Full kontroll över processen
Med TruPlasma Serie MF 7000 (G2) har du alltid full kontroll: med överlägsen båghantering och tändbeteende är generatorerna perfekta som strömförsörjning för beläggning över stora ytor (Large Area Coating) och krävande reaktiva processer under Dual Magnetron Sputtering. Toppverkningsgrader på mer än 90 % samt en extra effektiv kylvattenhantering är driften dessutom extremt kostnadseffektiv.
Enastående resultat och höga beläggningshastigheter även under de svåraste reaktiva processerna.
Med toppverkningsgraderpå mer än 90 % uppnås driftsverkningsgrader på över 80 %.
Tillförlitlig funktion även vid höga kylvattentemperaturer och låga differenstryck.
Variabel anslutningsspänning innebär att det inte krävs några tekniska anpassningar.
MF-strömförsörjning i toppklass
Beläggning av stora ytor (Large Area Coating) på arkitekturglas: Krävande material som SiOx ställer de högsta kraven på stabil strömförsörjning.
Applicering av de tunnaste lagren
Beläggning av plattskärmar och pekskärmar: Med Dual Magnetron Sputtering appliceras ultratunna (nm), höghållfasta och homogena AlxOx-beläggningar.
Solcellstillverkning
Beläggning av solcellsglas: Den stabila strömförsörjningen hos TruPlasma MF Serie 7000 (G2) möjliggör homogen applicering av ultratunna TCO-beläggningar med MF-sputtring.
Maximal kostnadseffektivitet och flexibilitet
De höga driftverkningsgraden och det flexibla kylningskonceptet hos TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garanterar maximal kostnadseffektivitet under hela livslängden. Även under svåra klimat- och installationsförhållanden förblir strömförsörjningen stabil hela tiden – höga kylvattentemperaturer, lågt vattentryck och hög luftfuktighet påverkar inte processkvaliteten. Tack vare det breda driftspänningsområdet kan MF-generatorn användas över hela världen utan behov av tekniska anpassningar.
Exakt styrning av processen
Med några få inställningar kan du exakt styra beläggningskvaliteten och produktiviteten. Därmed erhålls optimal balans mellan båghanteringens känslighet och önskad genomströmning. Dessutom garanterar flera olika gränssnitt och det bekväma styrprogrammet TruControl Power effektiv konfiguration och diagnostik.
Överlägsen båghantering
Höga reaktionshastigheter och motsvarande reducerade restenergier försäkrar stabila processer och högsta fräsningshastigheter. Bågbildning och termisk stress på målen förhindras på ett tillförlitligt sätt av generatorn – resultatet är absolut homogena lager över hela substratytan. Dessutom tillåter den snabba och tillförlitliga båghanteringen problemfri drift av generatorn i det spänningsreglerade övergångsområdet (transition mode).
Ett omfattande utbud av tillbehör för TruPlasma MF Serie 7000 (G2) hjälper dig att anpassa MF-generatorn till kraven för din applikation.
För omgivningar med mycket hög luftfuktighet kan generatorns kopplingsskåp utrustas med en aktiv avfuktare. Den kräver kylvattenreglering.
Dörren till kopplingsskåpet finns som tillval med en extra bred öppningsvinkel på 180° (standard är 130°).
Profinet, Profibus, EtherCAT samt analoga och digitala gränssnitt möjliggör enkel integrering av TruPlasma MF Serie 7000 i befintliga anläggningar.
TruPlasma MF Serie 7000 (G2) kan utrustas med en extra känslig båghantering(UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, ≤ 10 mJ/kW är standard). För UltraFastTreatment krävs säkerhetskategori 3.
Härmed reduceras bågbildning och termisk stress. Tändspänning och ramptid kan justeras individuellt.
MF-generatorer på upp till 100 kW effekt finns som tillval med ett utökat frekvensområden på 20–70 kHz (standard är 20–50 kHz).
TruControl Power
Det lättanvända, flerspråkiga styrprogrammet TruControl Power erbjuder många möjligheter när det gäller manövrering, konfigurering och diagnostik.
Genom att välja lämpliga systemkomponenter kan TruPlasma MF Series 7000 (G2) anpassas optimalt till systemomgivningen.
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
