Pri poskytovaní tejto stránky používame súbory cookie. Ak naďalej používate túto stránku, bez zmeny nastavení pre súbory cookie, vychádzame z toho, že súhlasíte s používaním súborov cookie.
Vysokofrekvenčné generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Vysokofrekvenčné generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Séria 3000

VF technológia bez kompromisov

viewport test images /w Retina support
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Séria 3000

viewport test images /w Retina support
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Séria 3000

    - / -
    • Prehľad
    • Aplikácie
    • Technické údaje
    • Úžitok pre zákazníka
    • Doplnkové výbavy
    • Softvér
    • Systémové konštrukčné diely
    • Vysokofrekvenčný systém
    • Viac Menej
    Garanti excelentných výsledkov procesu

    Pomocou týchto VF generátorov idete doslova na istotu: TruPlasma RF Série 3000 sa vyznačuje robustnou konštrukciou a vysokou účinnosťou. Vďaka tomu sa ideálne hodí na stabilné, opakovateľné plazmové procesy, aké sa používajú napríklad pri výrobe plochých obrazoviek, solárnych článkov alebo polovodičov. Nainštalované v tisícoch aplikácií po celom svete garantujú tieto generátory vysokú produktivitu a vynikajúce výsledky procesu.

    Efektivita a hospodárnosť

    Účinnosti až do 80 % umožňujú zníženie nákladov na energie až o 50 %.

    Excelentný RF-Arc manažment

    Bezpečné riadenie aj náročných a novodobých procesov.

    Vysoká robustnosť a stabilita procesu

    Technológia CombineLine: spoľahlivá ochrana proti odrazeným výkonom pri chybnom nastavení.

    Maximálna flexibilita

    Mnohostranné využitie vďaka spojitému alebo pulznému odovzdávaniu výkonu.

    Ideálne vhodné na procesy leptania a nanášania

    Procesy leptania a nanášania

    Vysokofrekvenčné generátory TruPlasma RF Série 3000 sú vhodné najmä na procesy leptania a nanášania na povrchy, napr. leptanie pazmou, reaktívne iónové leptanie, ALD a PECVD.

    Ideálne na povrchové úpravy kovových obrobkov

    Povrchové úpravy kovových obrobkov

    Pomocou procesov plazmy je možné tak nanášať materiál na povrch obrobku ako aj vykonávať jeho úber, napríklad pri vytváraní vrstvy na kovových obrobkoch, chrániacej pred opotrebením alebo pri vytváraní štruktúrovaného povrchu elektronických komponentov pomocou plazmového leptania alebo fotolak-plazmovom spopolnení.

    Zdroj prúdu špičkovej triedy na povrchové úpravy plochých obrazoviek

    Povrchové úpravy plochých obrazoviek a solárnych článkov

    VF generátory TruPlasma RF Série 3000 sú ideálne na procesy plazmy ako RIE, ALD, PECVD a RF pokovovanie rozprašovaním. Tieto procesy sa používajú okrem iného pri vytváraní povrchových vrstiev plochých obrazoviek a solárnych článkov.

    Vysokofrekvenčný výstup          
    Výstupný výkon 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
    Menovitý výkon 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
    Impendancia pri menovitom zaťažení 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
    Výstupná frekvencia 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Údaje sieťového pripojenia          
    Sieťové napätie 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
    Sieťová frekvencia 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    Príkon v sieti 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
    Účinník 0,93 0,93 0,93 - -
    Komunikačné rozhrania          
    Rozhrania Sync Áno Áno Áno Áno Áno
    Analógové/digitálne Áno Áno Áno Áno Áno
    RS 232 / RS 485 Áno Áno Áno Áno Áno
    PROFIBUS Áno Áno Áno Áno Áno
    EtherCAT Áno Áno Áno Nie Nie
    DeviceNet Áno Áno Áno Áno Áno
    Teleso          
    Hmotnosť 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
    Stupeň ochrany IP 20 20 20 54 54
    Požiadavky na chladenie          
    Max. tlak vody 7 bar 7 bar 7 bar 6 bar 6 bar
    Min. rozdiel tlaku 2 bar 2 bar 2 bar 2,5 bar 2,5 bar
    Min. prietokové množstvo 10 l/min 20 l/min 20 l/min 46 l/min 56 l/min
    Teplota chladiaceho prostriedku 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
    Všeobecne          
    Celková účinnosť 78 % 75 % 75 % - -
    Certifikáty / štandardy SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
    Podmienky okolia          
    Vonkajšia teplota 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Vlhkosť vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrický tlak 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Technical data sheet

    Download the technical data of all product variants.

    Integrovaná technológia CombineLine

    Najvyššia účinnosť a stabilita procesov

    Skrátenie stratového výkonu na polovicu a zníženie spotreby chladiacej kvapaliny vďaka excelentnej účinnosti – tak minimalizujete Vaše prevádzkové náklady. Veľmi robustná konštrukcia generátorov umožňuje dosiahnuť dlhšie prevádzkové časy a tým aj vyššie miery povrchových úprav dokonca aj pri kritických procesoch. Účinne sa zamedzuje odchýlkam plazmy vďaka technológii CombineLine so skutočnou výstupnou impedanciou 50 Ohm – umožňuje to dosahovanie absolútne stabilných procesov.

    Vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 3012

    Bezpečnosť za všetkých okolností

    Robustná konštrukcia prispieva k maximálnej spoľahlivosti a produktivite Vášho procesu. 100 % ochrana nesprávneho prispôsobenia zaručuje bezpečnú prevádzku aj pri kritických záťažach. Voliteľné spojité alebo pulzné dodávanie výkonu podporuje široké pásmo požiadaviek procesu. Na celom svete je nainštalovaných viac ako 20.000 jednotiek – viac ako každého iného zdroja prúdu plazmy.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.

    Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie VF generátora s Vašimi aplikáciami.

    Arc manažment

    Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a zariadenie.

    Softvér TruControl Power príjemný na obsluhu

    TruControl Power

    Riadiaci softvér TruControl Power príjemný na obsluhu umožňuje komfortné uvedenie do prevádzky a bezpečné sledovanie VF generátora resp. celého TRUMPF RF systému počas priebehu procesu.

    Všetky komponenty TRUMPF RF systému sú navzájom optimálne zosúladené.

    RF systémové riešenie: Matchbox pre najvyššiu stabilitu procesov
    TruPlasma Match Séria 1000 (G2/13)

    TruPlasma Match: sieťové systémy prispievajú k optimálnemu prenosu výkonu z generátora do výboja plazmy. Prevádzka adaptačného sieťového systému sa môže vykonávať buď samostatne alebo prostredníctvom inteligentného spojenia generátora a adaptačného sieťového systému, takzvaného SystemPort.

    Hlavný oscilátor na stabilizáciu kritických synchrónnych procesov plazmy
    Hlavné oscilátory

    Pomocou hlavných oscilátorov je možné stabilizovať a optimalizovať kritické synchrónne procesy plazmy. Integrovaný digitálny frekvenčný a fázový syntetizátor prispieva k vysokej stabilite frekvencie a fáz a umožňuje nastavenie dĺžky fáz po veľmi malých krokoch. Možné je zvoliť z rôznych verzií hlavných oscilátorov pre frekvenciu 13,56 MHz ako aj rôzne kombinácie frekvencií.

    VF prepínač na využívanie VF generátora pre flexibilné systémy plazmy
    VF prepínač

    VF prepínač umožňuje viacnásobné využitie VF generátora pre rôzne stanice procesov plazmy, napríklad na dodávku prúdu sekvenčných procesov alebo pri systémoch s rôznymi miestami prípojky. Dostupné sú rôzne VF prepínače vo dvoch výkonových triedach ako aj s 2, 3 alebo 4 výstupmi.

    Koaxiálny kábel na prenos špecifikovaného výkonu
    Koaxiálny kábel

    Na prenos VF výkonu ponúka TRUMPF Hüttinger koaxiálny kábel, ktorý je skonštruovaný špeciálne na prevádzku v 50-ohmových systémoch.

    Generátor a adaptačný sieťový systém: Perfektne vzájomne zladené systémové riešenie

    Perfektne vzájomne zladené: Generátor a adaptačný sieťový systém

    Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.

    V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je stroj dostupný vo Vašej krajine.

    Poznámky pod čiarou
    • Teplota chladiacej kvapaliny musí byť vyššia ako rosný bod v miestnosti, aby sa zabránilo kondenzácii.

    Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

    Services_Electronics_TQZ_TRUMPF_Tower
    Testovacie a kvalifikačné centrum

    V našom testovacom a kvalifikačnom centre (TQZ) sa aplikační inžinieri starajú každý deň o to, aby sa plynulo optimalizovala kvalita našich produktov.

    TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
    Minimalizované náklady pri maximálnych výsledkoch

    TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sú VF generátory najnovšej generácie a ponúkajú najlepšie predpoklady pre stabilné zásobovanie plazmovým prúdom.

    Services_Electronics_Training
    Individuálne školenia pre zákazníkov sú našou silnou stránkou

    Skúsení servisní technici sprostredkujú fundované vedomosti, ktoré sú obsahom ušité na mieru požiadaviek účastníkov.

    Kontakt

    Klaus Nock
    Predaj, Plasma
    Fax +49 761 89711150
    E-mail

    Na stiahnutie

    Brožúra TruPlasma RF Séria 3000
    Brožúra TruPlasma RF Séria 3000
    pdf - 1 MB
    Brožúra TruPlasma RF System
    pdf - 6 MB
    Servis & Kontakt