Det första valet för HiPIMS-tillämpningar
Generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) kan utan modifiering användas i befintliga magnetronsystem som alternativ till DC-fräsgeneratorer. De levererar mycket korrosionsbeständiga och slitfasta hårdmaterialbeläggningar och är därför det första valet för HiPIMS-tillämpningar (High Power Impulse Magnetron Sputtering).
Felfria toppeffekter på upp till 4 MW skapar extrem plasmatäthet med höga jonflöden.
Den enkla anpassningen till befintliga katodsystem och processförhållanden möjliggör optimal integrering av enheten.
Som den senaste utvecklingen inom pulsade PVD-fräsprocesser erbjuder HiPIMS särskilt korrosionsbeständiga och slitstarka hårdmaterialbeläggningar.
Kan även användas i DC-läge, kräver inte någon ytterligare DC-generator.
Hårdmaterialbeläggningar
Applicering av funktionella skikt ger arbetsstycken som utsätts för hårda påfrestningar en hårdare yta och statisk friktion samt bättre termisk och kemisk stabilitet. Generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) försäkrar ytterst stabil plasmaprocess och därmed enastående beläggningskvalitet.
Halvledare/solceller
Inom solcells- och halvledarområdet finns det många olika användningsområden för skräddarsydd processenergi. Generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) kan anpassas optimalt för den aktuella processen och möjliggör enastående beläggningsparametrar och hög produktivitet.
Glasbeläggningar
Beläggning av stora ytor på arkitekturglas i en PVD-plasmaprocess ställer höga krav på procesströmförsörjningen. Generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) erbjuder perfekta förutsättningar för förstklassiga beläggningsresultat.
Optimala processresultat
Höga toppeffekter alstrar högjoniserad plasma och möjliggör höga jonflöden. Därmed kan man erhålla mycket koherenta och täta filmer utan droppar. I kombination med polariserade substratkonfigurationer erbjuder generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) överlägsna resultat inom etsning och trenchfyllning
Fullständigt digital båghantering
Inställbar pulslängd och pulsfrekvens, utökade effektparametrar och fullständigt digital båghantering med mycket låg bågenergi möjliggör droppfri fräsning, minimala filmdefekter och garanterar hög beläggningskvalitet och avskiljningsgrad.
Stora beläggningar
Hög energi och hög spänning på upp till 2 kV möjliggör tillverkning av förstklassiga beläggningar – såväl i små laboratorier som i stora industrianläggningar. Pulser på upp till 5 ms och frekvenser på upp till 10 kHz ökar avskiljningsgraden och bidrar till lägre totala driftskostnader.
Hög processtabilitet
Effektstyrningen med inställbar frekvens försäkrar att avskiljningsparametrarna hålls konstant även vid krävande reaktiva processer. Därmed blir processen stabil över timmar och dagar, utan behov av ingrepp.
En kompakt enhet
Generatorerna i TruPlasma Highpulse Serie är en enhet i kompakt storlek. De behöver inte någon extern likströmsförsörjning, är helt vattenkylda och möjliggör arbeten i renrum.
Olika tillval garanterar en optimal anpassning av TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) efter er tillämpning.
Fullständigt digital båghantering med mycket låg bågenergi möjliggör hög beläggningskvalitet och avskiljningsgrad.
PVD Power
Den lättanvända flerspråkiga programvaran PVD Power erbjuder flera möjligheter för manövrering, konfiguration och diagnos för optimering av processkvaliteten och effektiv felsökning: visning av aktuella värden för alla relevanta processparametrar samt varning och alarm, specifikationer av nominella värden av operatören samt registrering och visualisering av viktiga driftparametrar med hög timlig upplösning (oscilloskopfunktion).
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
