Pri poskytovaní tejto stránky používame súbory cookie. Ak naďalej používate túto stránku, bez zmeny nastavení pre súbory cookie, vychádzame z toho, že súhlasíte s používaním súborov cookie.
Technologiebild RF Plasmageneratoren

HF generátory plazmy

HF generátory TruPlasma z TRUMPF Hüttinger ponúkajú najvyššiu stabilitu procesov všetkých zdrojov prúdu pre budenie plazmy. HF technológia je preto vhodná najmä na procesy, pri ktorých je požadovaná najvyššia presnosť a opakovateľnosť. Naše vysokofrekvečné generátory patria k špičkovým jazdcom na trhu aj v oblasti energetickej efektivity a robustnosti - sú preto najlepšou voľbou pre náročné aplikácie akými je výroba polovodičových prvkov, mikročipov, solárnych buniek alebo plochých obrazoviek.

Vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF Séria 1000 / 3000 (G2/13)

TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sú VF generátory najnovšej generácie. Vďaka inovatívnej funkcii akou je patentovaná technológia väzby CombineLine alebo meranie všetkých parametrov procesu v reálnom čase je garantované bezpečné napájanie prúdom aj v náročných procesoch plazmy – optimálne predpoklady pre opakovateľné výsledky a vyššou produktivitu.

Vysokofrekvenčné generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF Séria 3000

Výkonné VF generátory TruPlasma RF Série 3000 sa vyznačujú najvyššou efektivitou a stabilitou procesu. Sú preto ideálne pre náročné plazmové procesy, aké sa používajú napríklad pri výrobe plochých obrazoviek, solárnych článkov alebo polovodičov. Adaptačné sieťové systémy na nastavenie impedancie vyladené presne na generátor sa neustále starajú o optimálny a stabilný prenos výkonu z generátora k plazme.

RF systémové riešenie : Matchbox pre najvyššiu stabilitu procesov

TruPlasma Match Séria 1000 (G2/13)

Na optimálne riadenie procesu plazmy je vhodné presné nastavenie výstupnej impedancie VF generátora. Vykonávajú to adaptačné sieťové systémy TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) ako spojovací člen medzi generátorom a procesom. Týmto spôsobom vzniká komplexné riešenie pre Vaše napájanie procesným prúdom – TRUMPF RF systém.

VHF generátor Séria 3000

TruPlasma VHF Séria 3000

Najvyšší výkon pre Váš proces: Generátory TruPlasma VHF Séria 3000 sú vytvorené na základe inovatívnej koncepcie platformy, ktorá spĺňa aj najnáročnejšie požiadavky procesov. Stavebnicová a len vodou chladená konštrukcia VHF generátorov umožňuje zmenu výstupného výkonu až na 80 kW – a to v minimálnom priestore!

Servis & Kontakt