Lands-/region- och språkval
VHF-generator Serie 3000
VHF-generator Serie 3000
Plasmastimulering
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF Serie 3000

Uppfyller alla behov

Innovativ, modulär, skalerbar: den nya generatorplattformen från TRUMPF Hüttinger

Generatorerna i TruPlasma VHF serie 3000 är baserade på ett innovativt plattformskoncept, möjliggör maximal effekttäthet och uppfyller de hårdaste processkraven. Moduldesignen som är helt vattenkyld möjliggör skalning av uteffekten på upp till 80 kW. Dessutom övertygar de kompakta VHF-generatorerna med hög lönsamhet och en robust design.

Exakt och snabb arbiträr pulsform

Denna erbjuder den bästa plasmaprocesskontrollen till den befintliga en- och flernivåspulsningen.

Minimal ramptid < 150 ns

Därmed är en mycket flexibel styrning av generatorns tändningsbeteende möjlig.

Smart Auto Frequency Tuning

Automatisk frekvensanpassning för optimal samverkan mellan generator och anpassningsnätverk.

Tillförlitlig och sofistikerad processkontroll

Enastående, reproducerbara processresultat tack vare mycket exakt digital frekvensmodulering.

Oberoende av kabellängden

Krävs inte någon anpassning av HF-kabelns längd, därmed korta inställningstider.

Robust design

Tillförlitlig generatorfunktion även vid felanpassning tack vare CombineLine-teknologin.

Typiskt användningsområde för TruPlasma VHF Serie 3000: solcellstillverkning

Tillverkning av solceller

Inom solcellsområdet finns det många olika användningsområden för skräddarsydd processenergi. Här används olika plasmaprocesser för applicering och borttagning av material, t.ex. sputtrings-, PECVD- och etsningsprocesser. Generatorerna i TruPlasma VHF Serie 3000 kan anpassas optimalt till respektive process, med snabb båghantering som möjliggör en stabil kontroll över plasman. Därmed garanteras enastående processresultat och hög produktivitet.

Perfekt för etsnings- och beläggningsprocesser

Halvledartillverkning

Vid tillverkning av halvledare används olika plasmaprocesser, från ablationsprocesser genom torretsning till zonsmältning vid tillverkning av rent kisel. Generatorerna i TruPlasma VHF Serie 3000 erbjuder alla förutsättningar för en stabil strömförsörjning, som är optimalt anpassad efter den aktuella processen, för att uppnå enastående, reproducerbara resultat.

MF-strömförsörjning i toppklass för beläggning av plattskärmar

Perfekt för beläggning av plattskärmar

Generatorerna i TruPlasma VHF Serie 3000 är perfekt lämpade för plasmaprocesser som RIE, ALD, PECVD och RF-sputtring. Dessa metoder används bland annat vid tillverkning av halvledarkomponenter och mikromekaniska system (MEMS) samt vid beläggning av plattskärmar och solceller.

RF utgång     
Utgångseffekt 2,5 kW 5 kW 10 kW 10 kW
Märkeffekt 2,5 kW 5 kW 10 kW 10 kW
Nominell belastningsimpedans 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Utgångsfrekvens 60 MHz 40,68 MHz 40,68 MHz 60 MHz
Nätanslutningsdata     
Nätspänning 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
Nätfrekvens 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
Förbrukningseffekt 4 kVA 9,3 kVA 18,6 kVA 18,6 kVA
Effektfaktor 0,95 0,95 0,95 0,95
Kommunikationssnittställen     
Sync snittställen Ja Ja Ja Ja
Analog/digital Ja Ja Ja Ja
RS 232 / RS 485 Ja Ja Ja Ja
PROFIBUS Nej Nej Nej Nej
EtherCAT Ja Ja Ja Ja
DeviceNet Ja Ja Ja Ja
Chassi     
Vikt 23 kg 32 kg 53 kg 53 kg
Kapslingsklass IP 30 30 30 30
Kylarkrav     
Max. vattentryck 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
Lägsta tryckskillnad 2 bar 2 bar 2 bar 2 bar
Min. flödesmängd 8 l/min 8 l/min 10 l/min 10 l/min
Temperatur kylvätska 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Allmänt     
Total verkningsgrad 70 % 70 % 70 % 70 %
Certifikat / standarder Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
Omgivningsvillkor     
Yttertemperatur 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Luftfuktighet 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometriskt tryck 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
CombineLine-teknologin i TruPlasma VHF Serie 3000

Flexibel anpassning till processen

Modulplattformskonceptet för TruPlasma VHF Serie 3000 gör det möjligt att skapa upp uteffekten upp till 80 kW. Tack vare den implementerade CombineLine-teknologin är generatorn mycket robust även vid en felanpassning. Det breda frekvensintervallet samt den variabla nätspänningen och kabellängden tillåter en flexibel anpassning till olika tillämpningar och användningsländer.

HF-generator för parallellresonanskretsar

Extremt effektiv och kostnadseffektiv

HF-generatorerna i TruPlasma VHF Serie 3000 är konstruerade helt i den senaste halvledartekniken med LDMOS-effekttransistorer. De högt integrerade planarkonstruktionen möjliggör maximal effekttäthet samtidigt som högre energieffektivitet och lägre kyleffekt. Därmed erbjuder den här serien en lönsamhet som hittills inte har uppnåtts i det här frekvensintervallet och reducerar de vanligt förekommande driftkostnaderna.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPorten möjliggör ett slutna reglerkretsar genom att RF-signalen mäts direkt vid ingången och utgången från anpassningsnätverket. Alla uppmätta värden är tillgängliga för RF-generatorn. Det möjliggör bättre övervakning av processparametrarna, skydd av anpassningsnätverket och tidig båg-detektering. Hela RF-systemet kan även styras via ett enda generatorgränssnitt.

Olika tillval möjliggör en optimal anpassning av VHF-generatorn till er applikation.

Smart Auto Frequency Tuning

Den patenterade Auto Frequency Tuning-lösningen möjliggör samtidig och snabb frekvensanpassning och garanterar ett optimalt samspel mellan generator och anpassningsnätverk. Tack vare denna patenterade teknik är inte ett lokalt minimum längre något hinder: RF-systemet styrs optimalt och möjliggör därför de bästa processresultaten och hög reproducerbarhet.

Båghantering

Den genomtänkta båghanteringen är den perfekta modulen för bästa plasmaprocesskontroll. En riktad bågdetektering garanterar högsta möjliga produktivitet och skyddar samtidigt produkten och er anläggning.

Flexibel pulsformning

Flexibel pulsformning: formen på utgångsignalen kan anpassas godtyckligt till de aktuella processkraven.

Användarvänligt program TruControl Power

TruControl Power

Det lättanvända styrprogrammet TruControl Power möjliggör bekväm idrifttagning och säker övervakning av HF-generatorn samt hela TRUMPF RF-system under pågående process.

Genom att välja lämpliga systemkomponenter kan VHF-generatorn anpassas optimalt efter kraven för din applikation.

RF-systemlösning: anpassningsnätverk för maximal processtabilitet
Anpassningsnätverk

TruPlasma Match anpassningsnätverk försäkrar en optimal kraftöverföring från generatorn till plasmaurladdningen. Anpassningsnätverket kan användas fristående eller via en intelligent anslutning mellan generator och anpassningsnätverk, den så kallade SystemPort.

Tillbehörssats för TruPlasma VHF Serie
Tillbehörssats

Denna består av adapter för vattenanslutningar, sats för HARTING AC-försörjning, bygel för spärrfunktion, adapter från LEMO EPL till BNC-hona (för klocka och pulssynkningskontakt).

Masteroscillator för stabilisering av kritiska synkrona plasmaprocesser
Master-oscillatorer

Med hjälp av master-oscillatorer kan man stabilisera och optimera kritiska synkrona plasmaprocesser. En integrerad digital frekvens- och fassynthesizer försäkrar hög frekvens- och fasstabilitet och möjliggör inställning av fasläget med mycket små steg. Det finns olika masteroscillatorer tillgängliga för frekvensen 13,56 Mhz samt olika frekvenskombinationer att välja mellan.

VHF-generator Serie 3000
HF-omkopplare

En HF-omkopplare möjliggör flerfaldig användning av en HF-generator till olika plasmaprocesstationer, till exempel för strömförsörjning av sekventiella processer eller system med olika inmatningspunkter. Det finns olika HF-omkopplare i två effektklasser samt med 2, 3 eller 4 utgångar.

Koaxialkabel för överföring av den specificerade effekten
Koaxialkabel

För HF-effektöverföring har TRUMPF Hüttinger koaxialkabeln som är konstruerad speciellt för drift i 50 ohmssystem.

Generator och anpassningsnätverk: en perfekt anpassad systemlösning

Perfekt anpassade efter varandra: TRUMPF RF-systemet

Plasmaprocesser uppför sig som en komplex, variabel last, till vilken strömförsörjningen från generatorn kontinuerligt måste justeras. Detta klarar aktiva anpassningsnätverk, som hela tiden säkerställer en exakt anpassning till den optimala impedansen på 50 ohm. Därmed uppstår en perfekt anpassad systemlösning, TRUMPF RF-systemet. Generatorn och anpassningsnätverket kan enkelt integreras i din befintliga processomgivning via olika gränssnitt, bland annat EtherCAT. Du kan även erhålla en optimerad systemlösning genom SystemPort, en intelligent anslutning mellan generatorn och anpassningsnätverket.

Produktutbudet kan variera mellan olika länder och avvika från dessa uppgifter. Vi förbehåller oss rätten till ändringar gällande teknik, utrustning, pris och tillbehörsutbud. Kontakta din kontaktperson på plats för att få reda på om produkten finns tillgänglig i ditt land.

Fotnoter
  • Kylvattentemperaturen måste vara högre än daggpunkten i rummet för att undvika att det bildas kondens.

Whitepaper

LDMOS

Nerladdning av Whitepaper




Whitepaper

Precision i bearbetning

Nerladdning av Whitepaper




Dessa teman kan kanske också intressera dig

Kontakt
Nikolas Hunzinger
Försäljning TRUMPF Hüttinger
E-post
Services
Service avtal Ta reda på mer Technical Service Ta reda på mer Training courses Ta reda på mer Orginaldelar Ta reda på mer
Nerladdningar
Service och kontakt