Lands-/region- och språkval
Generator i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)
Generator i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)
Plasmastimulering
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)

Överlägsna beläggningsresultat tack vare plasma med extremt hög densitet

Det första valet för HiPIMS-tillämpningar

Generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) kan utan modifiering användas i befintliga magnetronsystem som alternativ till DC-fräsgeneratorer. De levererar mycket korrosionsbeständiga och slitfasta hårdmaterialbeläggningar och är därför det första valet för HiPIMS-tillämpningar (High Power Impulse Magnetron Sputtering).

Felfria beläggningsresultat

Felfria toppeffekter på upp till 4 MW skapar extrem plasmatäthet med höga jonflöden.

Flexibel användning

Den enkla anpassningen till befintliga katodsystem och processförhållanden möjliggör optimal integrering av enheten.

Det första valet för HiPIMS-tillämpningar

Som den senaste utvecklingen inom pulsade PVD-fräsprocesser erbjuder HiPIMS särskilt korrosionsbeständiga och slitstarka hårdmaterialbeläggningar.

För många olika tillämpningar

Kan även användas i DC-läge, kräver inte någon ytterligare DC-generator.

Generatorn i TruPlasma Highpulse Serie 4000 G2 under användning

Hårdmaterialbeläggningar

Applicering av funktionella skikt ger arbetsstycken som utsätts för hårda påfrestningar en hårdare yta och statisk friktion samt bättre termisk och kemisk stabilitet. Generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) försäkrar ytterst stabil plasmaprocess och därmed enastående beläggningskvalitet.

Solcellstillverkning

Halvledare/solceller

Inom solcells- och halvledarområdet finns det många olika användningsområden för skräddarsydd processenergi. Generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) kan anpassas optimalt för den aktuella processen och möjliggör enastående beläggningsparametrar och hög produktivitet.

Perfekt för beläggning av stora ytor

Glasbeläggningar

Beläggning av stora ytor på arkitekturglas i en PVD-plasmaprocess ställer höga krav på procesströmförsörjningen. Generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) erbjuder perfekta förutsättningar för förstklassiga beläggningsresultat.

Arkitekturglas

Optimala processresultat

Höga toppeffekter alstrar högjoniserad plasma och möjliggör höga jonflöden. Därmed kan man erhålla mycket koherenta och täta filmer utan droppar. I kombination med polariserade substratkonfigurationer erbjuder generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) överlägsna resultat inom etsning och trenchfyllning

Båghantering

Fullständigt digital båghantering

Inställbar pulslängd och pulsfrekvens, utökade effektparametrar och fullständigt digital båghantering med mycket låg bågenergi möjliggör droppfri fräsning, minimala filmdefekter och garanterar hög beläggningskvalitet och avskiljningsgrad.

HF-generator för parallellresonanskretsar

Stora beläggningar

Hög energi och hög spänning på upp till 2 kV möjliggör tillverkning av förstklassiga beläggningar – såväl i små laboratorier som i stora industrianläggningar. Pulser på upp till 5 ms och frekvenser på upp till 10 kHz ökar avskiljningsgraden och bidrar till lägre totala driftskostnader.

Solcellstillverkning

Hög processtabilitet

Effektstyrningen med inställbar frekvens försäkrar att avskiljningsparametrarna hålls konstant även vid krävande reaktiva processer. Därmed blir processen stabil över timmar och dagar, utan behov av ingrepp.

En kompakt enhet

Generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie är en enhet i kompakt storlek. De behöver inte någon extern likströmsförsörjning, är helt vattenkylda och möjliggör arbeten i renrum.

Olika tillval garanterar en optimal anpassning av TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) efter er tillämpning.

Omvänd spänning
Båghantering CompensateLine (CLC)

Fullständigt digital båghantering med mycket låg bågenergi möjliggör hög beläggningskvalitet och avskiljningsgrad.

Grafiskt styrprogram PVD Power

PVD Power

Den lättanvända flerspråkiga programvaran PVD Power erbjuder flera möjligheter för manövrering, konfiguration och diagnos för optimering av processkvaliteten och effektiv felsökning: visning av aktuella värden för alla relevanta processparametrar samt varning och alarm, specifikationer av nominella värden av operatören samt registrering och visualisering av viktiga driftparametrar med hög timlig upplösning (oscilloskopfunktion).

Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.

Whitepaper

HiPIMS

Nerladdning av Whitepaper




Dessa teman kan kanske också intressera dig

Kontakt
Nikolas Hunzinger
Försäljning TRUMPF Hüttinger
E-post
Services
Service avtal Ta reda på mer Technical Service Ta reda på mer Training courses Ta reda på mer Orginaldelar Ta reda på mer
Nerladdningar
Service och kontakt