Püskürtme prosesleriniz için üniversal jeneratörler
TruPlasma Bias 4000 Serisi, en modern palslı ve doğru akım ön gerilimli jeneratörlerin yer aldığı bir ürün grubudur. 100 kHz seviyesine kadar çıkabilen pals frekansları ve sürekli ön gerilim çıkışı elde edilebilir. Bu jeneratörler, özellikle örn. yarı iletken teknolojisinde veya sert malzeme kaplamada söz konusu olan optik ve metalik kaplama uygulamalarını destekler. Ayrıca, gerilim ve akım ile ilgili benzer gereklilikler taşıyan her türlü uygulamada kullanım için de uygundur.
Substrat dağlama işlemleri için 1200 V,
Ön gerilim destekli kaplama işlemleri için 300 V.
Bu sayede çok daha az damlacık birikmesi ve substrat hasarı.
Modern DSP teknolojisi ve FPGA sinyal değerlendirme özelliği sayesinde mükemmel ark yönetimi.
Aşınmaz kaplamaların üretimi
TruPlasma Bias 4000 Serisi doğru akım jeneratörleri, stabil bir plazma prosesinin ve dolayısıyla optimum bir kaplama kalitesinin elde edilmesini sağlar.
Geniş yüzeyli kaplama
Geniş yüzeyli kaplamalar, plazma prosesinde proses elektrik beslemesi bakımından son derece yüksek seviyelerin mevcut olmasını gerektirir. TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratörler, ilgili prosese göre uyarlanmış, dengeli ve optimal bir elektrik beslemesinin elde edilmesini sağlar, böylece tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde edilir.
Solar hücre üretimi
TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratörler, kritik önemdeki tüm PVD ve PECVD proseslerinde başarısını kanıtlamıştır. İlgili prosese göre uyarlanmış, dengeli ve optimal bir elektrik beslemesinin elde edilmesi için gereken tüm koşulları sağlayarak, tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde etmenize olanak verir.
TruPlasma Bias 4012
|
TruPlasma Bias 4018
|
TruPlasma Bias 4026
| |
|---|---|---|---|
| Çıkış | |||
| Nominal güç | 12 kW | 18 kW | 26 kW |
| Maksimum çıkış akımı | 40 A eff | 60 A eff | 87 A eff |
| Maksimum çıkış gerilimi | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
| Nominal işletim frekansı | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Arc parametre | |||
| Maksimum Arc oranı | 50 1/s | 50 1/s | 50 1/s |
| Arc uygulama süresi | <0,5 µs | <0,5 µs | <0,5 µs |
| Şebeke bağlantı verileri | |||
| Şebeke gerilimi | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V |
| Şebeke frekansı | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| İletişim arabirimleri | |||
| Analog/dijital | Evet | Evet | Evet |
| RS 232 / RS 485 | - | Evet | - |
| PROFIBUS | Evet | - | Evet |
| EtherCAT | Hayır | Hayır | Hayır |
| Gövde | |||
| Ağırlık | 70 kg | 70 kg | 71 kg |
| Koruma sınıfı IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
| Soğutucu talepleri | |||
| Soğutma maddesi | Hava | Hava | Hava |
| Soğutma maddesi sıcaklığı | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Genel | |||
| Toplam etki derecesi | 90 % | 90 % | 90 % |
| Sertifikalar / Standartlar | CE | CE | CE |
| Çevre şartları | |||
| Dış sıcaklık | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Hava nem oranı | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrik basınç | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa |
Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.
Aynı şekilde korunması garanti proses koşulları
Özel performans ve kontrol tasarımı, yüksek bir kaplama kalitesinin elde edilmesi ve dengeli bir prosesin yürütülmesi için çok önemli olan sağlam ve düzenli bir gerilimin elde edilmesini sağlar. DSP teknolojisiyle ve bir FPGA sinyal değerlendirmesi olacak şekilde tasarlanan TruPlasma Bias 4000 Serisi; modern ark yönetimi, eşsiz hassasiyet ve tekrarlanabilirlik özelliklerine de sahiptir. Her iki parametre için elde edilen etkileyici değerler, optimum proses istikrarının elde edilmesini sağlar.
Birçok proses için sadece tek bir cihaz sayesinde, kolaylaştırılmış sistem kullanımı
TruPlasma Bias 4000 Serisinde iki ayrı gerilim modu mevcuttur: 1200 Volt'a kadar çıkan yüksek gerilim modu ve 300 Volt'a kadar çıkan düşük gerilim modu. Bu modlar, özellikle örn. yarı iletken teknolojisinde veya sert malzeme kaplamada söz konusu olan optik ve metalik kaplama uygulamalarını destekler. Ayrıca, gerilim ve akım ile ilgili benzer gereklilikler taşıyan her türlü uygulamada kullanım için de uygundur.
Sorunsuz prosesler sayesinde optimum kaplama kalitesi
Ark enerjisi çok düşük olan tamamen dijital bir ark yönetimi ve CompensateLine ile donatılan TruPlasma Bias 4000 Serisi jeneratörler, yüksek kaplama kalitelerinin ve bırakım hızlarının elde edilmesini sağlar. Böylece çok daha az damlacık birikmesi ve substrat hasarı oluşur, daha iyi bir proses gerçekleştirilerek daha iyi bir nihai ürün elde edilir.
PVD Power
Birçok dili destekleyen, kullanıcı dostu PVD Power yazılımı, proses kalitesinin optimize edilmesine ve hataların etkin şekilde giderilmesine yönelik kullanım, konfigürasyon ve arıza arama olanakları sunar: İlgili tüm proses parametrelerine ait gerçek değerler, uyarılar ve alarm mesajları gösterilir, nominal değerler kullanıcı tarafından girilir ve önemli işletme parametreleri yüksek zamansal çözünürlük ile kaydedilir ve görselleştirilir (osiloskop fonksiyonu).
Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.
