Výkonný a robustný výkonový solid-state generátor plazmy pre maximálne hustoty plazmy a požiadavky procesov
Generátory série TruPlasma MW sú založené na technológii solid-state a dosahujú podstatne vyššiu presnosť frekvencií než mikrovlnné generátory založené na magnetróne. Inovačná platformová koncepcia dokáže efektívne a hospodárne vytvárať maximálne hustoty plazmy a dokonca aj vysoko náročné požiadavky procesov. Modulárne usporiadanie navyše umožňuje presné nastavenie výstupného výkonu. Elektrické napájanie pritom zostáva kedykoľvek stabilné, bez akéhokoľvek negatívneho ovplyvnenia kvality procesu. Séria TruPlasma MW tak vďaka moderným funkciám procesov prispieva pri výrobe polovodičov, solárnych článkov a displejov k tým najlepším výsledkom a maximálnej spoľahlivosti.
Inovačné pulzovanie v rozsahu nanosekúnd umožňuje maximálnu kontrolu plazmového procesu.
Automatické prispôsobenie frekvencie garantuje optimálny výsledok procesu a vysokú opakovateľnosť.
V systémoch s viacerými anténami môžete fázovo synchrónne prevádzkovať a pulzovať rôzne generátory. Vďaka variácii fázových vzťahov medzi jednotlivými generátormi je možné dosiahnuť veľkoplošnú homogenitu plazmy.
Spoľahnite sa na funkciu generátora – kvalita procesu sa nezníži ani pri chybnom nastavení.
Profitujte z vysoko presnej, digitálnej frekvenčnej modulácie, ktorá prispieva k opakovateľným výsledkom procesov, maximálnej kvalite vrstiev a k produktivite.
Vďaka digitálnemu rozhraniu EtherCat môžete riadiť zariadenie veľmi rýchlo, v oblasti milisekúnd. To umožňuje precízne rozdelenie plazmy.
Výroba solárnych článkov
V oblasti fotovoltiky sa na nanášanie a úber materiálov používajú plazmové procesy ako naprašovanie alebo PECVD. Generátory série TruPlasma MW sa dajú rýchlo prispôsobiť rôznym procesom a garantujú vysokú produktivitu, ako aj prvotriedne výsledky procesov. Vďaka presnému dávkovaniu energie dosiahnete aj pri najmodernejších a najnáročnejších aplikáciách tie najlepšie výsledky. Vysoko presná regulácia výkonu pritom umožňuje najlepšiu opakovateľnosť od doštičky k doštičke.
Výroba polovodičov
Generátory plazmy majú pri výrobe polovodičov svoje využitie v najrôznejších plazmových procesoch – os suchého leptania až po ťahanie zón pri výrobe kremíka. Naša séria TruPlasma MW ponúka optimalizované možnosti elektrického napájania pre všetky tieto procesy
Povrchová úprava plochých obrazoviek
Pri povrchovej úprave plochých obrazoviek preukazujú naše generátory TruPlasma MW svoje silné stránky v plazmových procesoch, akými sú PECVD, ALD a RIE.
Vysoké prevádzkové účinnosti a flexibilný koncept chladenia zariadenia TruPlasma MF Série 7000 (G2) garantujú najvyššiu hospodárnosť počas celého trvania životnosti. Aj za ťažkých klimatických podmienok a podmienok inštalácie ostáva zdroj prúdu vždy stabilný – ani vysoké teploty chladiacej kvapaliny, minimálny tlak vody ani vysoká vlhkosť vzduchu neovplyvňujú kvalitu procesu. Vďaka jeho širokej oblasti prevádzkového napätia môžete použiť SF generátor kdekoľvek na svete bez technických úprav.
Pomocou niekoľko málo nastavení parametrov môžete presne riadiť kvalitu vrstvy a produktivitu. Takto nájdete optimálnu rovnováhu medzi citlivosťou Arc spracovania a požadovanou výrobnou dávkou. Okrem toho zaručí množstvo prípojok a komfortný ovládací softvér TruControl Power efektívny konfiguráciu a diagnostiku.
Vysoké rýchlosti odozvy a patrične znížené zvyškové energie prispievajú k stabilite procesov a k najvyšším mieram pokovovania rozprašovaním. Generátor spoľahlivo rozpozná a zabráni tvorbe Arc a tepelných stresov na terčíkoch – výsledkom sú absolútne homogénne vrstvy na celej ploche substrátu. Okrem toho umožňuje rýchly a spoľahlivý Arc manažment bezproblémovú prevádzku generátora v prechodovej oblasti regulovanej napätím (transition mode).
V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Spojte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.
