Pri poskytovaní tejto stránky používame súbory cookie. Ak naďalej používate túto stránku, bez zmeny nastavení pre súbory cookie, vychádzame z toho, že súhlasíte s používaním súborov cookie.
Vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 3006
Vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 3006
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Séria 1000 / 3000 (G2/13)

Stabilné procesy pre najvyššiu produktivitu

viewport test images /w Retina support
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Séria 1000 / 3000 (G2/13)

    - / -
    • Prehľad
    • Aplikácie
    • Technické údaje
    • Úžitok pre zákazníka
    • Doplnkové výbavy
    • Systémové konštrukčné diely
    • Vysokofrekvenčný systém
    • Viac Menej
    VF generátory novej generácie

    Pri povrstvovaní alebo vytváraní štruktúr na povrchoch materiálov je rozhodujúce stabilné a opakovateľné dodávanie prúdu plazmy. VF generátory v TruPlasma RF Sérií 1000 / 3000 (G2/13) vybavené modernou výkonovou elektronikou na to ponúkajú najlepšie predpoklady: Vďaka ich stabilnému výstupnému výkonu a vysokej presnosti regulácie Vám zabezpečia najlepšie výsledky pri súčasne vysokej produktivite.

    Vysoká presnosť a opakovateľnosť

    Technológia CombineLine: optimálny výkon procesov vďaka skutočnej výstupnej impedancii 50 Ohm.

    Nezávislosť od dĺžky VF kábla

    Už žiadne nastavovanie dĺžky káblov – absolútna novinka vo VF oblasti!

    Robustnosť a bezpečnosť

    Technológia CombineLine: spoľahlivá ochrana proti odrazenému výkonu pri chybnom nastavení.

    Efektivita a hospodárnosť

    Účinnosti až do 80 % umožňujú zníženie nákladov na energie až o 50 %.

    Koncepcia chladenia bez ventilátora

    Žiadne zohrievanie alebo znečisťovanie okolitého vzduchu, preto je možné používanie v čistých prevádzkach.

    VF generátor TruPlasma RF 3006

    Ideálne na povrchové úpravy plochých obrazoviek

    VF generátory TruPlasma Série RF 1000 / 3000 (G2/13) sú ideálne na procesy plazmy ako RIE, ALD, PECVD a RF pokovovanie rozprašovaním. Tieto procesy sa používajú okrem iného pri výrobe polovodičových prvkov a mikromechanických systémov (MEMS) ako aj pri vytváraní povrchových vrstiev plochých obrazoviek a solárnych článkov.

    Výroba solárnych článkov

    Typická oblasť použitia: solárny priemysel

    Typické oblasti použitia TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sú pri náročných procesoch PECVD, leptania a VF pokovovania rozprašovaním v solárnom priemysle.

    Ideálne vhodné na procesy leptania a nanášania

    Výroba polovodičov

    Pri výrobe polovodičov sa používajú rôzne procesy plazmy, od procesov úberu materiálu cez suché leptanie až po ťahanie zóny pri výrobe čistého kremíka. Generátory zariadenia TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

    TruPlasma RF 1002
    TruPlasma RF 1003
    TruPlasma RF 3006
    Vysokofrekvenčný výstup      
    Výstupný výkon 2 kW 3 kW 6 kW
    Menovitý výkon 2 kW 3 kW 6 kW
    Impendancia pri menovitom zaťažení 50 Ω 50 Ω 50 Ω
    Výstupná frekvencia 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Údaje sieťového pripojenia      
    Sieťové napätie 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
    Sieťová frekvencia 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
    Príkon v sieti 3,1 kVA 4,3 kVA 7,9 kVA
    Účinník 0,95 0,95 0,95
    Komunikačné rozhrania      
    Rozhrania Sync Áno Áno Áno
    Analógové/digitálne Áno Áno Áno
    RS 232 / RS 485 Áno Áno Áno
    PROFIBUS Áno Áno Áno
    EtherCAT Áno Áno Áno
    DeviceNet Áno Áno Áno
    Teleso      
    Hmotnosť 18 kg 18 kg 38 kg
    Stupeň ochrany IP 30 30 30
    Požiadavky na chladenie      
    Max. tlak vody 7 bar 7 bar 7 bar
    Min. rozdiel tlaku 1,1 bar 1,1 bar 1,1 bar
    Min. prietokové množstvo 4 l/min 4 l/min 8 l/min
    Teplota chladiaceho prostriedku 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
    Všeobecne      
    Celková účinnosť 80 % 80 % 80 %
    Certifikáty / štandardy Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs
    Podmienky okolia      
    Vonkajšia teplota 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Vlhkosť vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrický tlak 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Technical data sheet

    Download the technical data of all product variants.

    Integrovaná technológia CombineLine

    Optimálne prispôsobenie k Vášmu procesu

    Inteligentné párovanie TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) v reálnom čase prispieva k rýchlemu a priamemu prispôsobeniu impedancie na 50 Ohm. Vďaka patentovanej technológii CombineLine sa spoľahlivo predchádza odchýlkam plazmy a znečisteniu, koncepcia chladenia bez ventilátora znižuje mieru výpadkov, zvyšuje efektivitu a umožňuje použitie v čistých prevádzkach.

    VF generátor pre paralelné oscilačné obvody

    Maximálna efektivita a flexibilita

    Vďaka najvyšším účinnostiam až do 80 % znížite Vaše náklady na energiu v porovnaní s bežnými generátormi až o 50 %. Početné dostupné rozhrania (konfigurovateľné analógové rozhranie, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zjednodušujú integráciu do jestvujúcich zariadení, vďaka integrovaným zdrojom s ultra širokým rozsahom (200-480 VAC) nie sú potrebné technické úpravy. Kompaktná konštrukcia napriek vysokej hustote výkonu (19-palcový resp. ½-19 palcový zásuv) umožňuje integrovanie s úsporou miesta do každého výrobného zariadenia.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.

    Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie VF generátora s Vašimi aplikáciami.

    VF-Arc manažment

    Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a zariadenie.

    Auto Frequency Tuning

    Patentované riešenie Auto Freuquency Tuning umožňuje simultánne a rýchle nastavenie frekvencie a garantuje optimálnu súhru medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox). Vďaka tejto patentovanej technike už lokálne minimum nie je žiadnou prekážkou: RF systém sa privedie na optimum a tak umožní najlepšie výsledky procesu a vysokú opakovateľnosť.

    Všetky komponenty TRUMPF RF systému sú navzájom optimálne zosúladené.

    RF systémové riešenie : Matchbox pre najvyššiu stabilitu procesov
    Adaptačný sieťový systém pre TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

    TruPlasma Match: sieťové systémy prispievajú k optimálnemu prenosu výkonu z generátora do výboja plazmy. Prevádzka adaptačného sieťového systému sa môže vykonávať buď samostatne alebo prostredníctvom inteligentného spojenia generátora a adaptačného sieťového systému, takzvaného SystemPort.

    Hlavný oscilátor na stabilizáciu kritických synchrónnych procesov plazmy
    Hlavné oscilátory

    Pomocou hlavných oscilátorov je možné stabilizovať a optimalizovať kritické synchrónne procesy plazmy. Integrovaný digitálny frekvenčný a fázový syntetizátor prispieva k vysokej stabilite frekvencie a fáz a umožňuje nastavenie dĺžky fáz po veľmi malých krokoch. Možné je zvoliť z rôznych verzií hlavných oscilátorov pre frekvenciu 13,56 MHz ako aj rôzne kombinácie frekvencií.

    VF prepínač na využívanie VF generátora pre flexibilné systémy plazmy
    VF prepínač

    VF prepínač umožňuje viacnásobné využitie VF generátora pre rôzne stanice procesov plazmy, napríklad na dodávku prúdu sekvenčných procesov alebo pri systémoch s rôznymi miestami prípojky. Dostupné sú rôzne VF prepínače vo dvoch výkonových triedach ako aj s 2, 3 alebo 4 výstupmi.

    Koaxiálny kábel na prenos špecifikovaného výkonu
    Koaxiálny kábel

    Na prenos VF výkonu ponúka TRUMPF Hüttinger koaxiálny kábel, ktorý je skonštruovaný špeciálne na prevádzku v 50-ohmových systémoch.

    Generátor a adaptačný sieťový systém: Perfektne vzájomne zladené systémové riešenie

    Perfektne vzájomne zladené: TRUMPF RF systém

    Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.

    V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je stroj dostupný vo Vašej krajine.

    Poznámky pod čiarou
    • Teplota chladiacej kvapaliny musí byť vyššia ako rosný bod v miestnosti, aby sa zabránilo kondenzácii.

    Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
    Napájanie elektrickým prúdom pre Váš proces plazmy

    Plazmové generátory TRUMPF Hüttinger ponúkajú široké výkonové a frekvenčné spektrum. Informujte sa tu o našich produktoch.

    RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
    Inteligentné párovanie meraním v reálnom čase

    Nové adaptačné sieťové systémy pre TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) optimálne dopĺňajú naše RF generátory a dopomáhajú k celkovému riešeniu: RF systému TRUMPF.

    Services_Electronics_Technical_Support
    Servis ako žiaden iný

    Vďaka zmluve o údržbe nastavenej na mieru dosiahnete najvyššiu pohotovosť generátorov zároveň s prehľadom nákladov na údržby a prevádzku.

    Kontakt

    Klaus Nock
    Predaj, Plasma
    Fax +49 761 89711150
    E-mail

    Na stiahnutie

    Brožúra TruPlasma RF Séria 1000 3000
    Brožúra TruPlasma RF Séria 1000 3000
    pdf - 337 KB
    Brožúra TruPlasma RF System
    pdf - 6 MB
    Whitepaper Autofrequency Tuning
    pdf - 1 MB
    Whitepaper Precision in Processing
    pdf - 2 MB
    Servis & Kontakt