Garantier för enastående processresultat
Med dessa HF-generatorer kan du känna dig säker: TruPlasma RF Serie 3000 utmärker sig genom en robust konstruktion och hög effektivitet. Därmed är de bäst lämpade för stabila, reproducerbara plasmaprocesser som exempelvis används vid tillverkningen av plattskärmar, solceller eller halvledare. De här generatorerna som är installerade i tusentals tillämpningar världen över garanterar en hög produktivitet och enastående processresultat.
Verkningsgrad på upp till 80 % gör det möjligt att minska energikostnaderna med upp till 50 %.
Säker styrning, även av krävande och nya processer.
CombineLine-teknologin: tillförlitligt skydd mot reflekterade effekter vid felanpassning.
Kontinuerlig eller pulsad effektavgivning och kan därmed användas i olika tillämpningar.
Etsnings- och beläggningsprocesser
HF-generatorerna i TruPlasma RF Serie 3000 är särskilt lämpliga för etsnings- och beläggningsprocesser, tex. plasmaetsning, reaktiv jonetsning, ALD och PECVD.
Beläggning av arbetsstycken av metall
Plasmaprocesser kan användas såväl för applicering som borttagning av material på ytor, till exempel vid beläggning av metallarbetsstycken med ett slitageskyddande lager eller strukturering av elektroniska komponenter med plasmaetsning eller fotolack-plasmaförbränning.
Beläggning av plattskärmar och solceller
HF-generatorerna i TruPlasma RF Serie 3000 är perfekt lämpade för plasmaprocesser som RIE, ALD, PECVD och RF-sputtring. Dessa metoder används bland annat vid beläggning av plattskärmar och solceller.
Den genomtänkta båghanteringen är den perfekta modulen för bästa plasmaprocesskontroll. En riktad bågdetektering garanterar högsta möjliga produktivitet och skyddar samtidigt produkten och anläggningen.
TruControl Power
Det lättanvända styrprogrammet TruControl Power möjliggör bekväm idrifttagning och säker övervakning av HF-generatorn samt hela TRUMPF RF-system under pågående process.
TruPlasma Match anpassningsnätverk försäkrar en optimal kraftöverföring från generatorn till plasmaurladdningen. Anpassningsnätverket kan användas fristående eller via en intelligent anslutning mellan generator och anpassningsnätverk, den så kallade SystemPort.
Med hjälp av master-oscillatorer kan man stabilisera och optimera kritiska synkrona plasmaprocesser. En integrerad digital frekvens- och fassynthesizer försäkrar hög frekvens- och fasstabilitet och möjliggör inställning av fasläget med mycket små steg. Det finns olika masteroscillatorer tillgängliga för frekvensen 13,56 Mhz samt olika frekvenskombinationer att välja mellan.
En HF-omkopplare möjliggör flerfaldig användning av en HF-generator till olika plasmaprocesstationer, till exempel för strömförsörjning av sekventiella processer eller system med olika inmatningspunkter. Det finns olika HF-omkopplare i två effektklasser samt med 2, 3 eller 4 utgångar.
För HF-effektöverföring har TRUMPF Hüttinger koaxialkabeln som är konstruerad speciellt för drift i 50 ohmssystem.
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
