Bu Web sitesini sunmak için çerezlerden yararlanıyoruz. Bu Web sitesini, çerez ayarlarını değiştirmeden kullanmaya devam ederseniz, çerezlerin kullanımına onay veriyorsunuz demektir.
RF sistem çözümü: En yüksek proses istikrarı için Matchbox
RF sistem çözümü: En yüksek proses istikrarı için Matchbox
Plazma uyarımlar
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13)

Gerçek zamanlı ölçüm ile akıllı eşleştirme

    - / -
    • Genel bakış
    • Uygulamalar
    • Teknik veriler
    • Müşteri faydası
    • Opsiyonlar
    • Yazılım
    • Sistem bileşenleri
    • Yüksek frekans sistemi
    • Daha fazla Daha az
    Tek elden RF sistem çözümü

    Yeni TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13) Matchbox'lar, TRUMPF Hüttinger radyo frekansı jeneratörleri için ideal bir tamamlayıcı niteliğindedir. Akıllı eşleştirme algoritması ve proses denetimine yönelik dijital kumanda platformu sayesinde, tüm komponentlerin birbirleriyle uyumlu şekilde çalıştığı bütüncül bir çözüm olan TRUMPF RF sistemi elde edilir.

    Akıllı eşleştirme algoritması

    Kritik koşullarda bile empedans, 50 Ohm değerine hızlı ve istikrarlı şekilde ayarlanabilir.

    Tüm sistemde ideal uyum

    Gelişmiş yazılım ve jeneratör ile Matchbox arasında daha iyi iletişim.

    Radyo frekansı gücü için gerçek zamanlı ölçüm

    Matchbox ve yük ile ilgili her empedans değişikliği için hızlı sistem izleme.

    Kapalı kontrol devresi

    Proses parametrelerine yönelik optimum denetim ve erken ark algılama.

    Kullanıcı dostu proses kontrolü

    Grafiksel kullanıcı arayüzü ve etkin araçlar (Smith diyagramı, gerçek zamanlı osiloskop).

    RF sistem çözümü: En yüksek proses istikrarı için Matchbox

    Yarı iletkenlerin, solar hücrelerin ve düz ekranların üretilmesi

    Yarı iletkenlerin, solar hücrelerin ve düz ekranların üretilmesi sırasında stabil plazma proseslerinin yürütülmesi çok önemlidir. TRUMPF Hüttinger radyo frekansı jeneratörleri ile bağlantılı olan TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13) Matchbox'lar, en yüksek proses istikrarının ve verimliliğin elde edilmesine yönelik eksiksiz bir çözüm sunar.

    Sert malzeme kaplamalarda destek sunan TruPlasma Match 1000 (G2/13) Serisi Matchbox'ları

    Sert malzeme kaplamaları ve aşınmaya koruyucu kaplamaların uygulanması

    Fonksiyonel kaplamaların uygulanması sayesinde, gerilimi yüksek olan iş parçaları daha yüksek mekanik sertliğe ve aynı zamanda daha iyi termik ve kimyasal stabiliteye sahip olur. TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13) Matchbox'lar, bir TRUMPF Hüttinger radyo frekansı jeneratörü ile birlikte çalıştığında mükemmel bir kaplama kalitesi elde edilmesini garanti eder.

    TruPlasma Match 1000 (G2/13) Serisi Matchbox'lar, geniş yüzeyli kaplama için idealdir

    Yüzeylere kaplamaların uygulanması

    TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13) Matchbox'lar, bilinen tüm plazma proseslerinde yüzeylerin kaplanması veya aşındırılması amacıyla kullanılabilir - örneğin plazma dağlama, reaktif iyon dağlama, ALD, PECVD, RF püskürtme veya fotorezist plazma küllendirme. Bir TRUMPF Hüttinger radyo frekansı jeneratörü ile birlikte çalıştırıldığında optimum proses sonuçları elde edilir.

    RF çıkışı        
    Çıkış gücü 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
    Nominal güç 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
    Çıkış frekansı 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Şebeke bağlantı verileri        
    Şebeke gerilimi (±10%) 23,5 V - 24,5 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 23,5 V - 24,5 V
    Şebeke frekansı 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz 50 Hz - 60 Hz
    İletişim arabirimleri        
    Sync arabirimler Evet Evet Evet Evet
    Analog/dijital Evet Evet Evet Evet
    RS 232 / RS 485 Evet Evet Evet Evet
    PROFIBUS Evet Evet Evet Evet
    EtherCAT Evet Evet Evet Evet
    DeviceNet Hayır Hayır Hayır Hayır
    Gövde        
    Ağırlık 8 kg 27 kg 30 kg 15 kg
    Koruma sınıfı IP 21 21 21 21
    Soğutucu talepleri        
    Maks. su basıncı - 6 bar 6 bar -
    Min. basınç farkı - 1,5 bar 1,5 bar -
    Min. akış miktarı - 3,5 l/dak 5 l/dak -
    Soğutma maddesi sıcaklığı - 10 °C - 30 °C 1 10 °C - 30 °C 1 -
    Genel        
    Sertifikalar / Standartlar CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47
    Çevre şartları        
    Dış sıcaklık 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C
    Hava nem oranı 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 %
    Barometrik basınç 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa
    PDF <1MB
    Teknik veri sayfası

    Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.

    Radyo frekansı jeneratörünün her zaman tam güç seviyesiyle çalışması garanti edilir

    Her zaman mükemmel proses kontrolü

    Matchbox, her zaman 50 Ohm empedans ayarına doğrudan ve hızlıca erişilmesini sağlar - böylece proses içinde radyo frekansı jeneratörünün her zaman tam güç seviyesiyle çalışması garanti edilir. Matchbox ile jeneratör arasındaki kesintisiz iletişim, proseslerin en uygun şekilde denetlenmesine ve arkların erkenden algılanmasına olanak sağlar.

    Kullanıcı dostu TruControl Power yazılımı

    Tüm parametreler bir arada

    Radyo frekansı giriş ve çıkış gücü gerçek zamanlı ölçülerek dinamik empedans değişimleri gösterilirken, soğutma sensörleri de kayıp güç ile ilgili güvenilir bir tahmin yürütülmesini sağlar. Karmaşık görüntüleme seçenekleri (Smith diyagramı, gerçek zamanlı osiloskop) olan grafiksel kumanda yazılımı sayesinde, ilgili tüm proses parametrelerini bir arada görebilirsiniz.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    SystemPort, RF sinyalini doğrudan Matchbox girişinde ve çıkışında ölçerek kapalı kontrol sistemi sağlar. RF jeneratörüne tüm ölçüm değerleri sunulur. Bu şekilde proses parametreleri daha iyi denetlenebilir, Matchbox korunur ve erken ark algılaması sağlanabilir. Komple RF sistemi aynı zamanda tek bir jeneratör arabiriminden kumanda edilebilir.

    Farklı opsiyonlar sayesinde TRUMPF RF sisteminizi uygulamanıza en uygun şekilde uyarlayabilirsiniz.

    Radyo frekansı akım ölçümü

    Plazma anormalliklerinin algılanmasına yönelik yüksek hassasiyetli alternatif akım ölçümü özelliği, doğrudan oda içinde prosese yakın Matchbox içine yerleştirilir.

    Ark yönetimi

    Kapsamlı ark yönetimi, en iyi plazma prosesi kontrolü için ideal modüldür. Hedef odaklı ark algılaması, maksimum verimlilik sağlar ve aynı zamanda ürünü ve sistemi korur.

    Arabirimler

    Opsiyonel arabirimler olarak; analog/dijital, PROFIBUS ve EtherCAT arabirimleri mevcuttur. Standart olanlar EtherNet, SystemPort ve RS232/485 arabirimleridir.

    Kullanıcı dostu TruControl Power yazılımı

    TruControl Power

    Kullanıcı dostu kontrol yazılımı TruControl Power, radyo frekansı jeneratörünün veya TRUMPF RF sisteminin proses devam ederken konforlu şekilde işletmeye alınmasına ve güvenli şekilde denetlenmesine olanak sağlanır.

    Kullanıcı dostu TruControl Power yazılımı

    Grafiksel kumanda yazılımı

    Karmaşık grafiksel gösterimler, ilgili tüm proses parametrelerinin kapsamlı şekilde kontrol edilmesine olanak sağlar. Yük ve Matchbox empedansı değerleri bir Smith diyagramı aracılığıyla, HF giriş ve çıkış gücü ise frekans ve faz durumu ile birlikte gerçek zamanlı bir osiloskop aracılığıyla görselleştirilir.

    Radyo frekansı jeneratöründen ve Matchbox'tan oluşan TRUMPF RF sistemi, en iyi proses sonuçları için mükemmel uyumun sergilendiği bir genel sistemdir.

    Kullanıcı dostu TruControl Power yazılımı
    Grafiksel kumanda yazılımı

    Karmaşık grafiksel gösterimler, ilgili tüm proses parametrelerinin kapsamlı şekilde kontrol edilmesine olanak sağlar. Yük ve Matchbox empedansı değerleri bir Smith diyagramı aracılığıyla, radyo frekansı giriş ve çıkış gücü ise frekans ve faz durumu ile birlikte gerçek zamanlı bir osiloskop aracılığıyla görselleştirilir.

    Kritik senkron plazma proseslerinin stabilizasyonu için ana osilatör
    Ana osilatörler

    Ana osilatörler sayesinde, kritik önemdeki senkron plazma proseslerini stabilize ve optimize edebilirsiniz. Entegre dijital frekans ve faz birleştirici, yüksek frekans ve faz stabilitesini sağlar ve faz sisteminin çok küçük adım genişlikleriyle ayarlanabilmesine olanak sağlar. 13,56 MHz frekans değeri ve farklı frekans kombinasyonları için seçebilecek farklı ana osilatör modelleri mevcuttur.

    Esnek plazma sistemlerinde radyo frekansı jeneratörü kullanımı için yüksek frekans çevirici
    Yüksek frekans çevirici

    Yüksek frekans çevirici, bir radyo frekansı jeneratörünün farklı plazma proses istasyonlarında, örneğin elektrik beslemesi, sıralı prosesler veya farklı besleme noktalı sistemler için çoklu kullanıma olanak verir. İki güç sınıfında olan ve 2, 3 veya 4 çıkışlı farklı yüksek frekans çeviriciler mevcuttur.

    Belirtilmiş güçlerin transferi için coax kablo
    Coax kablo

    TRUMPF Hüttinger, 50 Ohm sistemlerde kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmış, yüksek frekans güç transferine yönelik bir coax kablo sunar.

    Jeneratör ve Matchbox: Birbiriyle mükemmel uyumlu bir sistem

    Plazma proseslerine tam hakimiyet

    Plazma prosesleri, elektrik beslemesinin jeneratör ile sürekli olarak revize edilmesi gereken karmaşık, değişken bir yük gibi davranır. Bu özellikler, Matchbox adı verilen ve optimum 50 Ohm empedans değerindeki hassas ayarın her zaman garanti edilmesini sağlayan aktif uyarlama şebekeleriyle sağlanır. Bu sayede, birbirleriyle mükemmel bir uyum içinde olan TRUMPF RF sistem çözümü ortaya çıkmıştır. EtherCAT gibi çeşitli arabirimler aracılığıyla, jeneratörü ve Matchbox'ı mevcut proses ortamınıza son derece kolayca entegre edebilirsiniz ve SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matcbox bağlantısı ile ideal sistem çözümüne ulaşabilirsiniz.

    Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.

    Dipnotlar
    • Soğutma suyu sıcaklığı, yoğuşmayı önlemek için mekan sıcaklığının yoğuşma noktasını aşmalıdır.

    İlginizi çekebilecek diğer konular

    TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
    Minimum maliyet ile maksimum sonuç

    Yeni nesil radyo frekansı jeneratörleri olan TruPlasma RF 1000 / 3000 Serisi (G2/13), stabil plazma akımı beslemesi için en iyi sonuçları sunmaktadır.

    VHF Generator Serie 3000
    Güçlü tasarım ve yüksek tasarruf

    TRUMPF Hüttinger tarafından üretilen modüler, ölçeklendirilebilir ve yenilikçi VHF jeneratörler, tasarruflu çalışması ve dayanıklı tasarımı ile ön plana çıkmaktadır.

    Services_Electronics_Training
    Ayrıcalıklarımızdan biri de müşteriye özel eğitimlerimiz

    Katılımcıların gereksinimleri dikkate alınarak oluşturulan içeriklerin yer aldığı temel bilgiler, deneyimli servis teknisyenlerimiz tarafından sunulur.

    İletişim

    Satış
    Faks: +90 216 570 4510
    E-posta

    İndirebileceğiniz dosyalar

    TruPlasma RF Sistemi broşürü
    TruPlasma RF Sistemi broşürü
    pdf - 6 MB
    Servis ve iletişim