Tek elden RF sistem çözümü
Yeni TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13) Matchbox'lar, TRUMPF Hüttinger radyo frekansı jeneratörleri için ideal bir tamamlayıcı niteliğindedir. Akıllı eşleştirme algoritması ve proses denetimine yönelik dijital kumanda platformu sayesinde, tüm komponentlerin birbirleriyle uyumlu şekilde çalıştığı bütüncül bir çözüm olan TRUMPF RF sistemi elde edilir.
Kritik koşullarda bile empedans, 50 Ohm değerine hızlı ve istikrarlı şekilde ayarlanabilir.
Gelişmiş yazılım ve jeneratör ile Matchbox arasında daha iyi iletişim.
Matchbox ve yük ile ilgili her empedans değişikliği için hızlı sistem izleme.
Proses parametrelerine yönelik optimum denetim ve erken ark algılama.
Grafiksel kullanıcı arayüzü ve etkin araçlar (Smith diyagramı, gerçek zamanlı osiloskop).
Yarı iletkenlerin, solar hücrelerin ve düz ekranların üretilmesi
Yarı iletkenlerin, solar hücrelerin ve düz ekranların üretilmesi sırasında stabil plazma proseslerinin yürütülmesi çok önemlidir. TRUMPF Hüttinger radyo frekansı jeneratörleri ile bağlantılı olan TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13) Matchbox'lar, en yüksek proses istikrarının ve verimliliğin elde edilmesine yönelik eksiksiz bir çözüm sunar.
Sert malzeme kaplamaları ve aşınmaya koruyucu kaplamaların uygulanması
Fonksiyonel kaplamaların uygulanması sayesinde, gerilimi yüksek olan iş parçaları daha yüksek mekanik sertliğe ve aynı zamanda daha iyi termik ve kimyasal stabiliteye sahip olur. TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13) Matchbox'lar, bir TRUMPF Hüttinger radyo frekansı jeneratörü ile birlikte çalıştığında mükemmel bir kaplama kalitesi elde edilmesini garanti eder.
Yüzeylere kaplamaların uygulanması
TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13) Matchbox'lar, bilinen tüm plazma proseslerinde yüzeylerin kaplanması veya aşındırılması amacıyla kullanılabilir - örneğin plazma dağlama, reaktif iyon dağlama, ALD, PECVD, RF püskürtme veya fotorezist plazma küllendirme. Bir TRUMPF Hüttinger radyo frekansı jeneratörü ile birlikte çalıştırıldığında optimum proses sonuçları elde edilir.
|
TruPlasma Match 3000 Serisi
Ürün karşılaştır
|
TruPlasma Match 6000 Serisi
Ürün karşılaştır
|
TruPlasma Match 12000 Serisi
Ürün karşılaştır
|
TruPlasma Match 24000 Serisi
Ürün karşılaştır
|
|
|---|---|---|---|---|
| RF çıkışı | ||||
| Çıkış gücü | 3 kW | 6 kW | 12 kW | 24 kW |
| Nominal güç | 3 kW | 6 kW | 12 kW | 24 kW |
| Çıkış frekansı | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Şebeke bağlantı verileri | ||||
| Şebeke gerilimi | (±10%) 23,5 V - 24,5 V | (±10%) 23,5 V - 24,5 V | (±10%) 87 V - 264 V | (±10%) 87 V - 264 V |
| Şebeke frekansı | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz |
| İletişim arabirimleri | ||||
| Sync arabirimler | Evet | Evet | Evet | Evet |
| Analog/dijital | Evet | Evet | Evet | Evet |
| RS 232 / RS 485 | Evet | Evet | Evet | Evet |
| PROFIBUS | Evet | Evet | Evet | Evet |
| EtherCAT | Evet | Evet | Evet | Evet |
| DeviceNet | Hayır | Hayır | Hayır | Hayır |
| Gövde | ||||
| Ağırlık | 15 kg | 8 kg | 27 kg | 30 kg |
| Koruma sınıfı IP | 21 | 21 | 21 | 21 |
| Soğutucu talepleri | ||||
| Maks. su basıncı | - | - | 6 bar | 6 bar |
| Min. basınç farkı | - | - | 1,5 bar | 1,5 bar |
| Min. akış miktarı | - | - | 3,5 l/dak | 5 l/dak |
| Soğutma maddesi sıcaklığı | - | - | 10 °C - 30 °C 1 | 10 °C - 30 °C 1 |
| Genel | ||||
| Sertifikalar / Standartlar | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 |
| Çevre şartları | ||||
| Dış sıcaklık | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C |
| Hava nem oranı | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % |
| Barometrik basınç | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa |
|
TruPlasma Match 3000 Serisi
|
TruPlasma Match 6000 Serisi
|
TruPlasma Match 12000 Serisi
|
TruPlasma Match 24000 Serisi
|
|
|---|---|---|---|---|
| RF çıkışı | ||||
| Çıkış gücü | 3 kW | 6 kW | 12 kW | 24 kW |
| Nominal güç | 3 kW | 6 kW | 12 kW | 24 kW |
| Çıkış frekansı | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Şebeke bağlantı verileri | ||||
| Şebeke gerilimi | (±10%) 23,5 V - 24,5 V | (±10%) 23,5 V - 24,5 V | (±10%) 87 V - 264 V | (±10%) 87 V - 264 V |
| Şebeke frekansı | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz |
| İletişim arabirimleri | ||||
| Sync arabirimler | Evet | Evet | Evet | Evet |
| Analog/dijital | Evet | Evet | Evet | Evet |
| RS 232 / RS 485 | Evet | Evet | Evet | Evet |
| PROFIBUS | Evet | Evet | Evet | Evet |
| EtherCAT | Evet | Evet | Evet | Evet |
| DeviceNet | Hayır | Hayır | Hayır | Hayır |
| Gövde | ||||
| Ağırlık | 15 kg | 8 kg | 27 kg | 30 kg |
| Koruma sınıfı IP | 21 | 21 | 21 | 21 |
| Soğutucu talepleri | ||||
| Maks. su basıncı | - | - | 6 bar | 6 bar |
| Min. basınç farkı | - | - | 1,5 bar | 1,5 bar |
| Min. akış miktarı | - | - | 3,5 l/dak | 5 l/dak |
| Soğutma maddesi sıcaklığı | - | - | 10 °C - 30 °C 1 | 10 °C - 30 °C 1 |
| Genel | ||||
| Sertifikalar / Standartlar | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 | CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 |
| Çevre şartları | ||||
| Dış sıcaklık | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C | 10 °C - 35 °C |
| Hava nem oranı | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % | 20 % - 75 % |
| Barometrik basınç | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa | 800 kPa - 1013 kPa |
Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.
Her zaman mükemmel proses kontrolü
Matchbox, her zaman 50 Ohm empedans ayarına doğrudan ve hızlıca erişilmesini sağlar - böylece proses içinde radyo frekansı jeneratörünün her zaman tam güç seviyesiyle çalışması garanti edilir. Matchbox ile jeneratör arasındaki kesintisiz iletişim, proseslerin en uygun şekilde denetlenmesine ve arkların erkenden algılanmasına olanak sağlar.
Tüm parametreler bir arada
Radyo frekansı giriş ve çıkış gücü gerçek zamanlı ölçülerek dinamik empedans değişimleri gösterilirken, soğutma sensörleri de kayıp güç ile ilgili güvenilir bir tahmin yürütülmesini sağlar. Karmaşık görüntüleme seçenekleri (Smith diyagramı, gerçek zamanlı osiloskop) olan grafiksel kumanda yazılımı sayesinde, ilgili tüm proses parametrelerini bir arada görebilirsiniz.
TRUMPF SystemPort
SystemPort, RF sinyalini doğrudan Matchbox girişinde ve çıkışında ölçerek kapalı kontrol sistemi sağlar. RF jeneratörüne tüm ölçüm değerleri sunulur. Bu şekilde proses parametreleri daha iyi denetlenebilir, Matchbox korunur ve erken ark algılaması sağlanabilir. Komple RF sistemi aynı zamanda tek bir jeneratör arabiriminden kumanda edilebilir.
Farklı opsiyonlar sayesinde TRUMPF RF sisteminizi uygulamanıza en uygun şekilde uyarlayabilirsiniz.
Plazma anormalliklerinin algılanmasına yönelik yüksek hassasiyetli alternatif akım ölçümü özelliği, doğrudan oda içinde prosese yakın Matchbox içine yerleştirilir.
Kapsamlı ark yönetimi, en iyi plazma prosesi kontrolü için ideal modüldür. Hedef odaklı ark algılaması, maksimum verimlilik sağlar ve aynı zamanda ürünü ve sistemi korur.
Opsiyonel arabirimler olarak; analog/dijital, PROFIBUS ve EtherCAT arabirimleri mevcuttur. Standart olanlar EtherNet, SystemPort ve RS232/485 arabirimleridir.
TruControl Power
Kullanıcı dostu kontrol yazılımı TruControl Power, radyo frekansı jeneratörünün veya TRUMPF RF sisteminin proses devam ederken konforlu şekilde işletmeye alınmasına ve güvenli şekilde denetlenmesine olanak sağlanır.
Grafiksel kumanda yazılımı
Karmaşık grafiksel gösterimler, ilgili tüm proses parametrelerinin kapsamlı şekilde kontrol edilmesine olanak sağlar. Yük ve Matchbox empedansı değerleri bir Smith diyagramı aracılığıyla, HF giriş ve çıkış gücü ise frekans ve faz durumu ile birlikte gerçek zamanlı bir osiloskop aracılığıyla görselleştirilir.
Radyo frekansı jeneratöründen ve Matchbox'tan oluşan TRUMPF RF sistemi, en iyi proses sonuçları için mükemmel uyumun sergilendiği bir genel sistemdir.
Karmaşık grafiksel gösterimler, ilgili tüm proses parametrelerinin kapsamlı şekilde kontrol edilmesine olanak sağlar. Yük ve Matchbox empedansı değerleri bir Smith diyagramı aracılığıyla, radyo frekansı giriş ve çıkış gücü ise frekans ve faz durumu ile birlikte gerçek zamanlı bir osiloskop aracılığıyla görselleştirilir.
Ana osilatörler sayesinde, kritik önemdeki senkron plazma proseslerini stabilize ve optimize edebilirsiniz. Entegre dijital frekans ve faz birleştirici, yüksek frekans ve faz stabilitesini sağlar ve faz sisteminin çok küçük adım genişlikleriyle ayarlanabilmesine olanak sağlar. 13,56 MHz frekans değeri ve farklı frekans kombinasyonları için seçebilecek farklı ana osilatör modelleri mevcuttur.
Yüksek frekans çevirici, bir radyo frekansı jeneratörünün farklı plazma proses istasyonlarında, örneğin elektrik beslemesi, sıralı prosesler veya farklı besleme noktalı sistemler için çoklu kullanıma olanak verir. İki güç sınıfında olan ve 2, 3 veya 4 çıkışlı farklı yüksek frekans çeviriciler mevcuttur.
TRUMPF Hüttinger, 50 Ohm sistemlerde kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmış, yüksek frekans güç transferine yönelik bir coax kablo sunar.
Plazma proseslerine tam hakimiyet
Plazma prosesleri, elektrik beslemesinin jeneratör ile sürekli olarak revize edilmesi gereken karmaşık, değişken bir yük gibi davranır. Bu özellikler, Matchbox adı verilen ve optimum 50 Ohm empedans değerindeki hassas ayarın her zaman garanti edilmesini sağlayan aktif uyarlama şebekeleriyle sağlanır. Bu sayede, birbirleriyle mükemmel bir uyum içinde olan TRUMPF RF sistem çözümü ortaya çıkmıştır. EtherCAT gibi çeşitli arabirimler aracılığıyla, jeneratörü ve Matchbox'ı mevcut proses ortamınıza son derece kolayca entegre edebilirsiniz ve SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matcbox bağlantısı ile ideal sistem çözümüne ulaşabilirsiniz.
Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.
Dipnotlar-
Soğutma suyu sıcaklığı, yoğuşmayı önlemek için mekan sıcaklığının yoğuşma noktasını aşmalıdır.
