RF-systemlösning från en enda källa
De nya anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) utgör den perfekta kompletteringen till HF-generatorer från TRUMPF Hüttinger. Tack vare den intelligenta anpassningsalgoritmen och den digitala styrplattformen för processövervakning uppstår en enhetlig lösning där alla komponenter samverkar optimalt – TRUMPF RF-systemet.
Snabb, stabil och reproducerbar impedansanpassning till 50 ohm även i kritiska processer.
Progressiv programvara och förbättrad kommunikation mellan generator och anpassningsnätverk.
Snabb systemspårning vid varje impedansförändring från anpassningsnätverket och lasten.
Optimal övervakning av processparametrarna samt tidig bågdetektering.
Grafiskt användargränssnitt och effektiva verktyg (Smith-diagram, realtids-oscilloskop).
Tillverkning av halvledare, solceller och plattskärmar
Vid tillverkningen av halvledare, solceller och plattskärmar är det viktigt med stabila plasmaprocesser. Tillsammans med TRUMPF Hüttinger HF-generatorer erbjuder anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) en helhetslösning för högsta processtabilitet och produktivitet.
Applicering av hårdmaterial och slitskyddslager
Applicering av funktionella skikt ger arbetsstycken som utsätts för hårda påfrestningar en ökad mekanisk hårdhet samt bättre termisk och kemisk stabilitet. Tillsammans med en HF-generator från TRUMPF Hüttinger säkerställer anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) en perfekt beläggningskvalitet.
Ablation och beläggning av ytor
Anpassningsnätverken i TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) kan användas i alla vanliga plasmaprocesser för beläggning eller ablation – till exempel plasmaetsning, reaktiv jonetsning, ALD, PECVD, RF-sputtring eller fotolack-plasmaförbränning. Tillsammans med en HF-generator från TRUMPF Hüttinger erhålls optimala processresultat.
|
TruPlasma Match 1000 1 kW
Jämför produkt
|
TruPlasma Match 1000 3 kW
Jämför produkt
|
TruPlasma Match 1000 6 kW
Jämför produkt
|
TruPlasma Match 1000 12 kW
Jämför produkt
|
TruPlasma Match 1000 24 kW
Jämför produkt
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| RF utgång | |||||
| Utgångseffekt | 1 kW | 3 kW | 6 kW | 12 kW | 24 kW |
| Märkeffekt | 1 kW | 3 kW | 6 kW | 12 kW | 24 kW |
| Utgångsfrekvens | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Nätanslutningsdata | |||||
| Nätspänning | (±10%) 23,5 V - 24,5 V | (±10%) 23,5 V - 24,5 V | (±10%) 23,5 V - 24,5 V | (±10%) 87 V - 264 V | (±10%) 87 V - 264 V |
| Nätfrekvens | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz |
| Kommunikationssnittställen | |||||
| Sync snittställen | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| Analog/digital | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| DeviceNet | Nej | Nej | Nej | Nej | Nej |
| Chassi | |||||
| Vikt | 10 kg | 15 kg | 8 kg | 27 kg | 30 kg |
| Kapslingsklass IP | 21 | 21 | 21 | 21 | 21 |
| Kylarkrav | |||||
| Max. vattentryck | - | - | - | 6 bar | 6 bar |
| Lägsta tryckskillnad | - | - | - | 1,5 bar | 1,5 bar |
| Min. flödesmängd | - | - | - | 3,5 l/min | 5 l/min |
| Temperatur kylvätska | - | - | - | 10 °C - 30 °C 1 | 10 °C - 30 °C 1 |
| Allmänt | |||||
| Certifikat / standarder | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 |
| Omgivningsvillkor | |||||
| Yttertemperatur | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C |
| Luftfuktighet | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % |
| Barometriskt tryck | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa |
|
TruPlasma Match 1000 1 kW
|
TruPlasma Match 1000 3 kW
|
TruPlasma Match 1000 6 kW
|
TruPlasma Match 1000 12 kW
|
TruPlasma Match 1000 24 kW
|
|
|---|---|---|---|---|---|
| RF utgång | |||||
| Utgångseffekt | 1 kW | 3 kW | 6 kW | 12 kW | 24 kW |
| Märkeffekt | 1 kW | 3 kW | 6 kW | 12 kW | 24 kW |
| Utgångsfrekvens | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Nätanslutningsdata | |||||
| Nätspänning | (±10%) 23,5 V - 24,5 V | (±10%) 23,5 V - 24,5 V | (±10%) 23,5 V - 24,5 V | (±10%) 87 V - 264 V | (±10%) 87 V - 264 V |
| Nätfrekvens | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz |
| Kommunikationssnittställen | |||||
| Sync snittställen | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| Analog/digital | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja | Ja | Ja |
| DeviceNet | Nej | Nej | Nej | Nej | Nej |
| Chassi | |||||
| Vikt | 10 kg | 15 kg | 8 kg | 27 kg | 30 kg |
| Kapslingsklass IP | 21 | 21 | 21 | 21 | 21 |
| Kylarkrav | |||||
| Max. vattentryck | - | - | - | 6 bar | 6 bar |
| Lägsta tryckskillnad | - | - | - | 1,5 bar | 1,5 bar |
| Min. flödesmängd | - | - | - | 3,5 l/min | 5 l/min |
| Temperatur kylvätska | - | - | - | 10 °C - 30 °C 1 | 10 °C - 30 °C 1 |
| Allmänt | |||||
| Certifikat / standarder | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 |
| Omgivningsvillkor | |||||
| Yttertemperatur | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C |
| Luftfuktighet | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % |
| Barometriskt tryck | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa |
Tekniska data för alla produktvarianter för nerladdning.
Alltid perfekt processkontroll
Anpassningsnätverket sörjer hela tiden för en snabb och direkt impedansanpassning till 50 ohm – därmed garanteras alltid full uteffekt från HF-generatorn till processen. Den skarvfria kommunikationen mellan anpassningsnätverk och generator möjliggör optimal processövervakning och tidig bågdetektering.
En översikt över alla parametrar
Realtidsmätningen av HF-in- och uteffekt signalerar dynamiska impedansändringar, kylningsgivare möjliggör en tillförlitlig prognos över effektförlusterna. Tack vare det grafiska styrprogrammet med komplexa visningsalternativ (Smith-diagram, realtids-oscilloskop) har du alltid översikt över alla relevanta processparametrar.
TRUMPF SystemPort
SystemPorten möjliggör ett slutna reglerkretsar genom att RF-signalen mäts direkt vid ingången och utgången från anpassningsnätverket. Alla uppmätta värden är tillgängliga för RF-generatorn. Det möjliggör bättre övervakning av processparametrarna, skydd av anpassningsnätverket och tidig båg-detektering. Hela RF-systemet kan även styras via ett enda generatorgränssnitt.
Olika tillval möjliggör optimal anpassning av TRUMPF RF-systemet till er applikation.
Mycket exakt AC-strömmätning för detektering av plasmaanomalier, placerad i anpassningsnätverket nära processen, direkt vid kammaren.
Den genomtänkta båghanteringen är den perfekta modulen för bästa plasmaprocesskontroll. En riktad bågdetektering garanterar högsta möjliga produktivitet och skyddar samtidigt produkten och anläggningen.
Som alternativa gränssnitt finns analog/digital, PROFIBUS och EtherCAT. Standard är EtherNet, SystemPort och RS232/485.
TruControl Power
Det lättanvända styrprogrammet TruControl Power möjliggör bekväm idrifttagning och säker övervakning av HF-generatorn samt hela TRUMPF RF-system under pågående process.
Grafiskt styrprogram
Komplexa grafiska avbildningar möjliggör en omfattande kontroll över alla relevanta processparametrar. Impedansen hos last och anpassningsnätverk visualiseras med hjälp av ett Smith-diagram, HF in- och utgångseffekt inklusive frekvens- och fasläge med hjälp av ett realtids-oscilloskop.
TRUMPF RF-systemet som består av generator och anpassningsnätverk, bildar ett helt system som är perfekt anpassade till varandra för bästa processresultat.
Komplexa grafiska avbildningar möjliggör en omfattande kontroll över alla relevanta processparametrar. Impedansen hos last och anpassningsnätverk visualiseras med hjälp av ett Smith-diagram, HF in- och utgångseffekt inklusive frekvens- och fasläge med hjälp av ett realtids-oscilloskop.
Med hjälp av master-oscillatorer kan man stabilisera och optimera kritiska synkrona plasmaprocesser. En integrerad digital frekvens- och fassynthesizer försäkrar hög frekvens- och fasstabilitet och möjliggör inställning av fasläget med mycket små steg. Det finns olika masteroscillatorer tillgängliga för frekvensen 13,56 Mhz samt olika frekvenskombinationer att välja mellan.
En HF-omkopplare möjliggör flerfaldig användning av en HF-generator till olika plasmaprocesstationer, till exempel för strömförsörjning av sekventiella processer eller system med olika inmatningspunkter. Det finns olika HF-omkopplare i två effektklasser samt med 2, 3 eller 4 utgångar.
För HF-effektöverföring har TRUMPF Hüttinger koaxialkabeln som är konstruerad speciellt för drift i 50 ohmssystem.
Behärska plasmaprocessen optimalt
Plasmaprocesser uppför sig som en komplex, variabel last, till vilken strömförsörjningen från generatorn kontinuerligt måste justeras. Detta klarar aktiva anpassningsnätverk, som hela tiden säkerställer en exakt anpassning till den optimala impedansen på 50 ohm. Därmed uppstår en perfekt anpassad systemlösning, TRUMPF RF-systemet. Generatorn och anpassningsnätverket kan enkelt integreras i din befintliga processomgivning via olika gränssnitt, bland annat EtherCAT. Du kan även erhålla en optimerad systemlösning genom SystemPort, en intelligent anslutning mellan generatorn och anpassningsnätverket.
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
Fotnoter-
Kylvattentemperaturen måste vara högre än daggpunkten i rummet för att undvika att det bildas kondens.
