Lands-/region- och språkval
RF-systemlösning: Anpassningsnätverk för maximal processtabilitet
RF-systemlösning: Anpassningsnätverk för maximal processtabilitet
Plasmastimulering
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Intelligent anpassning genom realtidsmätning

RF-systemlösning från en enda källa

De nya anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) utgör den perfekta kompletteringen till HF-generatorer från TRUMPF Hüttinger. Tack vare den intelligenta anpassningsalgoritmen och den digitala styrplattformen för processövervakning uppstår en enhetlig lösning där alla komponenter samverkar optimalt – TRUMPF RF-systemet.

Intelligent anpassningsalgoritm

Snabb, stabil och reproducerbar impedansanpassning till 50 ohm även i kritiska processer.

Hela systemet samverkar optimalt

Progressiv programvara och förbättrad kommunikation mellan generator och anpassningsnätverk.

Realtidsmätning av HF-effekten

Snabb systemspårning vid varje impedansförändring från anpassningsnätverket och lasten.

Sluten reglerkrets

Optimal övervakning av processparametrarna samt tidig bågdetektering.

Användarvänlig processkontroll

Grafiskt användargränssnitt och effektiva verktyg (Smith-diagram, realtids-oscilloskop).

RF-systemlösning: Anpassningsnätverk för maximal processtabilitet

Tillverkning av halvledare, solceller och plattskärmar

Vid tillverkningen av halvledare, solceller och plattskärmar är det viktigt med stabila plasmaprocesser. Tillsammans med TRUMPF Hüttinger HF-generatorer erbjuder anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) en helhetslösning för högsta processtabilitet och produktivitet.

Hjälp vid hårdmaterialbeläggningar: anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Applicering av hårdmaterial och slitskyddslager

Applicering av funktionella skikt ger arbetsstycken som utsätts för hårda påfrestningar en ökad mekanisk hårdhet samt bättre termisk och kemisk stabilitet. Tillsammans med en HF-generator från TRUMPF Hüttinger säkerställer anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) en perfekt beläggningskvalitet.

Perfekt lämpade för beläggning av stora ytor: anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Ablation och beläggning av ytor

Anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) kan användas i alla vanliga plasmaprocesser för beläggning eller ablation – till exempel plasmaetsning, reaktiv jonetsning, ALD, PECVD, RF-sputtring eller fotolack-plasmaförbränning. Tillsammans med en HF-generator från TRUMPF Hüttinger erhålls optimala processresultat.

RF utgång      
Utgångseffekt 1 kW 3 kW 6 kW 12 kW 24 kW
Märkeffekt 1 kW 3 kW 6 kW 12 kW 24 kW
Utgångsfrekvens 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Nätanslutningsdata      
Nätspänning (±10%) 23,5 V - 24,5 V (±10%) 23,5 V - 24,5 V (±10%) 23,5 V - 24,5 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 87 V - 264 V
Nätfrekvens 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz
Kommunikationssnittställen      
Sync snittställen Ja Ja Ja Ja Ja
Analog/digital Ja Ja Ja Ja Ja
RS 232 / RS 485 Ja Ja Ja Ja Ja
PROFIBUS Ja Ja Ja Ja Ja
EtherCAT Ja Ja Ja Ja Ja
DeviceNet Nej Nej Nej Nej Nej
Chassi      
Vikt 10 kg 15 kg 8 kg 27 kg 30 kg
Kapslingsklass IP 21 21 21 21 21
Kylarkrav      
Max. vattentryck - - - 6 bar 6 bar
Lägsta tryckskillnad - - - 1,5 bar 1,5 bar
Min. flödesmängd - - - 3,5 l/min 5 l/min
Temperatur kylvätska - - - 10 °C - 30 °C 1 10 °C - 30 °C 1
Allmänt      
Certifikat / standarder CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47
Omgivningsvillkor      
Yttertemperatur 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C
Luftfuktighet 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 %
Barometriskt tryck 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa
Garanterar alltid full uteffekt från HF-generatorn

Alltid perfekt processkontroll

Anpassningsnätverket sörjer hela tiden för en snabb och direkt impedansanpassning till 50 ohm – därmed garanteras alltid full uteffekt från HF-generatorn till processen. Den skarvfria kommunikationen mellan anpassningsnätverk och generator möjliggör optimal processövervakning och tidig bågdetektering.

Användarvänligt program TruControl Power

En översikt över alla parametrar

Realtidsmätningen av HF-in- och uteffekt signalerar dynamiska impedansändringar, kylningsgivare möjliggör en tillförlitlig prognos över effektförlusterna. Tack vare det grafiska styrprogrammet med komplexa visningsalternativ (Smith-diagram, realtids-oscilloskop) har du alltid översikt över alla relevanta processparametrar.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPorten möjliggör ett slutna reglerkretsar genom att RF-signalen mäts direkt vid ingången och utgången från anpassningsnätverket. Alla uppmätta värden är tillgängliga för RF-generatorn. Det möjliggör bättre övervakning av processparametrarna, skydd av anpassningsnätverket och tidig båg-detektering. Hela RF-systemet kan även styras via ett enda generatorgränssnitt.

Olika tillval möjliggör optimal anpassning av TRUMPF RF-systemet till er applikation.

HF-strömmätning

Mycket exakt AC-strömmätning för detektering av plasmaanomalier, placerad i anpassningsnätverket nära processen, direkt vid kammaren.

Båghantering

Den genomtänkta båghanteringen är den perfekta modulen för bästa plasmaprocesskontroll. En riktad bågdetektering garanterar högsta möjliga produktivitet och skyddar samtidigt produkten och anläggningen.

Gränssnitt

Som alternativa gränssnitt finns analog/digital, PROFIBUS och EtherCAT. Standard är EtherNet, SystemPort och RS232/485.

Användarvänligt program TruControl Power

TruControl Power

Det lättanvända styrprogrammet TruControl Power möjliggör bekväm idrifttagning och säker övervakning av HF-generatorn samt hela TRUMPF RF-system under pågående process.

Användarvänligt program TruControl Power

Grafiskt styrprogram

Komplexa grafiska avbildningar möjliggör en omfattande kontroll över alla relevanta processparametrar. Impedansen hos last och anpassningsnätverk visualiseras med hjälp av ett Smith-diagram, HF in- och utgångseffekt inklusive frekvens- och fasläge med hjälp av ett realtids-oscilloskop.

TRUMPF RF-systemet som består av generator och anpassningsnätverk, bildar ett helt system som är perfekt anpassade till varandra för bästa processresultat.

Användarvänligt program TruControl Power
Grafiskt styrprogram

Komplexa grafiska avbildningar möjliggör en omfattande kontroll över alla relevanta processparametrar. Impedansen hos last och anpassningsnätverk visualiseras med hjälp av ett Smith-diagram, HF in- och utgångseffekt inklusive frekvens- och fasläge med hjälp av ett realtids-oscilloskop.

Masteroscillator för stabilisering av kritiska synkrona plasmaprocesser
Master-oscillatorer

Med hjälp av master-oscillatorer kan man stabilisera och optimera kritiska synkrona plasmaprocesser. En integrerad digital frekvens- och fassynthesizer försäkrar hög frekvens- och fasstabilitet och möjliggör inställning av fasläget med mycket små steg. Det finns olika masteroscillatorer tillgängliga för frekvensen 13,56 Mhz samt olika frekvenskombinationer att välja mellan.

HF-omkopplare för användning av en HF-generator i flexibla plasmasystem
HF-omkopplare

En HF-omkopplare möjliggör flerfaldig användning av en HF-generator till olika plasmaprocesstationer, till exempel för strömförsörjning av sekventiella processer eller system med olika inmatningspunkter. Det finns olika HF-omkopplare i två effektklasser samt med 2, 3 eller 4 utgångar.

Koaxialkabel för överföring av den specificerade effekten
Koaxialkabel

För HF-effektöverföring har TRUMPF Hüttinger koaxialkabeln som är konstruerad speciellt för drift i 50 ohmssystem.

Generator och anpassningsnätverk: en perfekt anpassad systemlösning

Behärska plasmaprocessen optimalt

Plasmaprocesser uppför sig som en komplex, variabel last, till vilken strömförsörjningen från generatorn kontinuerligt måste justeras. Detta klarar aktiva anpassningsnätverk, som hela tiden säkerställer en exakt anpassning till den optimala impedansen på 50 ohm. Därmed uppstår en perfekt anpassad systemlösning, TRUMPF RF-systemet. Generatorn och anpassningsnätverket kan enkelt integreras i din befintliga processomgivning via olika gränssnitt, bland annat EtherCAT. Du kan även erhålla en optimerad systemlösning genom SystemPort, en intelligent anslutning mellan generatorn och anpassningsnätverket.

Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.

Fotnoter
  • Kylvattentemperaturen måste vara högre än daggpunkten i rummet för att undvika att det bildas kondens.

Dessa teman kan kanske också intressera dig

Kontakt
Nikolas Hunzinger
Försäljning TRUMPF Hüttinger
E-post
Services
Service avtal Ta reda på mer Technical Service Ta reda på mer Training courses Ta reda på mer Orginaldelar Ta reda på mer
Nerladdningar
Service och kontakt