Pri poskytovaní tejto stránky používame súbory cookie. Ak naďalej používate túto stránku, bez zmeny nastavení pre súbory cookie, vychádzame z toho, že súhlasíte s používaním súborov cookie.
Vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 3006
Vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 3006
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Séria 1000 / 3000 (G2/13)

Stabilné procesy pre najvyššiu produktivitu

viewport test images /w Retina support
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Séria 1000 / 3000 (G2/13)

- / -
VF generátory novej generácie

Pri povrstvovaní alebo vytváraní štruktúr na povrchoch materiálov je rozhodujúce stabilné a opakovateľné dodávanie prúdu plazmy. VF generátory v TruPlasma RF Sérií 1000 / 3000 (G2/13) vybavené modernou výkonovou elektronikou na to ponúkajú najlepšie predpoklady: Vďaka ich stabilnému výstupnému výkonu a vysokej presnosti regulácie Vám zabezpečia najlepšie výsledky pri súčasne vysokej produktivite.

Vysoká presnosť a opakovateľnosť

Technológia CombineLine: optimálny výkon procesov vďaka skutočnej výstupnej impedancii 50 Ohm.

Nezávislosť od dĺžky VF kábla

Už žiadne nastavovanie dĺžky káblov – absolútna novinka vo VF oblasti!

Robustnosť a bezpečnosť

Technológia CombineLine: spoľahlivá ochrana proti odrazenému výkonu pri chybnom nastavení.

Efektivita a hospodárnosť

Účinnosti až do 80 % umožňujú zníženie nákladov na energie až o 50 %.

Koncepcia chladenia bez ventilátora

Žiadne zohrievanie alebo znečisťovanie okolitého vzduchu, preto je možné používanie v čistých prevádzkach.

VF generátor TruPlasma RF 3006

Ideálne na povrchové úpravy plochých obrazoviek

VF generátory TruPlasma Série RF 1000 / 3000 (G2/13) sú ideálne na procesy plazmy ako RIE, ALD, PECVD a RF pokovovanie rozprašovaním. Tieto procesy sa používajú okrem iného pri výrobe polovodičových prvkov a mikromechanických systémov (MEMS) ako aj pri vytváraní povrchových vrstiev plochých obrazoviek a solárnych článkov.

Výroba solárnych článkov

Typická oblasť použitia: solárny priemysel

Typické oblasti použitia TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sú pri náročných procesoch PECVD, leptania a VF pokovovania rozprašovaním v solárnom priemysle.

Ideálne vhodné na procesy leptania a nanášania

Výroba polovodičov

Pri výrobe polovodičov sa používajú rôzne procesy plazmy, od procesov úberu materiálu cez suché leptanie až po ťahanie zóny pri výrobe čistého kremíka. Generátory zariadenia TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

- / -
TruPlasma RF 1002
TruPlasma RF 1003
TruPlasma RF 3006
Vysokofrekvenčný výstup      
Výstupný výkon 2 kW 3 kW 6 kW
Menovitý výkon 2 kW 3 kW 6 kW
Impendancia pri menovitom zaťažení 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Výstupná frekvencia 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Údaje sieťového pripojenia      
Sieťové napätie 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
Sieťová frekvencia 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
Príkon v sieti 3,1 kVA 4,3 kVA 7,9 kVA
Účinník 0,95 0,95 0,95
Komunikačné rozhrania      
Rozhrania Sync Áno Áno Áno
Analógové/digitálne Áno Áno Áno
RS 232 / RS 485 Áno Áno Áno
PROFIBUS Áno Áno Áno
EtherCAT Áno Áno Áno
DeviceNet Áno Áno Áno
Teleso      
Hmotnosť 18 kg 18 kg 38 kg
Stupeň ochrany IP 30 30 30
Požiadavky na chladenie      
Max. tlak vody 7 bar 7 bar 7 bar
Min. rozdiel tlaku 1,1 bar 1,1 bar 1,1 bar
Min. prietokové množstvo 4 l/min 4 l/min 8 l/min
Teplota chladiaceho prostriedku 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
Všeobecne      
Celková účinnosť 80 % 80 % 80 %
Certifikáty / štandardy Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs
Podmienky okolia      
Vonkajšia teplota 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Vlhkosť vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrický tlak 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technický list

Technické údaje všetkých variantov produktu na stiahnutie.

Integrovaná technológia CombineLine

Optimálne prispôsobenie k Vášmu procesu

Inteligentné párovanie TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) v reálnom čase prispieva k rýchlemu a priamemu prispôsobeniu impedancie na 50 Ohm. Vďaka patentovanej technológii CombineLine sa spoľahlivo predchádza odchýlkam plazmy a znečisteniu, koncepcia chladenia bez ventilátora znižuje mieru výpadkov, zvyšuje efektivitu a umožňuje použitie v čistých prevádzkach.

VF generátor pre paralelné oscilačné obvody

Maximálna efektivita a flexibilita

Vďaka najvyšším účinnostiam až do 80 % znížite Vaše náklady na energiu v porovnaní s bežnými generátormi až o 50 %. Početné dostupné rozhrania (konfigurovateľné analógové rozhranie, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zjednodušujú integráciu do jestvujúcich zariadení, vďaka integrovaným zdrojom s ultra širokým rozsahom (200-480 VAC) nie sú potrebné technické úpravy. Kompaktná konštrukcia napriek vysokej hustote výkonu (19-palcový resp. ½-19 palcový zásuv) umožňuje integrovanie s úsporou miesta do každého výrobného zariadenia.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.

Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie VF generátora s Vašimi aplikáciami.

VF-Arc manažment

Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a zariadenie.

Auto Frequency Tuning

Patentované riešenie Auto Freuquency Tuning umožňuje simultánne a rýchle nastavenie frekvencie a garantuje optimálnu súhru medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox). Vďaka tejto patentovanej technike už lokálne minimum nie je žiadnou prekážkou: RF systém sa privedie na optimum a tak umožní najlepšie výsledky procesu a vysokú opakovateľnosť.

Všetky komponenty TRUMPF RF systému sú navzájom optimálne zosúladené.

RF systémové riešenie : Matchbox pre najvyššiu stabilitu procesov
Adaptačný sieťový systém pre TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

TruPlasma Match: sieťové systémy prispievajú k optimálnemu prenosu výkonu z generátora do výboja plazmy. Prevádzka adaptačného sieťového systému sa môže vykonávať buď samostatne alebo prostredníctvom inteligentného spojenia generátora a adaptačného sieťového systému, takzvaného SystemPort.

Hlavný oscilátor na stabilizáciu kritických synchrónnych procesov plazmy
Hlavné oscilátory

Pomocou hlavných oscilátorov je možné stabilizovať a optimalizovať kritické synchrónne procesy plazmy. Integrovaný digitálny frekvenčný a fázový syntetizátor prispieva k vysokej stabilite frekvencie a fáz a umožňuje nastavenie dĺžky fáz po veľmi malých krokoch. Možné je zvoliť z rôznych verzií hlavných oscilátorov pre frekvenciu 13,56 MHz ako aj rôzne kombinácie frekvencií.

VF prepínač na využívanie VF generátora pre flexibilné systémy plazmy
VF prepínač

VF prepínač umožňuje viacnásobné využitie VF generátora pre rôzne stanice procesov plazmy, napríklad na dodávku prúdu sekvenčných procesov alebo pri systémoch s rôznymi miestami prípojky. Dostupné sú rôzne VF prepínače vo dvoch výkonových triedach ako aj s 2, 3 alebo 4 výstupmi.

Koaxiálny kábel na prenos špecifikovaného výkonu
Koaxiálny kábel

Na prenos VF výkonu ponúka TRUMPF Hüttinger koaxiálny kábel, ktorý je skonštruovaný špeciálne na prevádzku v 50-ohmových systémoch.

Generátor a adaptačný sieťový systém: Perfektne vzájomne zladené systémové riešenie

Perfektne vzájomne zladené: TRUMPF RF systém

Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.

V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.

Poznámky pod čiarou
  • Teplota chladiacej kvapaliny musí byť vyššia ako rosný bod v miestnosti, aby sa zabránilo kondenzácii.

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
Napájanie elektrickým prúdom pre Váš proces plazmy

Plazmové generátory TRUMPF Hüttinger ponúkajú široké výkonové a frekvenčné spektrum. Informujte sa tu o našich produktoch.

RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
Inteligentné párovanie meraním v reálnom čase

Nové adaptačné sieťové systémy pre TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) optimálne dopĺňajú naše RF generátory a dopomáhajú k celkovému riešeniu: RF systému TRUMPF.

Services_Electronics_Technical_Support
Servis ako žiaden iný

Vďaka zmluve o údržbe nastavenej na mieru dosiahnete najvyššiu pohotovosť generátorov zároveň s prehľadom nákladov na údržby a prevádzku.

Kontakt

Klaus Nock
Predaj, Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Na stiahnutie

Brožúra TruPlasma RF Séria 1000 3000
Brožúra TruPlasma RF Séria 1000 3000
pdf - 337 KB
Brožúra TruPlasma RF System
pdf - 6 MB
Servis & Kontakt