Lands-/region- och språkval
TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
Plasmastimulering
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

Bäst i klassen

Full kontroll över processen

Med TruPlasma Serie MF 7000 (G2) har du alltid full kontroll: med överlägsen båghantering och tändbeteende är generatorerna perfekta som strömförsörjning för beläggning över stora ytor (Large Area Coating) och krävande reaktiva processer under Dual Magnetron Sputtering. Toppverkningsgrader på mer än 90 % samt en extra effektiv kylvattenhantering är driften dessutom extremt kostnadseffektiv.

Högsta beläggningskvalitet och produktivitet

Enastående resultat och höga beläggningshastigheter även under de svåraste reaktiva processerna.

Maximal effektivitet

Med toppverkningsgrader
på mer än 90 % uppnås driftsverkningsgrader på över 80 %.

Stabil strömförsörjning i alla klimat

Tillförlitlig funktion även vid höga kylvattentemperaturer och låga differenstryck.

Kan användas över hela världen

Variabel anslutningsspänning innebär att det inte krävs några tekniska anpassningar.

MF-strömförsörjning i toppklass perfekt för beläggning av stora ytor

MF-strömförsörjning i toppklass

Beläggning av stora ytor (Large Area Coating) på arkitekturglas: Krävande material som SiOx ställer de högsta kraven på stabil strömförsörjning.

MF-strömförsörjning i toppklass för beläggning av plattskärmar

Applicering av de tunnaste lagren

Beläggning av plattskärmar och pekskärmar: Med Dual Magnetron Sputtering appliceras ultratunna (nm), höghållfasta och homogena AlxOx-beläggningar.

Mellanfrekvensgenerator i TruPlasma MF Serie 7000 (G2) för applicering av ultratunna skikt

Solcellstillverkning

Beläggning av solcellsglas: Den stabila strömförsörjningen hos TruPlasma MF Serie 7000 (G2) möjliggör homogen applicering av ultratunna TCO-beläggningar med MF-sputtring.

Utgång           
Märkeffekt 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW
Maximal utgångsström 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff
Maximal utgångsspänning 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff
Nominell driftfrekvens 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz
Arc-parametrar           
Maximal Arc-hastighet 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s
Arc energi 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW
Arc-behandlingstid 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs
Tändspänningar           
med tändhjälp 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V
utan tändhjälp 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V
Nätanslutningsdata           
Nätspänning (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V
Nätfrekvens 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
Förbrukningseffekt 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA
Effektfaktor 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Chassi           
Vikt 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg
Kapslingsklass IP 54 54 54 54 54 54 54 54 54 54
Kylarkrav           
Kylvätska Vatten Vatten Vatten Vatten Vatten Vatten Vatten Vatten Vatten Vatten
Max. vattentryck 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
Lägsta tryckskillnad 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar
Min. flödesmängd 30 l/min 31 l/min 31 l/min 36 l/min 36 l/min 28 l/min 30 l/min 30 l/min 34 l/min 34 l/min
Temperatur kylvätska 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Allmänt           
Total verkningsgrad 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 %
Certifikat / standarder CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Omgivningsvillkor           
Yttertemperatur 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Generatorerna i TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garanterar högsta effektivitet.

Maximal kostnadseffektivitet och flexibilitet

De höga driftverkningsgraden och det flexibla kylningskonceptet hos TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garanterar maximal kostnadseffektivitet under hela livslängden. Även under svåra klimat- och installationsförhållanden förblir strömförsörjningen stabil hela tiden – höga kylvattentemperaturer, lågt vattentryck och hög luftfuktighet påverkar inte processkvaliteten. Tack vare det breda driftspänningsområdet kan MF-generatorn användas över hela världen utan behov av tekniska anpassningar.

Mellanfrekvensgenerator i TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

Exakt styrning av processen

Med några få inställningar kan du exakt styra beläggningskvaliteten och produktiviteten. Därmed erhålls optimal balans mellan båghanteringens känslighet och önskad genomströmning. Dessutom garanterar flera olika gränssnitt och det bekväma styrprogrammet TruControl Power effektiv konfiguration och diagnostik.

Båghantering

Överlägsen båghantering

Höga reaktionshastigheter och motsvarande reducerade restenergier försäkrar stabila processer och högsta fräsningshastigheter. Bågbildning och termisk stress på målen förhindras på ett tillförlitligt sätt av generatorn – resultatet är absolut homogena lager över hela substratytan. Dessutom tillåter den snabba och tillförlitliga båghanteringen problemfri drift av generatorn i det spänningsreglerade övergångsområdet (transition mode).

Ett omfattande utbud av tillbehör för TruPlasma MF Serie 7000 (G2) hjälper dig att anpassa MF-generatorn till kraven för din applikation.

Utökat frekvensområde

MF-generatorer på upp till 100 kW effekt finns som tillval med ett utökat frekvensområden på 20–70 kHz (standard är 20–50 kHz).

Tändhjälp

Härmed reduceras bågbildning och termisk stress. Tändspänning och ramptid kan justeras individuellt.

Ultrasnabb båghantering

TruPlasma MF Serie 7000 (G2) kan utrustas med en extra känslig båghantering(UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, ≤ 10 mJ/kW är standard). För UltraFastTreatment krävs säkerhetskategori 3.

Rustad för alla möjligheter

Profinet, Profibus, EtherCAT samt analoga och digitala gränssnitt möjliggör enkel integrering av TruPlasma MF Serie 7000 i befintliga anläggningar.

Dörr till kopplingsskåpet

Dörren till kopplingsskåpet finns som tillval med en extra bred öppningsvinkel på 180° (standard är 130°).

Aktiv avfuktning av kopplingsskåpet

För omgivningar med mycket hög luftfuktighet kan generatorns kopplingsskåp utrustas med en aktiv avfuktare. Den kräver kylvattenreglering.

Användarvänligt program TruControl Power

TruControl Power

Det lättanvända, flerspråkiga styrprogrammet TruControl Power erbjuder många möjligheter när det gäller manövrering, konfigurering och diagnostik.

Genom att välja lämpliga systemkomponenter kan TruPlasma MF Series 7000 (G2) anpassas optimalt till systemomgivningen.

MF-effektkabel
MF-effektkabel

Till TruPlasma MF Serie 7000 (G2) får du med optimerad TRUMPF Hüttinger MF-effektkablar. De garanterar optimal systemprestanda vid alla tillfällen.

Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.

Whitepaper

Båghantering

Nerladdning av Whitepaper




Whitepaper

Sinus eller fyrkant

Nerladdning av Whitepaper




Whitepaper

Spänningsreglerat ”övergångsläge”

Nerladdning av Whitepaper




Dessa teman kan kanske också intressera dig

Kontakt
Nikolas Hunzinger
Försäljning TRUMPF Hüttinger
E-post
Services
Service avtal Ta reda på mer Technical Service Ta reda på mer Training courses Ta reda på mer Orginaldelar Ta reda på mer
Nerladdningar
Service och kontakt