Bu Web sitesini sunmak için çerezlerden yararlanıyoruz. Bu Web sitesini, çerez ayarlarını değiştirmeden kullanmaya devam ederseniz, çerezlerin kullanımına onay veriyorsunuz demektir.
Stabil gerilim yönetimi ve hızlı ark yönetimi özellikli, ön gerilimli (Bias) jeneratör
Stabil gerilim yönetimi ve hızlı ark yönetimi özellikli, ön gerilimli (Bias) jeneratör
Plazma uyarımlar
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias 4000 Serisi

Dengeli ve çok yönlü

    - / -
    • Genel bakış
    • Uygulamalar
    • Teknik veriler
    • Müşteri faydası
    • Yazılım
    • Daha fazla Daha az
    Püskürtme prosesleriniz için üniversal jeneratörler

    TruPlasma Bias 4000 Serisi, en modern palslı ve doğru akım ön gerilimli jeneratörlerin yer aldığı bir ürün grubudur. 100 kHz seviyesine kadar çıkabilen pals frekansları ve sürekli ön gerilim çıkışı elde edilebilir. Bu jeneratörler, özellikle örn. yarı iletken teknolojisinde veya sert malzeme kaplamada söz konusu olan optik ve metalik kaplama uygulamalarını destekler. Ayrıca, gerilim ve akım ile ilgili benzer gereklilikler taşıyan her türlü uygulamada kullanım için de uygundur.

    Yüksek ve düşük gerilim modu

    Substrat dağlama işlemleri için 1200 V,
    Ön gerilim destekli kaplama işlemleri için 300 V.

    Hızlı ark yönetimi

    Bu sayede çok daha az damlacık birikmesi ve substrat hasarı.

    Stabil ve tekrarlanabilir proses sonuçları

    Modern DSP teknolojisi ve FPGA sinyal değerlendirme özelliği sayesinde mükemmel ark yönetimi.

    TruPlasma Bipolar 4000 (G2) Serisinin tipik olarak aşınmaz kaplamaların üretiminde kullanılır

    Aşınmaz kaplamaların üretimi

    TruPlasma Bias 4000 Serisi doğru akım jeneratörleri, stabil bir plazma prosesinin ve dolayısıyla optimum bir kaplama kalitesinin elde edilmesini sağlar.

    Geniş yüzey kaplamaları için idealdir

    Geniş yüzeyli kaplama

    Geniş yüzeyli kaplamalar, plazma prosesinde proses elektrik beslemesi bakımından son derece yüksek seviyelerin mevcut olmasını gerektirir. TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratörler, ilgili prosese göre uyarlanmış, dengeli ve optimal bir elektrik beslemesinin elde edilmesini sağlar, böylece tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde edilir.

    TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratör

    Solar hücre üretimi

    TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratörler, kritik önemdeki tüm PVD ve PECVD proseslerinde başarısını kanıtlamıştır. İlgili prosese göre uyarlanmış, dengeli ve optimal bir elektrik beslemesinin elde edilmesi için gereken tüm koşulları sağlayarak, tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde etmenize olanak verir.

    TruPlasma Bias 4012
    TruPlasma Bias 4018
    TruPlasma Bias 4026
    Çıkış      
    Nominal güç 12 kW 18 kW 26 kW
    Maksimum çıkış akımı 40 A eff 60 A eff 87 A eff
    Maksimum çıkış gerilimi 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
    Nominal işletim frekansı 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
    Arc parametre      
    Maksimum Arc oranı 50 1/s 50 1/s 50 1/s
    Arc uygulama süresi <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
    Şebeke bağlantı verileri      
    Şebeke gerilimi 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
    Şebeke frekansı 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    İletişim arabirimleri      
    Analog/dijital Evet Evet Evet
    RS 232 / RS 485 - Evet -
    PROFIBUS Evet - Evet
    EtherCAT Hayır Hayır Hayır
    Gövde      
    Ağırlık 70 kg 70 kg 71 kg
    Koruma sınıfı IP IP 20 IP 20 IP 20
    Soğutucu talepleri      
    Soğutma maddesi Hava Hava Hava
    Soğutma maddesi sıcaklığı 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Genel      
    Toplam etki derecesi 90 % 90 % 90 %
    Sertifikalar / Standartlar CE CE CE
    Çevre şartları      
    Dış sıcaklık 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Hava nem oranı 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrik basınç 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
    PDF <1MB
    Teknik veri sayfası

    Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.

    Mimari cam

    Aynı şekilde korunması garanti proses koşulları

    Özel performans ve kontrol tasarımı, yüksek bir kaplama kalitesinin elde edilmesi ve dengeli bir prosesin yürütülmesi için çok önemli olan sağlam ve düzenli bir gerilimin elde edilmesini sağlar. DSP teknolojisiyle ve bir FPGA sinyal değerlendirmesi olacak şekilde tasarlanan TruPlasma Bias 4000 Serisi; modern ark yönetimi, eşsiz hassasiyet ve tekrarlanabilirlik özelliklerine de sahiptir. Her iki parametre için elde edilen etkileyici değerler, optimum proses istikrarının elde edilmesini sağlar.

    Sert malzeme kaplama

    Birçok proses için sadece tek bir cihaz sayesinde, kolaylaştırılmış sistem kullanımı

    TruPlasma Bias 4000 Serisinde iki ayrı gerilim modu mevcuttur: 1200 Volt'a kadar çıkan yüksek gerilim modu ve 300 Volt'a kadar çıkan düşük gerilim modu. Bu modlar, özellikle örn. yarı iletken teknolojisinde veya sert malzeme kaplamada söz konusu olan optik ve metalik kaplama uygulamalarını destekler. Ayrıca, gerilim ve akım ile ilgili benzer gereklilikler taşıyan her türlü uygulamada kullanım için de uygundur.

    Ark yönetimi

    Sorunsuz prosesler sayesinde optimum kaplama kalitesi

    Ark enerjisi çok düşük olan tamamen dijital bir ark yönetimi ve CompensateLine ile donatılan TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratörler, yüksek kaplama kalitelerinin ve bırakım hızlarının elde edilmesini sağlar. Böylece çok daha az damlacık birikmesi ve substrat hasarı oluşur, daha iyi bir proses gerçekleştirilerek daha iyi bir nihai ürün elde edilir.

    Kullanıcı dostlu PVD Power yazılımı

    PVD Power

    Birçok dili destekleyen, kullanıcı dostu PVD Power yazılımı, proses kalitesinin optimize edilmesine ve hataların etkin şekilde giderilmesine yönelik kullanım, konfigürasyon ve arıza arama olanakları sunar: İlgili tüm proses parametrelerine ait gerçek değerler, uyarılar ve alarm mesajları gösterilir, nominal değerler kullanıcı tarafından girilir ve önemli işletme parametreleri yüksek zamansal çözünürlük ile kaydedilir ve görselleştirilir (osiloskop fonksiyonu).

    Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.

    İlginizi çekebilecek diğer konular

    Services_Electronics_Technical_Support
    Eşi benzeri olmayan servis

    İhtiyaçlara en uygun şekilde oluşturulan servis sözleşmesi sayesinde jeneratörünüzden maksimum verim almanın yanı sıra bakım ve işletme maliyetlerini kontrol altında tutabilirsiniz.

    Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
    En iyi düzeyde palslı prosesler

    İki farklı çalışma moduna ve tamamen dijital ark yönetimine sahip TruPlasma Bias 3000 Serisi jeneratörler, en üst düzey kaplama kalitelerinin ve ayırma hızlarının elde edilmesini sağlamaktadır.

    Services_Electronics_Training
    Ayrıcalıklarımızdan biri de müşteriye özel eğitimlerimiz

    Katılımcıların gereksinimleri dikkate alınarak oluşturulan içeriklerin yer aldığı temel bilgiler, deneyimli servis teknisyenlerimiz tarafından sunulur.

    İletişim

    Satış
    Faks: +90 216 570 4510
    E-posta

    İndirebileceğiniz dosyalar

    Broşürler
    TruPlasma Bias 3000 / 4000 Serisi broşürü
    TruPlasma Bias 3000 / 4000 Serisi broşürü
    pdf - 1 MB
    Servis ve iletişim