Den senaste generationens kompakta likströmsgeneratorer
TruPlasma DC Serie 3000 (G2) är lämpliga för många olika DC-sputtringsprocesser – även som ersättning för pulsade procesströmförsörjningar. Detta beror på att den progressiva båghanteringen garanterar bästa skiktkvaliteter och en märkbar ökning av produktionsavkastningen. På grund av den ytterst kompakta konstruktionen kan vattenkylda likströmsgeneratorer mycket enkelt integreras i den befintliga tillämpningen.
Restenergier på < 0,3 mJ/kW garanterar bästa lagerkvalitet och höga deponeringshastigheter.
Mycket kompakt konstruktion (19-tums pluginenhet), därmed enkel integrering även vid högre effekter.
Uteffekter på 20 kW till 300 kW och kan därmed även ersätta större generatorer.
Möjliggör långa systemkörtider och minskar underhållskostnaderna.
Variabel nätspänning (400 V till 480 V) och olika datagränssnitt.
Hårdmaterialbeläggning
Applicering av funktionella skikt med hjälp av DC-magnetron-sputtring ger arbetsstycken som utsätts för hårda påfrestningar en hårdare yta och statisk friktion samt bättre termisk och kemisk stabilitet. Likströmsgeneratorerna i TruPlasma DC Serie 3000 (G2) försäkrar en stabil plasmaprocess och därmed för en optimal beläggningskvalitet.
Metallbeläggning
Med en PVD-process kan papperstunna lager av metall appliceras på olika material för att ge dem bästa möjliga optiska och elektriska egenskaper. En strömförsörjning som är optimalt anpassad till processparametrarna möjliggör deponering av absolut homogena skikt utan defekter.
Solcellstillverkning
För att påverka deras elektriska egenskaper beläggs solceller, men även plattskärmar och pekskärmar, med elektriskt ledande material (TCO). På grund av dess mycket låga båg-restenergi är likströmsgeneratorerna i TruPlasma DC Serie 3000 (G2) bäst lämpade för detta.
Arkitekturglas
Beläggning av stora ytor på arkitekturglas i en DC-sputtringsprocess ställer ett mycket högt krav på procesströmförsörjningen. Likströmsgeneratorerna i TruPlasma DC Serie 3000 (G2) erbjuder perfekta förutsättningar för förstklassiga beläggningsresultat.
|
TruPlasma DC 3020 (G2)
Jämför produkt
|
TruPlasma DC 3030 (G2)
Jämför produkt
|
TruPlasma DC 3040 (G2)
Jämför produkt
|
TruPlasma DC 3060 (G2)
Jämför produkt
|
TruPlasma DC 3080 (G2)
Jämför produkt
|
TruPlasma DC 3120 (G2)
Jämför produkt
|
TruPlasma DC 3160 (G2)
Jämför produkt
|
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Utgång | |||||||
| Märkeffekt | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| Maximal utgångsström | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| Maximal utgångsspänning | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| Arc-parametrar | |||||||
| Maximal Arc-hastighet | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | - | - | - |
| Arc energi | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | - | - | - |
| Arc-behandlingstid | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | - | - | - |
| Tändspänningar | |||||||
| med tändhjälp | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| utan tändhjälp | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| Nätanslutningsdata | |||||||
| Nätspänning | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| Nätfrekvens | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| Kommunikationssnittställen | |||||||
| Analog/digital | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| Chassi | |||||||
| Vikt | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| Kapslingsklass IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| Kylarkrav | |||||||
| Kylvätska | Vatten | Vatten | Vatten | - | - | - | - |
| Max. vattentryck | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| Lägsta tryckskillnad | 1,5 bar | 1,5 bar | 1,5 bar | - | - | - | - |
| Min. flödesmängd | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| Temperatur kylvätska | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| DC anslutningsdata | |||||||
| Antal terminaler | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| Märkström / terminal | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| Allmänt | |||||||
| Total verkningsgrad | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| Certifikat / standarder | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| Omgivningsvillkor | |||||||
| Yttertemperatur | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| Luftfuktighet | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| Barometriskt tryck | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
|
TruPlasma DC 3020 (G2)
|
TruPlasma DC 3030 (G2)
|
TruPlasma DC 3040 (G2)
|
TruPlasma DC 3060 (G2)
|
TruPlasma DC 3080 (G2)
|
TruPlasma DC 3120 (G2)
|
TruPlasma DC 3160 (G2)
|
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Utgång | |||||||
| Märkeffekt | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| Maximal utgångsström | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| Maximal utgångsspänning | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| Arc-parametrar | |||||||
| Maximal Arc-hastighet | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | - | - | - |
| Arc energi | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | - | - | - |
| Arc-behandlingstid | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs | - | - | - |
| Tändspänningar | |||||||
| med tändhjälp | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| utan tändhjälp | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| Nätanslutningsdata | |||||||
| Nätspänning | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| Nätfrekvens | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| Kommunikationssnittställen | |||||||
| Analog/digital | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja | - | - | - | - |
| Chassi | |||||||
| Vikt | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| Kapslingsklass IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| Kylarkrav | |||||||
| Kylvätska | Vatten | Vatten | Vatten | - | - | - | - |
| Max. vattentryck | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| Lägsta tryckskillnad | 1,5 bar | 1,5 bar | 1,5 bar | - | - | - | - |
| Min. flödesmängd | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| Temperatur kylvätska | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| DC anslutningsdata | |||||||
| Antal terminaler | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| Märkström / terminal | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| Allmänt | |||||||
| Total verkningsgrad | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| Certifikat / standarder | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| Omgivningsvillkor | |||||||
| Yttertemperatur | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| Luftfuktighet | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| Barometriskt tryck | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
Tekniska data för alla produktvarianter för nerladdning.
Kostnadseffektiva alternativ till pulsade generatorer
Tack vare den moderna båghanteringen har likströmsgeneratorerna i TruPlasma DC Serie 3000 (G2) visat att de klarar många sputtringsprocesser. Som kostnadseffektivt alternativ till pulsade DC-generatorer ger de dessutom avsevärt högre produktionsavkastning.
Kompakt alternativ för högre effekter
Trots den mycketkompakta konstruktionen överträffar likströmsgeneratorerna i TruPlasma DC Serie 3000 (G2) även avsevärt större generatorer när det gäller lagerkvalitet och produktivitet. Därmed är de ett kompakt och lättintegrerat alternativ även för höga uteffekter på mer än 60 kW.
Vattenkylning för längre systemkörtider
Likströmsgeneratorerna i TruPlasma DC Serie 3000 (G2) är utrustade med fullständig vattenkylning. Jämfört med aggregat med luftkylning möjliggör dessa längre systemkörtid, minskar underhållskostnaderna och förhindrar nedsmutsning till följd av dammpartiklar.
Olika tillval möjliggör en optimal anpassning av likströmsgeneratorn till er applikation.
Flera likströmsgeneratorer i TruPlasma DC Serie 3000 (G2) kan drivas synkront. Detta läge möjliggör synkronisering av båg-detekteringen för flera generatorer som är riktade på olika mål. Även pulsläget kan synkroniseras. Om det finns behov av hög uteffekt är det möjligt att parallellkoppla upp till fem TruPlasma DC 3030-generatorer. Dessa fungerar som en TruPlasma DC 3150-enhet.
Vattenventilstyrningen reglerar kylvattenflödet för att förhindra kondens och samtidigt skydda generatorn mot överhettning.
EtherCat-, samt EtherNET/IP-gränssnitt, möjliggör en enkel integrering av TruPlasma DC Serie 3000 (G2) i befintliga anläggningar.
PVD Power
Den lättanvända flerspråkiga programvaran PVD Power erbjuder flera möjligheter för manövrering, konfiguration och diagnos för optimering av processkvaliteten och effektiv felsökning: visning av aktuella värden för alla relevanta processparametrar samt varning och alarm, specifikationer av nominella värden av operatören samt registrering och visualisering av viktiga driftparametrar med hög timlig upplösning (oscilloskopfunktion).
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
