Pri poskytovaní tejto stránky používame súbory cookie. Ak naďalej používate túto stránku, bez zmeny nastavení pre súbory cookie, vychádzame z toho, že súhlasíte s používaním súborov cookie.
Vysokofrekvenčné generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Vysokofrekvenčné generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Séria 3000

VF technológia bez kompromisov

viewport test images /w Retina support
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Séria 3000

viewport test images /w Retina support
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Séria 3000

- / -
Garanti excelentných výsledkov procesu

Pomocou týchto VF generátorov idete doslova na istotu: TruPlasma RF Série 3000 sa vyznačuje robustnou konštrukciou a vysokou účinnosťou. Vďaka tomu sa ideálne hodí na stabilné, opakovateľné plazmové procesy, aké sa používajú napríklad pri výrobe plochých obrazoviek, solárnych článkov alebo polovodičov. Nainštalované v tisícoch aplikácií po celom svete garantujú tieto generátory vysokú produktivitu a vynikajúce výsledky procesu.

Efektivita a hospodárnosť

Účinnosti až do 80 % umožňujú zníženie nákladov na energie až o 50 %.

Excelentný RF-Arc manažment

Bezpečné riadenie aj náročných a novodobých procesov.

Vysoká robustnosť a stabilita procesu

Technológia CombineLine: spoľahlivá ochrana proti odrazeným výkonom pri chybnom nastavení.

Maximálna flexibilita

Mnohostranné využitie vďaka spojitému alebo pulznému odovzdávaniu výkonu.

Ideálne vhodné na procesy leptania a nanášania

Procesy leptania a nanášania

Vysokofrekvenčné generátory TruPlasma RF Série 3000 sú vhodné najmä na procesy leptania a nanášania na povrchy, napr. leptanie pazmou, reaktívne iónové leptanie, ALD a PECVD.

Ideálne na povrchové úpravy kovových obrobkov

Povrchové úpravy kovových obrobkov

Pomocou procesov plazmy je možné tak nanášať materiál na povrch obrobku ako aj vykonávať jeho úber, napríklad pri vytváraní vrstvy na kovových obrobkoch, chrániacej pred opotrebením alebo pri vytváraní štruktúrovaného povrchu elektronických komponentov pomocou plazmového leptania alebo fotolak-plazmovom spopolnení.

Zdroj prúdu špičkovej triedy na povrchové úpravy plochých obrazoviek

Povrchové úpravy plochých obrazoviek a solárnych článkov

VF generátory TruPlasma RF Série 3000 sú ideálne na procesy plazmy ako RIE, ALD, PECVD a RF pokovovanie rozprašovaním. Tieto procesy sa používajú okrem iného pri vytváraní povrchových vrstiev plochých obrazoviek a solárnych článkov.

- / -
Vysokofrekvenčný výstup          
Výstupný výkon 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Menovitý výkon 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Impendancia pri menovitom zaťažení 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Výstupná frekvencia 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Údaje sieťového pripojenia          
Sieťové napätie 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
Sieťová frekvencia 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
Príkon v sieti 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
Účinník 0,93 0,93 0,93 - -
Komunikačné rozhrania          
Rozhrania Sync Áno Áno Áno Áno Áno
Analógové/digitálne Áno Áno Áno Áno Áno
RS 232 / RS 485 Áno Áno Áno Áno Áno
PROFIBUS Áno Áno Áno Áno Áno
EtherCAT Áno Áno Áno Nie Nie
DeviceNet Áno Áno Áno Áno Áno
Teleso          
Hmotnosť 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
Stupeň ochrany IP 20 20 20 54 54
Požiadavky na chladenie          
Max. tlak vody 7 bar 7 bar 7 bar 6 bar 6 bar
Min. rozdiel tlaku 2 bar 2 bar 2 bar 2,5 bar 2,5 bar
Min. prietokové množstvo 10 l/min 20 l/min 20 l/min 46 l/min 56 l/min
Teplota chladiaceho prostriedku 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
Všeobecne          
Celková účinnosť 78 % 75 % 75 % - -
Certifikáty / štandardy SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
Podmienky okolia          
Vonkajšia teplota 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Vlhkosť vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrický tlak 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technický list

Technické údaje všetkých variantov produktu na stiahnutie.

Integrovaná technológia CombineLine

Najvyššia účinnosť a stabilita procesov

Skrátenie stratového výkonu na polovicu a zníženie spotreby chladiacej kvapaliny vďaka excelentnej účinnosti – tak minimalizujete Vaše prevádzkové náklady. Veľmi robustná konštrukcia generátorov umožňuje dosiahnuť dlhšie prevádzkové časy a tým aj vyššie miery povrchových úprav dokonca aj pri kritických procesoch. Účinne sa zamedzuje odchýlkam plazmy vďaka technológii CombineLine so skutočnou výstupnou impedanciou 50 Ohm – umožňuje to dosahovanie absolútne stabilných procesov.

Vysokofrekvenčný generátor TruPlasma RF 3012

Bezpečnosť za všetkých okolností

Robustná konštrukcia prispieva k maximálnej spoľahlivosti a produktivite Vášho procesu. 100 % ochrana nesprávneho prispôsobenia zaručuje bezpečnú prevádzku aj pri kritických záťažach. Voliteľné spojité alebo pulzné dodávanie výkonu podporuje široké pásmo požiadaviek procesu. Na celom svete je nainštalovaných viac ako 20.000 jednotiek – viac ako každého iného zdroja prúdu plazmy.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.

Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie VF generátora s Vašimi aplikáciami.

Arc manažment

Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a zariadenie.

Softvér TruControl Power príjemný na obsluhu

TruControl Power

Riadiaci softvér TruControl Power príjemný na obsluhu umožňuje komfortné uvedenie do prevádzky a bezpečné sledovanie VF generátora resp. celého TRUMPF RF systému počas priebehu procesu.

Všetky komponenty TRUMPF RF systému sú navzájom optimálne zosúladené.

RF systémové riešenie: Matchbox pre najvyššiu stabilitu procesov
TruPlasma Match Séria 1000 (G2/13)

TruPlasma Match: sieťové systémy prispievajú k optimálnemu prenosu výkonu z generátora do výboja plazmy. Prevádzka adaptačného sieťového systému sa môže vykonávať buď samostatne alebo prostredníctvom inteligentného spojenia generátora a adaptačného sieťového systému, takzvaného SystemPort.

Hlavný oscilátor na stabilizáciu kritických synchrónnych procesov plazmy
Hlavné oscilátory

Pomocou hlavných oscilátorov je možné stabilizovať a optimalizovať kritické synchrónne procesy plazmy. Integrovaný digitálny frekvenčný a fázový syntetizátor prispieva k vysokej stabilite frekvencie a fáz a umožňuje nastavenie dĺžky fáz po veľmi malých krokoch. Možné je zvoliť z rôznych verzií hlavných oscilátorov pre frekvenciu 13,56 MHz ako aj rôzne kombinácie frekvencií.

VF prepínač na využívanie VF generátora pre flexibilné systémy plazmy
VF prepínač

VF prepínač umožňuje viacnásobné využitie VF generátora pre rôzne stanice procesov plazmy, napríklad na dodávku prúdu sekvenčných procesov alebo pri systémoch s rôznymi miestami prípojky. Dostupné sú rôzne VF prepínače vo dvoch výkonových triedach ako aj s 2, 3 alebo 4 výstupmi.

Koaxiálny kábel na prenos špecifikovaného výkonu
Koaxiálny kábel

Na prenos VF výkonu ponúka TRUMPF Hüttinger koaxiálny kábel, ktorý je skonštruovaný špeciálne na prevádzku v 50-ohmových systémoch.

Generátor a adaptačný sieťový systém: Perfektne vzájomne zladené systémové riešenie

Perfektne vzájomne zladené: Generátor a adaptačný sieťový systém

Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.

V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.

Poznámky pod čiarou
  • Teplota chladiacej kvapaliny musí byť vyššia ako rosný bod v miestnosti, aby sa zabránilo kondenzácii.

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

Services_Electronics_TQZ_TRUMPF_Tower
Testovacie a kvalifikačné centrum

V našom testovacom a kvalifikačnom centre (TQZ) sa aplikační inžinieri starajú každý deň o to, aby sa plynulo optimalizovala kvalita našich produktov.

TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
Minimalizované náklady pri maximálnych výsledkoch

TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sú VF generátory najnovšej generácie a ponúkajú najlepšie predpoklady pre stabilné zásobovanie plazmovým prúdom.

Services_Electronics_Training
Individuálne školenia pre zákazníkov sú našou silnou stránkou

Skúsení servisní technici sprostredkujú fundované vedomosti, ktoré sú obsahom ušité na mieru požiadaviek účastníkov.

Kontakt

Klaus Nock
Predaj, Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Na stiahnutie

Brožúra TruPlasma RF Séria 3000
Brožúra TruPlasma RF Séria 3000
pdf - 1 MB
Brožúra TruPlasma RF System
pdf - 6 MB
Servis & Kontakt