možné dostať na požiadanie s mimoriadne veľkým uhlom otvorenia 180° (štandard je 130°C).

Aktívne odvlhčovanie dverí rozvodnej skrine

Pri okolitom prostredí s veľmi vysokou vlhkosťou vzduchu je možné vybaviť rozvodnú skriňu generátora aktívnou odvlhčovacou jednotkou. Pre ich prevádzku je potrebná regulácia chladiacej kvapaliny.

Softvér TruControl Power príjemný na obsluhu

TruControl Power

Viacjazyčný riadiaci softvér TruControl Power príjemný na obsluhu Vám ponúka rôznorodé možnosti ovládania, konfigurácie a diagnostiky.

Voľbou vhodných komponentov systému môžete najlepšie prispôsobiť TruPlasma MF Série 7000 (G2) Vášmu systémovému prostrediu.

SF výkonový kábel
SF výkonový kábel

Pre zariadenie TruPlasma MF Série 7000 (G2) dostanete optimalizovaný SF výkonový kábel TRUMPF Hüttinger. Zabezpečujú kedykoľvek optimálny systémový výkon.

V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

VHF Generator Serie 3000
Vysoká hospodárnosť v robustnom dizajne

Inovatívne, modulárne, stupňovito rozšíriteľné: Nové kompaktné VHF generátory TRUMPF Hüttinger presviedčajú vysokou hospodárnosťou a robustným dizajnom.

TruConvert: Flexibilné riešenie pre Vaše akumulátorové aplikácie

Stavebnicový systém je možné individuálne upravovať a zväčšovať a konfigurovať ako sieťové pripojenie, ostrov alebo mikro sieť.

TRUMPF Hüttinger Worldwide
Ihr Kontakt bei TRUMPF Hüttinger

Sie interessieren sich für ein Produkt oder benötigen eine Beratung? Hier finden Sie Ihre Ansprechpartner weltweit.

Kontakt
Nikolas Hunzinger
Sales TRUMPF Hüttinger
E-mail
Na stiahnutie
Servis & Kontakt