Bu web sitesinin fonksiyonlarının hazırlanması için çerez kullanıyoruz. Çerezleri daha başka amaçlar için kullanmamıza izin verirseniz lütfen buraya tıklayın. Çerezleri devre dışı bırakmak ve gizlilik ile ilgili bilgiler
Stabil gerilim yönetimi ve hızlı ark yönetimi özellikli, ön gerilimli (Bias) jeneratör
Stabil gerilim yönetimi ve hızlı ark yönetimi özellikli, ön gerilimli (Bias) jeneratör
Plazma uyarımlar
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias 4000 Serisi

Dengeli ve çok yönlü

Püskürtme prosesleriniz için üniversal jeneratörler

TruPlasma Bias 4000 Serisi, en modern palslı ve doğru akım ön gerilimli jeneratörlerin yer aldığı bir ürün grubudur. 100 kHz seviyesine kadar çıkabilen pals frekansları ve sürekli ön gerilim çıkışı elde edilebilir. Bu jeneratörler, özellikle örn. yarı iletken teknolojisinde veya sert malzeme kaplamada söz konusu olan optik ve metalik kaplama uygulamalarını destekler. Ayrıca, gerilim ve akım ile ilgili benzer gereklilikler taşıyan her türlü uygulamada kullanım için de uygundur.

Yüksek ve düşük gerilim modu

Substrat dağlama işlemleri için 1200 V,
Ön gerilim destekli kaplama işlemleri için 300 V.

Hızlı ark yönetimi

Bu sayede çok daha az damlacık birikmesi ve substrat hasarı.

Stabil ve tekrarlanabilir proses sonuçları

Modern DSP teknolojisi ve FPGA sinyal değerlendirme özelliği sayesinde mükemmel ark yönetimi.

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) Serisinin tipik olarak aşınmaz kaplamaların üretiminde kullanılır

Aşınmaz kaplamaların üretimi

TruPlasma Bias 4000 Serisi doğru akım jeneratörleri, stabil bir plazma prosesinin ve dolayısıyla optimum bir kaplama kalitesinin elde edilmesini sağlar.

Geniş yüzey kaplamaları için idealdir

Geniş yüzeyli kaplama

Geniş yüzeyli kaplamalar, plazma prosesinde proses elektrik beslemesi bakımından son derece yüksek seviyelerin mevcut olmasını gerektirir. TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratörler, ilgili prosese göre uyarlanmış, dengeli ve optimal bir elektrik beslemesinin elde edilmesini sağlar, böylece tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde edilir.

TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratör

Solar hücre üretimi

TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratörler, kritik önemdeki tüm PVD ve PECVD proseslerinde başarısını kanıtlamıştır. İlgili prosese göre uyarlanmış, dengeli ve optimal bir elektrik beslemesinin elde edilmesi için gereken tüm koşulları sağlayarak, tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde etmenize olanak verir.

- / -
TruPlasma Bias 4012
TruPlasma Bias 4018
TruPlasma Bias 4026
Çıkış      
Nominal güç 12 kW 18 kW 26 kW
Maksimum çıkış akımı 40 A eff 60 A eff 87 A eff
Maksimum çıkış gerilimi 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Nominal işletim frekansı 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Arc parametre      
Maksimum Arc oranı 50 1/s 50 1/s 50 1/s
Arc uygulama süresi <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
Şebeke bağlantı verileri      
Şebeke gerilimi 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
Şebeke frekansı 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
İletişim arabirimleri      
Analog/dijital Evet Evet Evet
RS 232 / RS 485 - Evet -
PROFIBUS Evet - Evet
EtherCAT Hayır Hayır Hayır
Gövde      
Ağırlık 70 kg 70 kg 71 kg
Koruma sınıfı IP IP 20 IP 20 IP 20
Soğutucu talepleri      
Soğutma maddesi Hava Hava Hava
Soğutma maddesi sıcaklığı 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Genel      
Toplam etki derecesi 90 % 90 % 90 %
Sertifikalar / Standartlar CE CE CE
Çevre şartları      
Dış sıcaklık 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Hava nem oranı 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrik basınç 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
PDF <1MB
Teknik veri sayfası

Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.

Mimari cam

Aynı şekilde korunması garanti proses koşulları

Özel performans ve kontrol tasarımı, yüksek bir kaplama kalitesinin elde edilmesi ve dengeli bir prosesin yürütülmesi için çok önemli olan sağlam ve düzenli bir gerilimin elde edilmesini sağlar. DSP teknolojisiyle ve bir FPGA sinyal değerlendirmesi olacak şekilde tasarlanan TruPlasma Bias 4000 Serisi; modern ark yönetimi, eşsiz hassasiyet ve tekrarlanabilirlik özelliklerine de sahiptir. Her iki parametre için elde edilen etkileyici değerler, optimum proses istikrarının elde edilmesini sağlar.

Sert malzeme kaplama

Birçok proses için sadece tek bir cihaz sayesinde, kolaylaştırılmış sistem kullanımı

TruPlasma Bias 4000 Serisinde iki ayrı gerilim modu mevcuttur: 1200 Volt'a kadar çıkan yüksek gerilim modu ve 300 Volt'a kadar çıkan düşük gerilim modu. Bu modlar, özellikle örn. yarı iletken teknolojisinde veya sert malzeme kaplamada söz konusu olan optik ve metalik kaplama uygulamalarını destekler. Ayrıca, gerilim ve akım ile ilgili benzer gereklilikler taşıyan her türlü uygulamada kullanım için de uygundur.

Ark yönetimi

Sorunsuz prosesler sayesinde optimum kaplama kalitesi

Ark enerjisi çok düşük olan tamamen dijital bir ark yönetimi ve CompensateLine ile donatılan TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratörler, yüksek kaplama kalitelerinin ve bırakım hızlarının elde edilmesini sağlar. Böylece çok daha az damlacık birikmesi ve substrat hasarı oluşur, daha iyi bir proses gerçekleştirilerek daha iyi bir nihai ürün elde edilir.

Kullanıcı dostlu PVD Power yazılımı

PVD Power

Birçok dili destekleyen, kullanıcı dostu PVD Power yazılımı, proses kalitesinin optimize edilmesine ve hataların etkin şekilde giderilmesine yönelik kullanım, konfigürasyon ve arıza arama olanakları sunar: İlgili tüm proses parametrelerine ait gerçek değerler, uyarılar ve alarm mesajları gösterilir, nominal değerler kullanıcı tarafından girilir ve önemli işletme parametreleri yüksek zamansal çözünürlük ile kaydedilir ve görselleştirilir (osiloskop fonksiyonu).

Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.

İlginizi çekebilecek diğer konular

İletişim

Satış
Faks +90 216 570 4510
E-posta

İndirebileceğiniz dosyalar

Broşürler
TruPlasma Bias 3000 / 4000 Serisi broşürü
TruPlasma Bias 3000 / 4000 Serisi broşürü
pdf - 1 MB
Servis ve iletişim

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Turkey . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Turkey
United States

Or select a country or region.