VF generátory novej generácie
Pri povrstvovaní alebo vytváraní štruktúr na povrchoch materiálov je rozhodujúce stabilné a opakovateľné dodávanie prúdu plazmy. VF generátory v TruPlasma RF Sérií 1000 / 3000 (G2/13) vybavené modernou výkonovou elektronikou na to ponúkajú najlepšie predpoklady: Vďaka ich stabilnému výstupnému výkonu a vysokej presnosti regulácie Vám zabezpečia najlepšie výsledky pri súčasne vysokej produktivite.
Technológia CombineLine: optimálny výkon procesov vďaka skutočnej výstupnej impedancii 50 Ohm.
Už žiadne nastavovanie dĺžky káblov – absolútna novinka vo VF oblasti!
Technológia CombineLine: spoľahlivá ochrana proti odrazenému výkonu pri chybnom nastavení.
Účinnosti až do 80 % umožňujú zníženie nákladov na energie až o 50 %.
Žiadne zohrievanie alebo znečisťovanie okolitého vzduchu, preto je možné používanie v čistých prevádzkach.
Ideálne na povrchové úpravy plochých obrazoviek
VF generátory TruPlasma Série RF 1000 / 3000 (G2/13) sú ideálne na procesy plazmy ako RIE, ALD, PECVD a RF pokovovanie rozprašovaním. Tieto procesy sa používajú okrem iného pri výrobe polovodičových prvkov a mikromechanických systémov (MEMS) ako aj pri vytváraní povrchových vrstiev plochých obrazoviek a solárnych článkov.
Typická oblasť použitia: solárny priemysel
Typické oblasti použitia TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sú pri náročných procesoch PECVD, leptania a VF pokovovania rozprašovaním v solárnom priemysle.
Výroba polovodičov
Pri výrobe polovodičov sa používajú rôzne procesy plazmy, od procesov úberu materiálu cez suché leptanie až po ťahanie zóny pri výrobe čistého kremíka. Generátory zariadenia TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.
|
TruPlasma RF 1000-2/13
|
TruPlasma RF 1000-3/13
|
|
|---|---|---|
| Vysokofrekvenčný výstup | ||
| Výstupný výkon | 2 kW | 3 kW |
| Menovitý výkon | 2 kW | 3 kW |
| Impendancia pri menovitom zaťažení | 50 Ω | 50 Ω |
| Výstupná frekvencia | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Údaje sieťového pripojenia | ||
| Sieťové napätie | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Sieťová frekvencia | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Príkon v sieti | 3,1 kVA | 4,3 kVA |
| Účinník | 0,95 | 0,95 |
| Komunikačné rozhrania | ||
| Rozhrania Sync | Áno | Áno |
| Analógové/digitálne | Áno | Áno |
| RS 232 / RS 485 | Áno | Áno |
| PROFIBUS | Áno | Áno |
| EtherCAT | Áno | Áno |
| DeviceNet | Áno | Áno |
| Teleso | ||
| Hmotnosť | 18 kg | 18 kg |
| Stupeň ochrany IP | 30 | 30 |
| Požiadavky na chladenie | ||
| Max. tlak vody | 7 bar | 7 bar |
| Min. rozdiel tlaku | 1,1 bar | 1,1 bar |
| Min. prietokové množstvo | 4 l/min | 4 l/min |
| Teplota chladiaceho prostriedku | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C 1 |
| Všeobecne | ||
| Celková účinnosť | 80 % | 80 % |
| Certifikáty / štandardy | Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs |
| Podmienky okolia | ||
| Vonkajšia teplota | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Vlhkosť vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Technické údaje všetkých variantov produktu na stiahnutie.
Optimálne prispôsobenie k Vášmu procesu
Inteligentné párovanie TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) v reálnom čase prispieva k rýchlemu a priamemu prispôsobeniu impedancie na 50 Ohm. Vďaka patentovanej technológii CombineLine sa spoľahlivo predchádza odchýlkam plazmy a znečisteniu, koncepcia chladenia bez ventilátora znižuje mieru výpadkov, zvyšuje efektivitu a umožňuje použitie v čistých prevádzkach.
Maximálna efektivita a flexibilita
Vďaka najvyšším účinnostiam až do 80 % znížite Vaše náklady na energiu v porovnaní s bežnými generátormi až o 50 %. Početné dostupné rozhrania (konfigurovateľné analógové rozhranie, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zjednodušujú integráciu do jestvujúcich zariadení, vďaka integrovaným zdrojom s ultra širokým rozsahom (200-480 VAC) nie sú potrebné technické úpravy. Kompaktná konštrukcia napriek vysokej hustote výkonu (19-palcový resp. ½-19 palcový zásuv) umožňuje integrovanie s úsporou miesta do každého výrobného zariadenia.
TRUMPF SystemPort
SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.
Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie VF generátora s Vašimi aplikáciami.
Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a zariadenie.
Patentované riešenie Auto Freuquency Tuning umožňuje simultánne a rýchle nastavenie frekvencie a garantuje optimálnu súhru medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox). Vďaka tejto patentovanej technike už lokálne minimum nie je žiadnou prekážkou: RF systém sa privedie na optimum a tak umožní najlepšie výsledky procesu a vysokú opakovateľnosť.
Všetky komponenty TRUMPF RF systému sú navzájom optimálne zosúladené.
TruPlasma Match: sieťové systémy prispievajú k optimálnemu prenosu výkonu z generátora do výboja plazmy. Prevádzka adaptačného sieťového systému sa môže vykonávať buď samostatne alebo prostredníctvom inteligentného spojenia generátora a adaptačného sieťového systému, takzvaného SystemPort.
Pomocou hlavných oscilátorov je možné stabilizovať a optimalizovať kritické synchrónne procesy plazmy. Integrovaný digitálny frekvenčný a fázový syntetizátor prispieva k vysokej stabilite frekvencie a fáz a umožňuje nastavenie dĺžky fáz po veľmi malých krokoch. Možné je zvoliť z rôznych verzií hlavných oscilátorov pre frekvenciu 13,56 MHz ako aj rôzne kombinácie frekvencií.
VF prepínač umožňuje viacnásobné využitie VF generátora pre rôzne stanice procesov plazmy, napríklad na dodávku prúdu sekvenčných procesov alebo pri systémoch s rôznymi miestami prípojky. Dostupné sú rôzne VF prepínače vo dvoch výkonových triedach ako aj s 2, 3 alebo 4 výstupmi.
Na prenos VF výkonu ponúka TRUMPF Hüttinger koaxiálny kábel, ktorý je skonštruovaný špeciálne na prevádzku v 50-ohmových systémoch.
Perfektne vzájomne zladené: TRUMPF RF systém
Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.
V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.
Poznámky pod čiarou-
Teplota chladiacej kvapaliny musí byť vyššia ako rosný bod v miestnosti, aby sa zabránilo kondenzácii.
