Pri poskytovaní tejto stránky používame súbory cookie. Ak naďalej používate túto stránku, bez zmeny nastavení pre súbory cookie, vychádzame z toho, že súhlasíte s používaním súborov cookie.
VHF generátor Séria 3000
VHF generátor Séria 3000
Plazmové vzbudenia
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF Séria 3000

Stvorené na všetky požiadavky

Inovatívna, stavebnicová, nastaviteľná: Nová platforma generátorov firmy TRUMPF Hüttinger

Generátory TruPlasma VHF Série 3000 sú vytvorené na základe inovatívnej koncepcie platformy, ktorá umožňuje najvyššie hustoty výkonu a spĺňa najnáročnejšie požiadavky procesov. Stavebnicová a len vodou chladená konštrukcia umožňuje zmenu výstupného výkonu až na 80 kW. Okrem toho sa kompaktné VHF generátory vyznačujú vysokou hospodárnosťou a robustnou konštrukciou.

Presné a rýchle arbitrárne tvarovanie pulzu

Ponúka najlepšiu kontrolu procesov plazmy k jestvujúcim Single a Multi-Level pulzom.

Minimálna doba rampy < 150 ns

Vďaka tomu je možné veľmi flexibilné riadenie vlastností generátora pri zapaľovaní.

Šikovný Auto Frequency tuning

Automatické nastavenie frekvencie pre vytvorenie optimálnej súhry medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox).

Spoľahlivá a zdokonalená kontrola nad procesom

Excelentné, opakovateľné výsledky procesu vďaka vysoko presnej digitálnej modulácii frekvencie.

Nezávislosť od dĺžky kábla

Nie je potrebné žiadne nastavovanie dĺžky VF kábla pri zmenách procesu, preto sú časy osadzovania kratšie.

Robustná konštrukcia

Spoľahlivá funkcia generátora vďaka technológii CombineLine, aj pri chybnom nastavení.

Typická oblasť použitia TruPlasma VHF Série 3000: výroba solárnych buniek

Výroba solárnych článkov

V oblasti fotovoltaiky je množstvo oblastí použitia pre energiu procesu ušitú na mieru. Používajú sa tu rôzne procesy plazmy pre nános a úber materiálu, napr. pre procesy pokovovania rozprašovaním, PECVD a procesy leptania. Generátory TruPlasma VHF Série 3000 je možné optimálne upraviť pre konkrétny proces, rýchly Arc manažment pritom umožňuje stabilné ovládanie plazmy. Vďaka tomu sú garantované excelentné výsledky procesov a vysoká produktivita.

Ideálne vhodné na procesy leptania a nanášania

Výroba polovodičov

Pri výrobe polovodičov sa používajú rôzne procesy plazmy, od procesov úberu materiálu cez suché leptanie až po ťahanie zóny pri výrobe čistého kremíka. Generátory zariadenia TruPlasma VHF Série 3000 poskytujú všetky predpoklady pre stabilné a na konkrétny proces prispôsobené napájanie elektrickým prúdom, tak aby bolo možné docieliť excelentné, opakovateľné výsledky.

SF zdroj prúdu špičkovej triedy na povrchové úpravy plochých obrazoviek

Ideálne na povrchové úpravy plochých obrazoviek

Generátory TruPlasma VHF Série 3000 sú ideálne na procesy plazmy ako RIE, ALD, PECVD a RF pokovovanie rozprašovaním. Tieto procesy sa používajú okrem iného pri výrobe polovodičových prvkov a mikromechanických systémov (MEMS) ako aj pri vytváraní povrchových vrstiev plochých obrazoviek a solárnych článkov.

- / -
TruPlasma VHF 3005
Vysokofrekvenčný výstup  
Výstupný výkon 5 kW
Menovitý výkon 5 kW
Impendancia pri menovitom zaťažení 50 Ω
Výstupná frekvencia 40,68 MHz
Údaje sieťového pripojenia  
Sieťové napätie 200 - 480 V
Sieťová frekvencia 50-60 Hz
Príkon v sieti 18 kVA
Účinník 0,95
Komunikačné rozhrania  
Rozhrania Sync Áno
Analógové/digitálne Áno
RS 232 / RS 485 Áno
PROFIBUS Áno
EtherCAT Áno
DeviceNet Áno
Teleso  
Hmotnosť 55 kg
Stupeň ochrany IP 30
Požiadavky na chladenie  
Max. tlak vody 7 bar
Min. rozdiel tlaku 2 bar
Min. prietokové množstvo 8 l/min
Teplota chladiaceho prostriedku 5 °C - 35 °C 1
Všeobecne  
Celková účinnosť 75 %
Certifikáty / štandardy Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
Podmienky okolia  
Vonkajšia teplota 5 °C - 40 °C
Vlhkosť vzduchu 5 % - 85 %
Barometrický tlak 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technický list

Technické údaje všetkých variantov produktu na stiahnutie.

Technológia combine-line pre TruPlasma VHF Série 3000

Flexibilné prispôsobenie k procesu

Stavebnicová koncepcia platformy zariadenia TruPlasma VHF Série 3000 umožňuje nastavenie výstupného výkonu až na 80 kW. Vďaka implementovanej technológii CombineLine sa generátor správa aj pri chybnom nastavení veľmi robustne. Jeho ďalšia frekvenčná oblasť ako aj premenné sieťové napätie a dĺžka káblov umožňujú flexibilné nastavenbie pre rôzne aplikácie a krajiny nasadenia.

VF generátor pre paralelné oscilačné obvody

Najvyššia efektivita a hospodárnosť

VF generátory TruPlasma VHF Série 3000 sú celé vybudované v najmodernejšej polovodičovej technike s výkonovými tranzistormi LDMOS. Planárna konštrukčná technika s veľkou integrácikou umožňuje najvyššie hustoty výkonu súčasne pri vysokej energetickej efektivite a patrične zníženému chladiacemu výkonu. Vďaka tomu ponúka táto séria v tejto frekvenčnej oblasti doposiaľ nedosiahnutú hospodárnosť a znižuje prevádzkové náklady bežné na trhu.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPort umožňuje uzatvorený regulačný okruh pomocou merania RF signálu priamo na vstupe a výstupe adaptačného sieťového systému. RF generátor má k dispozícii všetky namerané hodnoty. Vďaka tomu môžete lepšie sledovať parametre procesu, chrániť adaptačný sieťový systém a zaručiť včasné rozpoznanie Arc. Kompletný RF systém je teda možné riadiť prostredníctvom jednotlivých prípojok generátora.

Rozličné doplnkové výbavy Vám umožňujú optimálne zladenie VHF generátora s Vašimi aplikáciami.

Smart Auto Frequency Tuning

Patentované riešenie Auto Freuquency Tuning umožňuje simultánne a rýchle nastavenie frekvencie a garantuje optimálnu súhru medzi generátorom a adaptačným sieťovým systémom (matchbox). Vďaka tejto patentovanej technike už lokálne minimum nie je žiadnou prekážkou: RF systém sa privedie na optimum a tak umožní najlepšie výsledky procesu a vysokú opakovateľnosť.

Arc manažment

Premyslený Arc manažment je ideálnym modulom pre najlepšiu kontrolu procesov plazmy. Cielené rozpoznanie Arc garantuje najvyššiu možnú produktivitu a zároveň chráni produkt a Vaše zariadenie.

Flexibilné tvarovanie pulzu

Flexibilné tvarovanie pulzu: Tvar výstupného signálu je možné nastaviť ľubovoľne podľa konkrétnych požiadaviek procesu.

Softvér TruControl Power príjemný na obsluhu

TruControl Power

Riadiaci softvér TruControl Power príjemný na obsluhu umožňuje komfortné uvedenie do prevádzky a bezpečné sledovanie VF generátora resp. celého TRUMPF RF systému počas priebehu procesu.

Voľbou vhodných komponentov systému môžete optimálne prispôsobiť VHF generátor podľa požiadaviek Vašich aplikácií.

RF systémové riešenie: Matchbox pre najvyššiu stabilitu procesov
Matchbox

TruPlasma Match: sieťové systémy prispievajú k optimálnemu prenosu výkonu z generátora do výboja plazmy. Prevádzka adaptačného sieťového systému sa môže vykonávať buď samostatne alebo prostredníctvom inteligentného spojenia generátora a adaptačného sieťového systému, takzvaného SystemPort.

Sada príslušenstva TruPlasma Séria VHF
Sada príslušenstva

Sadu tvorí adaptér pre vodné prípojky, sada pre zdroj HARTING AC, spojka (jumper) pre funkciu Interlock, adaptér z LEMO EPL na BNC female (pre konektor Clock a Pulse sync)

Hlavný oscilátor na stabilizáciu kritických synchrónnych procesov plazmy
Hlavné oscilátory

Pomocou hlavných oscilátorov je možné stabilizovať a optimalizovať kritické synchrónne procesy plazmy. Integrovaný digitálny frekvenčný a fázový syntetizátor prispieva k vysokej stabilite frekvencie a fáz a umožňuje nastavenie dĺžky fáz po veľmi malých krokoch. Možné je zvoliť z rôznych verzií hlavných oscilátorov pre frekvenciu 13,56 MHz ako aj rôzne kombinácie frekvencií.

VHF generátor Séria 3000
VF prepínač

VF prepínač umožňuje viacnásobné využitie VF generátora pre rôzne stanice procesov plazmy, napríklad na dodávku prúdu sekvenčných procesov alebo pri systémoch s rôznymi miestami prípojky. Dostupné sú rôzne VF prepínače vo dvoch výkonových triedach ako aj s 2, 3 alebo 4 výstupmi.

Koaxiálny kábel na prenos špecifikovaného výkonu
Koaxiálny kábel

Na prenos VF výkonu ponúka TRUMPF Hüttinger koaxiálny kábel, ktorý je skonštruovaný špeciálne na prevádzku v 50-ohmových systémoch.

Generátor a adaptačný sieťový systém: Perfektne vzájomne zladené systémové riešenie

Perfektne vzájomne zladené: TRUMPF RF systém

Plazmové procesy sa správajú ako zložitá, premenlivá záťaž, ktorá musí plynulo nasledovať zdroj prúdu cez generátor. Starajú sa o to aktívne adaptačné sieťové systémy, tzv. matchbox, ktoré v každom momente zabezpečujú presné nastavenie pre optimálnu impedanciu 50 Ohm. Vzniká tak perfektne vzájomne zosúladené systémové riešenie, TRUMPF RF systém. Pomocou rôznych prípojok, o.i. EtherCAT, môžete generátor a Matchbox veľmi jednoducho integrovať do Vášho jestvujúceho prostredia procesov a vďaka inteligentnému spojeniu generátora a adaptačného sieťového systému , takzvaného SystemPort, dosiahnuť optimálne systémové riešenie.

V závislosti od krajiny sú možné odchýlky od tohto sortimentu produktov. Zmeny v technike, výbave, cene a ponuke príslušenstva sú vyhradené. Skontaktujte sa prosím s kontaktnou osobou u Vášho lokálneho partnera, ak si chcete overiť, či je produkt dostupný vo Vašej krajine.

Poznámky pod čiarou
  • Teplota chladiacej kvapaliny musí byť vyššia ako rosný bod v miestnosti, aby sa zabránilo kondenzácii.

Tieto témy by mohli zaujímať aj Vás

Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
Napájanie elektrickým prúdom pre Váš proces plazmy

Plazmové generátory TRUMPF Hüttinger ponúkajú široké výkonové a frekvenčné spektrum. Informujte sa tu o našich produktoch.

RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
Inteligentné párovanie meraním v reálnom čase

Nové adaptačné sieťové systémy pre TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) optimálne dopĺňajú naše RF generátory a dopomáhajú k celkovému riešeniu: RF systému TRUMPF.

Services_Electronics_Training
Individuálne školenia pre zákazníkov sú našou silnou stránkou

Skúsení servisní technici sprostredkujú fundované vedomosti, ktoré sú obsahom ušité na mieru požiadaviek účastníkov.

Kontakt

Klaus Nock
Predaj, Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Na stiahnutie

Brožúra TruPlasma RF System
Brožúra TruPlasma RF System
pdf - 6 MB
Leták TruPlasma VHF Séria 3000
pdf - 1 MB
Servis & Kontakt