Inovatívna, stavebnicová, nastaviteľná: Nová platforma generátorov firmy TRUMPF Hüttinger
Generátory TruPlasma VHF Série 3000 sú vytvorené na základe inovatívnej koncepcie platformy, ktorá umožňuje najvyššie hustoty výkonu a spĺňa najnáročnejšie požiadavky procesov. Stavebnicová a len vodou chladená konštrukcia umožňuje zmenu výstupného výkonu až na 80 kW. Okrem toho sa kompaktné VHF generátory vyznačujú vysokou hospodárnosťou a robustnou konštrukciou.
Ponúka najlepšiu kontrolu procesov plazmy k jestvujúcim Single a Multi-Level pulzom.
Vďaka tomu je možné veľmi flexibilné riadenie vlastností generátora pri zapaľovaní.
Automatické nastavenie frekvencie pre vytvorenie optimálnej súhry medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox).
Excelentné, opakovateľné výsledky procesu vďaka vysoko presnej digitálnej modulácii frekvencie.
Nie je potrebné žiadne nastavovanie dĺžky VF kábla pri zmenách procesu, preto sú časy osadzovania kratšie.
Spoľahlivá funkcia generátora vďaka technológii CombineLine, aj pri chybnom nastavení.
Výroba solárnych článkov
V oblasti fotovoltaiky je množstvo oblastí použitia pre energiu procesu ušitú na mieru. Používajú sa tu rôzne procesy plazmy pre nános a úber materiálu, napr. pre procesy pokovovania rozprašovaním, PECVD a procesy leptania. Generátory TruPlasma VHF Série 3000 je možné optimálne upraviť pre konkrétny proces, rýchly Arc manažment pritom umožňuje stabilné ovládanie plazmy. Vďaka tomu sú garantované excelentné výsledky procesov a vysoká produktivita.
Výroba polovodičov
Pri výrobe polovodičov sa používajú rôzne procesy plazmy, od procesov úberu materiálu cez suché leptanie až po ťahanie zóny pri výrobe čistého kremíka. Generátory zariadenia TruPlasma VHF Série 3000 poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.
Ideálne na povrchové úpravy plochých obrazoviek
Generátory TruPlasma VHF Série 3000 sú ideálne na procesy plazmy ako RIE, ALD, PECVD a RF pokovovanie rozprašovaním. Tieto procesy sa používajú okrem iného pri výrobe polovodičových prvkov a mikromechanických systémov (MEMS) ako aj pri vytváraní povrchových vrstiev plochých obrazoviek a solárnych článkov.
|
Truplasma VHF 1000-2.5/60
|
TruPlasma VHF 3000-5/40
|
TruPlasma VHF 3000-10/40
|
|
|---|---|---|---|
| Vysokofrekvenčný výstup | |||
| Výstupný výkon | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW |
| Menovitý výkon | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW |
| Impendancia pri menovitom zaťažení | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Výstupná frekvencia | 60 MHz | 40,68 MHz | 40,68 MHz |
| Údaje sieťového pripojenia | |||
| Sieťové napätie | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Sieťová frekvencia | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Príkon v sieti | 4 kVA | 9,3 kVA | 18,6 kVA |
| Účinník | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Komunikačné rozhrania | |||
| Rozhrania Sync | Áno | Áno | Áno |
| Analógové/digitálne | Áno | Áno | Áno |
| RS 232 / RS 485 | Áno | Áno | Áno |
| PROFIBUS | Nie | Nie | Nie |
| EtherCAT | Áno | Áno | Áno |
| DeviceNet | Áno | Áno | Áno |
| Teleso | |||
| Hmotnosť | 23 kg | 32 kg | 53 kg |
| Stupeň ochrany IP | 30 | 30 | 30 |
| Požiadavky na chladenie | |||
| Max. tlak vody | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. rozdiel tlaku | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Min. prietokové množstvo | 8 l/min | 8 l/min | 10 l/min |
| Teplota chladiaceho prostriedku | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C |
| Všeobecne | |||
| Celková účinnosť | 70 % | 70 % | 70 % |
| Certifikáty / štandardy | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Podmienky okolia | |||
| Vonkajšia teplota | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Vlhkosť vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Technické údaje všetkých variantov produktu na stiahnutie.
Flexibilné prispôsobenie k procesu
Stavebnicová koncepcia platformy zariadenia TruPlasma VHF Série 3000 umožňuje nastavenie výstupného výkonu až na 80 kW. Vďaka implementovanej technológii CombineLine sa generátor správa aj pri chybnom nastavení veľmi robustne. Jeho ďalšia frekvenčná oblasť ako aj premenné sieťové napätie a dĺžka káblov umožňujú flexibilné nastavenbie pre rôzne aplikácie a krajiny nasadenia.
Najvyššia efektivita a hospodárnosť
VF generátory TruPlasma VHF Série 3000 sú celé vybudované v najmodernejšej polovodičovej technike s výkonovými tranzistormi LDMOS. Planárna konštrukčná technika s veľkou integrácikou umožňuje najvyššie hustoty výkonu súčasne pri vysokej energetickej efektivite a patrične zníženému chladiacemu výkonu. Vďaka tomu ponúka táto séria v tejto frekvenčnej oblasti doposiaľ nedosiahnutú hospodárnosť a znižuje prevádzkové náklady bežné na trhu.
TRUMPF SystemPort
SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.
Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie VHF generátora s Vašimi aplikáciami.
Patentované riešenie Auto Freuquency Tuning umožňuje simultánne a rýchle nastavenie frekvencie a garantuje optimálnu súhru medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox). Vďaka tejto patentovanej technike už lokálne minimum nie je žiadnou prekážkou: RF systém sa privedie na optimum a tak umožní najlepšie výsledky procesu a vysokú opakovateľnosť.
Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a Vaše zariadenie.
Flexibilné tvarovanie pulzu: Tvar výstupného signálu je možné nastaviť ľubovoľne podľa konkrétnych požiadaviek procesu.
TruControl Power
Riadiaci softvér TruControl Power príjemný na obsluhu umožňuje komfortné uvedenie do prevádzky a bezpečné sledovanie VF generátora resp. celého TRUMPF RF systému počas priebehu procesu.
Voľbou vhodných komponentov systému môžete optimálne prispôsobiť VHF generátor podľa požiadaviek Vašich aplikácií.
TruPlasma Match: sieťové systémy prispievajú k optimálnemu prenosu výkonu z generátora do výboja plazmy. Prevádzka adaptačného sieťového systému sa môže vykonávať buď samostatne alebo prostredníctvom inteligentného spojenia generátora a adaptačného sieťového systému, takzvaného SystemPort.
Sadu tvorí adaptér pre vodné prípojky, sada pre zdroj HARTING AC, spojka (jumper) pre funkciu Interlock, adaptér z LEMO EPL na BNC female (pre konektor Clock a Pulse sync)
Pomocou hlavných oscilátorov je možné stabilizovať a optimalizovať kritické synchrónne procesy plazmy. Integrovaný digitálny frekvenčný a fázový syntetizátor prispieva k vysokej stabilite frekvencie a fáz a umožňuje nastavenie dĺžky fáz po veľmi malých krokoch. Možné je zvoliť z rôznych verzií hlavných oscilátorov pre frekvenciu 13,56 MHz ako aj rôzne kombinácie frekvencií.
VF prepínač umožňuje viacnásobné využitie VF generátora pre rôzne stanice procesov plazmy, napríklad na dodávku prúdu sekvenčných procesov alebo pri systémoch s rôznymi miestami prípojky. Dostupné sú rôzne VF prepínače vo dvoch výkonových triedach ako aj s 2, 3 alebo 4 výstupmi.
Na prenos VF výkonu ponúka TRUMPF Hüttinger koaxiálny kábel, ktorý je skonštruovaný špeciálne na prevádzku v 50-ohmových systémoch.
Perfektne vzájomne zladené: TRUMPF RF systém
Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.
V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.
Poznámky pod čiarou-
Teplota chladiacej kvapaliny musí byť vyššia ako rosný bod v miestnosti, aby sa zabránilo kondenzácii.
