Innovativ, modulär, skalerbar: den nya generatorplattformen från TRUMPF Hüttinger
Generatorerna i TruPlasma VHF serie 3000 är baserade på ett innovativt plattformskoncept, möjliggör maximal effekttäthet och uppfyller de hårdaste processkraven. Moduldesignen som är helt vattenkyld möjliggör skalning av uteffekten på upp till 80 kW. Dessutom övertygar de kompakta VHF-generatorerna med hög lönsamhet och en robust design.
Denna erbjuder den bästa plasmaprocesskontrollen till den befintliga en- och flernivåspulsningen.
Därmed är en mycket flexibel styrning av generatorns tändningsbeteende möjlig.
Automatisk frekvensanpassning för optimal samverkan mellan generator och anpassningsnätverk.
Enastående, reproducerbara processresultat tack vare mycket exakt digital frekvensmodulering.
Krävs inte någon anpassning av HF-kabelns längd, därmed korta inställningstider.
Tillförlitlig generatorfunktion även vid felanpassning tack vare CombineLine-teknologin.
Tillverkning av solceller
Inom solcellsområdet finns det många olika användningsområden för skräddarsydd processenergi. Här används olika plasmaprocesser för applicering och borttagning av material, t.ex. sputtrings-, PECVD- och etsningsprocesser. Generatorerna i TruPlasma VHF Serie 3000 kan anpassas optimalt till respektive process, med snabb båghantering som möjliggör en stabil kontroll över plasman. Därmed garanteras enastående processresultat och hög produktivitet.
Halvledartillverkning
Vid tillverkning av halvledare används olika plasmaprocesser, från ablationsprocesser genom torretsning till zonsmältning vid tillverkning av rent kisel. Generatorerna i TruPlasma VHF Serie 3000 erbjuder alla förutsättningar för en stabil strömförsörjning, som är optimalt anpassad efter den aktuella processen, för att uppnå enastående, reproducerbara resultat.
Perfekt för beläggning av plattskärmar
Generatorerna i TruPlasma VHF Serie 3000 är perfekt lämpade för plasmaprocesser som RIE, ALD, PECVD och RF-sputtring. Dessa metoder används bland annat vid tillverkning av halvledarkomponenter och mikromekaniska system (MEMS) samt vid beläggning av plattskärmar och solceller.
|
Truplasma VHF 1000-2.5/60
Jämför produkt
|
TruPlasma VHF 3005
Jämför produkt
|
TruPlasma VHF 3000-10/40
Jämför produkt
|
TruPlasma VHF 3000-10/60
Jämför produkt
|
|
|---|---|---|---|---|
| RF utgång | ||||
| Utgångseffekt | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW | 10 kW |
| Märkeffekt | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW | 10 kW |
| Nominell belastningsimpedans | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Utgångsfrekvens | 60 MHz | 40,68 MHz | 40,68 MHz | 60 MHz |
| Nätanslutningsdata | ||||
| Nätspänning | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Nätfrekvens | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Förbrukningseffekt | 4 kVA | 9,3 kVA | 18,6 kVA | 18,6 kVA |
| Effektfaktor | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Kommunikationssnittställen | ||||
| Sync snittställen | Ja | Ja | Ja | Ja |
| Analog/digital | Ja | Ja | Ja | Ja |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Nej | Nej | Nej | Nej |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja | Ja |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja | Ja |
| Chassi | ||||
| Vikt | 23 kg | 32 kg | 53 kg | 53 kg |
| Kapslingsklass IP | 30 | 30 | 30 | 30 |
| Kylarkrav | ||||
| Max. vattentryck | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Lägsta tryckskillnad | 2 bar | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Min. flödesmängd | 8 l/min | 8 l/min | 10 l/min | 10 l/min |
| Temperatur kylvätska | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Allmänt | ||||
| Total verkningsgrad | 70 % | 70 % | 70 % | 70 % |
| Certifikat / standarder | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Omgivningsvillkor | ||||
| Yttertemperatur | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Luftfuktighet | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometriskt tryck | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
|
Truplasma VHF 1000-2.5/60
|
TruPlasma VHF 3005
|
TruPlasma VHF 3000-10/40
|
TruPlasma VHF 3000-10/60
|
|
|---|---|---|---|---|
| RF utgång | ||||
| Utgångseffekt | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW | 10 kW |
| Märkeffekt | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW | 10 kW |
| Nominell belastningsimpedans | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Utgångsfrekvens | 60 MHz | 40,68 MHz | 40,68 MHz | 60 MHz |
| Nätanslutningsdata | ||||
| Nätspänning | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Nätfrekvens | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Förbrukningseffekt | 4 kVA | 9,3 kVA | 18,6 kVA | 18,6 kVA |
| Effektfaktor | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Kommunikationssnittställen | ||||
| Sync snittställen | Ja | Ja | Ja | Ja |
| Analog/digital | Ja | Ja | Ja | Ja |
| RS 232 / RS 485 | Ja | Ja | Ja | Ja |
| PROFIBUS | Nej | Nej | Nej | Nej |
| EtherCAT | Ja | Ja | Ja | Ja |
| DeviceNet | Ja | Ja | Ja | Ja |
| Chassi | ||||
| Vikt | 23 kg | 32 kg | 53 kg | 53 kg |
| Kapslingsklass IP | 30 | 30 | 30 | 30 |
| Kylarkrav | ||||
| Max. vattentryck | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Lägsta tryckskillnad | 2 bar | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Min. flödesmängd | 8 l/min | 8 l/min | 10 l/min | 10 l/min |
| Temperatur kylvätska | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Allmänt | ||||
| Total verkningsgrad | 70 % | 70 % | 70 % | 70 % |
| Certifikat / standarder | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Omgivningsvillkor | ||||
| Yttertemperatur | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Luftfuktighet | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometriskt tryck | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Tekniska data för alla produktvarianter för nerladdning.
Flexibel anpassning till processen
Modulplattformskonceptet för TruPlasma VHF Serie 3000 gör det möjligt att skapa upp uteffekten upp till 80 kW. Tack vare den implementerade CombineLine-teknologin är generatorn mycket robust även vid en felanpassning. Det breda frekvensintervallet samt den variabla nätspänningen och kabellängden tillåter en flexibel anpassning till olika tillämpningar och användningsländer.
Extremt effektiv och kostnadseffektiv
HF-generatorerna i TruPlasma VHF Serie 3000 är konstruerade helt i den senaste halvledartekniken med LDMOS-effekttransistorer. De högt integrerade planarkonstruktionen möjliggör maximal effekttäthet samtidigt som högre energieffektivitet och lägre kyleffekt. Därmed erbjuder den här serien en lönsamhet som hittills inte har uppnåtts i det här frekvensintervallet och reducerar de vanligt förekommande driftkostnaderna.
TRUMPF SystemPort
SystemPorten möjliggör ett slutna reglerkretsar genom att RF-signalen mäts direkt vid ingången och utgången från anpassningsnätverket. Alla uppmätta värden är tillgängliga för RF-generatorn. Det möjliggör bättre övervakning av processparametrarna, skydd av anpassningsnätverket och tidig båg-detektering. Hela RF-systemet kan även styras via ett enda generatorgränssnitt.
Olika tillval möjliggör en optimal anpassning av VHF-generatorn till er applikation.
Den patenterade Auto Frequency Tuning-lösningen möjliggör samtidig och snabb frekvensanpassning och garanterar ett optimalt samspel mellan generator och anpassningsnätverk. Tack vare denna patenterade teknik är inte ett lokalt minimum längre något hinder: RF-systemet styrs optimalt och möjliggör därför de bästa processresultaten och hög reproducerbarhet.
Den genomtänkta båghanteringen är den perfekta modulen för bästa plasmaprocesskontroll. En riktad bågdetektering garanterar högsta möjliga produktivitet och skyddar samtidigt produkten och er anläggning.
Flexibel pulsformning: formen på utgångsignalen kan anpassas godtyckligt till de aktuella processkraven.
TruControl Power
Det lättanvända styrprogrammet TruControl Power möjliggör bekväm idrifttagning och säker övervakning av HF-generatorn samt hela TRUMPF RF-system under pågående process.
Genom att välja lämpliga systemkomponenter kan VHF-generatorn anpassas optimalt efter kraven för din applikation.
TruPlasma Match anpassningsnätverk försäkrar en optimal kraftöverföring från generatorn till plasmaurladdningen. Anpassningsnätverket kan användas fristående eller via en intelligent anslutning mellan generator och anpassningsnätverk, den så kallade SystemPort.
Denna består av adapter för vattenanslutningar, sats för HARTING AC-försörjning, bygel för spärrfunktion, adapter från LEMO EPL till BNC-hona (för klocka och pulssynkningskontakt).
Med hjälp av master-oscillatorer kan man stabilisera och optimera kritiska synkrona plasmaprocesser. En integrerad digital frekvens- och fassynthesizer försäkrar hög frekvens- och fasstabilitet och möjliggör inställning av fasläget med mycket små steg. Det finns olika masteroscillatorer tillgängliga för frekvensen 13,56 Mhz samt olika frekvenskombinationer att välja mellan.
En HF-omkopplare möjliggör flerfaldig användning av en HF-generator till olika plasmaprocesstationer, till exempel för strömförsörjning av sekventiella processer eller system med olika inmatningspunkter. Det finns olika HF-omkopplare i två effektklasser samt med 2, 3 eller 4 utgångar.
För HF-effektöverföring har TRUMPF Hüttinger koaxialkabeln som är konstruerad speciellt för drift i 50 ohmssystem.
Perfekt anpassade efter varandra: TRUMPF RF-systemet
Plasmaprocesser uppför sig som en komplex, variabel last, till vilken strömförsörjningen från generatorn kontinuerligt måste justeras. Detta klarar aktiva anpassningsnätverk, som hela tiden säkerställer en exakt anpassning till den optimala impedansen på 50 ohm. Därmed uppstår en perfekt anpassad systemlösning, TRUMPF RF-systemet. Generatorn och anpassningsnätverket kan enkelt integreras i din befintliga processomgivning via olika gränssnitt, bland annat EtherCAT. Du kan även erhålla en optimerad systemlösning genom SystemPort, en intelligent anslutning mellan generatorn och anpassningsnätverket.
Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.
Fotnoter-
Kylvattentemperaturen måste vara högre än daggpunkten i rummet för att undvika att det bildas kondens.
