Den senaste generationens HF-generatorer
Vid beläggning eller strukturering av ytor är en stabil och reproducerbar plasmaströmförsörjning en avgörande faktor. HF-generatorerna i TruPlasma RF Serie 1000/3000 (G2/13) som är utrustade med modern kraftelektronik erbjuder de bästa förutsättningarna. Tack vare stabil uteffekt och hög reglernoggrannhet kan de garantera de bästa resultaten samtidigt som hög produktivitet bibehålls.
CombineLine-teknologi: optimal processeffekt tack vare äkta 50 ohms utgångsimpedans.
Kabellängden behöver inte längre anpassas – en absolut innovation inom HF-området!
CombineLine-teknologin: tillförlitligt skydd mot reflekterad effekt vid felanpassning.
Verkningsgrad på upp till 80 % gör det möjligt att minska energikostnaderna med upp till 50 %.
Ingen uppvärmning eller förorening av omgivningsluften, därför är drift i renrum möjlig.
Perfekt för beläggning av plattskärmar
HF-generatorerna i TruPlasma Serie RF 1000/3000 (G2/13) är perfekt lämpade för plasmaprocesser som RIE, ALD, PECVD och RF-sputtring, Dessa metoder används bland annat vid tillverkning av halvledarkomponenter och mikromekaniska system (MEMS) samt vid beläggning av plattskärmar och solceller.
Typiskt användningsområde: solcellsindustrin
Typiska användningsområden för TruPlasma RF Serie 1000/3000 (G2/13) är krävande PECVD-, etsnings- och HF-sputtringsprocesser inom solcellsindustrin.
Halvledartillverkning
Vid tillverkning av halvledare används olika plasmaprocesser, från ablationsprocesser genom torretsning till zonsmältning vid tillverkning av rent kisel. Generatorerna i TruPlasma RF Serie 1000/3000 (G2/13) erbjuder alla förutsättningar för en stabil strömförsörjning, som är optimalt anpassad efter den aktuella processen, för att uppnå enastående, reproducerbara resultat.
|
TruPlasma RF 1000-2/13
|
TruPlasma RF 1000-3/13
|
|
|---|---|---|
| RF utgång | ||
| Utgångseffekt | 2 kW | 3 kW |
| Märkeffekt | 2 kW | 3 kW |
| Nominell belastningsimpedans | 50 Ω | 50 Ω |
| Utgångsfrekvens | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Nätanslutningsdata | ||
| Nätspänning | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Nätfrekvens | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Förbrukningseffekt | 3,1 kVA | 4,3 kVA |
| Effektfaktor | 0,95 | 0,95 |
| Kommunikationssnittställen | ||
| Sync snittställen | Ja | Ja |
| Analog/digital | Ja | Ja |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Ja | Ja |
| EtherCAT | Ja | Ja |
| DeviceNet | Ja | Ja |
| Chassi | ||
| Vikt | 18 kg | 18 kg |
| Kapslingsklass IP | 30 | 30 |
| Kylarkrav | ||
| Max. vattentryck | 7 bar | 7 bar |
| Lägsta tryckskillnad | 1,1 bar | 1,1 bar |
| Min. flödesmängd | 4 l/min | 4 l/min |
| Temperatur kylvätska | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C 1 |
| Allmänt | ||
| Total verkningsgrad | 80 % | 80 % |
| Certifikat / standarder | Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs |
| Omgivningsvillkor | ||
| Yttertemperatur | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Luftfuktighet | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometriskt tryck | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Tekniska data för alla produktvarianter för nerladdning.
Optimal anpassning till er process
Den intelligenta realtidsmatchningen hos TruPlasma RF Serie 1000/3000 (G2/13) försäkrar en snabb och direkt anpassning av impedansen till 50 ohm. CombineLine-teknologin förhindrar tillförlitligt plasmavariationer och föroreningar, och det fläktlösa kylkonceptet minskar felandelen, ökar effektiviteten och möjliggör användning i renrum.
Maximal effektivitet och flexibilitet
Med maximal verkningsgrad på upp till 80 % minskar era energikostnader med upp till 50 % jämfört med konventionella generatorer. De många tillgängliga gränssnitten (konfigurerbart analogt gränssnitt, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) underlättar integreringen i befintliga anläggningar och tack vare de integrerade nätdelarna som täcker ett ultrabrett intervall (200–480 VAC) är det inte nödvändigt att göra några tekniska anpassningar. Trots den höga effekttätheten är konstruktionen mycket kompakt (19 tum resp. ½-19-tums pluginenhet) möjliggör platsbesparande integrering i alla produktionsanläggningar.
TRUMPF SystemPort
SystemPorten möjliggör ett slutna reglerkretsar genom att RF-signalen mäts direkt vid ingången och utgången från anpassningsnätverket. Alla uppmätta värden är tillgängliga för RF-generatorn. Det möjliggör bättre övervakning av processparametrarna, skydd av anpassningsnätverket och tidig båg-detektering. Hela RF-systemet kan även styras via ett enda generatorgränssnitt.
Olika tillval möjliggör en optimal anpassning av HF-generatorn till er applikation.
Den genomtänkta båghanteringen är den perfekta modulen för bästa plasmaprocesskontroll. En riktad bågdetektering garanterar högsta möjliga produktivitet och skyddar samtidigt produkten och anläggningen.
Den patenterade Auto Frequency Tuning-lösningen möjliggör samtidig och snabb frekvensanpassning och garanterar ett optimalt samspel mellan generator och anpassningsnätverk. Tack vare denna patenterade teknik är inte ett lokalt minimum längre något hinder: RF-systemet styrs optimalt och möjliggör därför de bästa processresultaten och hög reproducerbarhet.
Alla komponenter i TRUMPF RF-system är optimalt anpassade till varandra.
TruPlasma Match anpassningsnätverk försäkrar en optimal kraftöverföring från generatorn till plasmaurladdningen. Anpassningsnätverket kan användas fristående eller via en intelligent anslutning mellan generator och anpassningsnätverk, den så kallade SystemPort.
Med hjälp av master-oscillatorer kan man stabilisera och optimera kritiska synkrona plasmaprocesser. En integrerad digital frekvens- och fassynthesizer försäkrar hög frekvens- och fasstabilitet och möjliggör inställning av fasläget med mycket små steg. Det finns olika masteroscillatorer tillgängliga för frekvensen 13,56 Mhz samt olika frekvenskombinationer att välja mellan.
En HF-omkopplare möjliggör flerfaldig användning av en HF-generator till olika plasmaprocesstationer, till exempel för strömförsörjning av sekventiella processer eller system med olika inmatningspunkter. Det finns olika HF-omkopplare i två effektklasser samt med 2, 3 eller 4 utgångar.
För HF-effektöverföring har TRUMPF Hüttinger koaxialkabeln som är konstruerad speciellt för drift i 50 ohmssystem.
Perfekt anpassade efter varandra: TRUMPF RF-systemet
Plasmaprocesser uppför sig som en komplex, variabel last, till vilken strömförsörjningen från generatorn kontinuerligt måste justeras. Detta klarar aktiva anpassningsnätverk, som hela tiden säkerställer en exakt anpassning till den optimala impedansen på 50 ohm. Därmed uppstår en perfekt anpassad systemlösning, TRUMPF RF-systemet. Generatorn och anpassningsnätverket kan enkelt integreras i din befintliga processomgivning via olika gränssnitt, bland annat EtherCAT. Du kan även erhålla en optimerad systemlösning genom SystemPort, en intelligent anslutning mellan generatorn och anpassningsnätverket.
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
Fotnoter-
Kylvattentemperaturen måste vara högre än daggpunkten i rummet för att undvika att det bildas kondens.
