Bu web sitesinin fonksiyonlarının hazırlanması için çerez kullanıyoruz. Çerezleri daha başka amaçlar için kullanmamıza izin verirseniz lütfen buraya tıklayın. Çerezleri devre dışı bırakmak ve gizlilik ile ilgili bilgiler
TruPlasma RF 3006 radyo frekansı jeneratörü
TruPlasma RF 3006 radyo frekansı jeneratörü
Plazma uyarımlar
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisi

En yüksek verimlilik için stabil prosesler

Yeni nesil radyo frekansı jeneratörleri

Yüzeylerin kaplanması veya yapılandırılması sırasında, dengeli ve tekrarlanabilir yapıda bir plazma elektrik beslemesinin mevcut olması son derece önemlidir. Bunun için, modern güç teknolojileri ile donatılmış olan TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisi radyo frekansı jeneratörleri en iyi koşulları sağlar. Dengeli çıkış gücü ve yüksek ayar hassasiyeti sayesinde, en yüksek verimlilikle en iyi sonuçları elde etmeniz garanti edilir.

Yüksek hassasiyet ve tekrarlanabilirlik

CombineLine teknolojisi: 50 Ohm çıkış empedansı sayesinde ideal performans.

Yüksek frekans kablo uzunluğundan bağımsız

HF alanındaki büyük yenilik sayesinde kablo uzunluğu ayarlamaya gerek kalmaz!

Sağlamlık ve güvenlik

CombineLine teknolojisi: Hatalı ayar durumunda yansıyacak güce karşı güvenilir koruma sağlar.

Verimli ve ekonomik

Verimlilik oranında %80'lere varan artış elde edilmesi, enerji maliyetlerinin %50'ye yakın azaltılmasına olanak sağlar.

Fansız soğutma konsepti

Ortam havasında kirlenme veya ısınma olmaz, bu nedenle temiz odada çalıştırılabilir.

TruPlasma RF 3006 radyo frekansı jeneratörü

Düz ekranların kaplanması için idealdir

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisi radyo frekansı jeneratörleri RIE, ALD, PECVD ve RF saçtırma gibi plazma işlemleri için ideal bir tercihtir. Bu proses temel olarak yarı iletken yapı elemanlarının ve mikromekanik sistemlerin (MEMS) üretilmesinde ve düz ekranların ve solar hücrelerin kaplanmasında kullanılır.

Solar hücre üretimi

Tipik olarak güneş enerjisi endüstrisinde kullanılır

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisinin tipik uygulama alanları; güneş enerjisi endüstrisindeki zorlu PECVD, dağlama ve HF saçtırma işlemleridir.

Dağlama ve kaplama prosesleri için idealdir

Yarı iletken üretimi

Yarı iletkenlerin üretiminde, kuru dağlama ile malzeme sıyırma proseslerinden saf silisyum üretimindeki bölgesel çekmeye kadar çeşitli plazma prosesleri kullanılır. TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisi jeneratörler, ilgili prosese göre uyarlanmış, dengeli ve ideal bir elektrik beslemesinin elde edilmesini sağlar, böylece tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde edilir.

- / -
TruPlasma RF 1002
TruPlasma RF 1003
TruPlasma RF 3006
RF çıkışı      
Çıkış gücü 2 kW 3 kW 6 kW
Nominal güç 2 kW 3 kW 6 kW
Nominal yük empedansı 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Çıkış frekansı 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Şebeke bağlantı verileri      
Şebeke gerilimi 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
Şebeke frekansı 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
Şebeke giriş gücü 3,1 kVA 4,3 kVA 7,9 kVA
Güç faktörü 0,95 0,95 0,95
İletişim arabirimleri      
Sync arabirimler Evet Evet Evet
Analog/dijital Evet Evet Evet
RS 232 / RS 485 Evet Evet Evet
PROFIBUS Evet Evet Evet
EtherCAT Evet Evet Evet
DeviceNet Evet Evet Evet
Gövde      
Ağırlık 18 kg 18 kg 38 kg
Koruma sınıfı IP 30 30 30
Soğutucu talepleri      
Maks. su basıncı 7 bar 7 bar 7 bar
Min. basınç farkı 1,1 bar 1,1 bar 1,1 bar
Min. akış miktarı 4 l/dak 4 l/dak 8 l/dak
Soğutma maddesi sıcaklığı 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
Genel      
Toplam etki derecesi 80 % 80 % 80 %
Sertifikalar / Standartlar Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs
Çevre şartları      
Dış sıcaklık 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Hava nem oranı 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrik basınç 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Teknik veri sayfası

Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.

Entegre CombineLine teknolojisi

Prosesinizle optimum uyum

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) Serisi akıllı gerçek zamanlı eşleştirme sistemi, empedans değerinin doğrudan hızlı bir şekilde 50 Ohm seviyesine ayarlanmasına olanak sağlar. Patentli CombineLine teknolojisi ile plazma dalgalanmaları ve kirlenmeler güvenilir şekilde önlenir, fansız soğutma konsepti ile hata oranı düşürülür, verimlilik yükseltilir ve temiz odada kullanıma olanak sağlanır.

Paralel salınımlı devreler için radyo frekansı jeneratörü

Maksimum verimlilik ve esneklik

Verimlilik oranını %80'e kadar yükselterek, enerji maliyetlerinizi klasik jeneratörlere kıyasla %50'ye kadar düşürebilirsiniz. Çok sayıdaki mevcut arabirim (yapılandırılabilir analog arabirim, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) sayesinde mevcut sistemlere entegrasyon kolaylaşır, ultra geniş aralıklı entegre güç üniteleri (200-480 VAC) sayesinde teknik adaptasyonlar yapılmasına gerek kalmaz. Kompakt yapı şekline (19 inç veya ½-19 inç yuva) rağmen yüksek performans gücü, her türlü üretim sistemine yer tasarruflu entegrasyona olanak sağlar.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPort, RF sinyalini doğrudan Matchbox girişinde ve çıkışında ölçerek kapalı kontrol sistemi sağlar. RF jeneratörüne tüm ölçüm değerleri sunulur. Bu şekilde proses parametreleri daha iyi denetlenebilir, Matchbox korunur ve erken ark algılaması sağlanabilir. Komple RF sistemi aynı zamanda tek bir jeneratör arabiriminden kumanda edilebilir.

Farklı opsiyonlar sayesinde, radyo frekansı jeneratörünüzü uygulamanıza en uygun şekilde uyarlayabilirsiniz.

HF ark yönetimi

Kapsamlı ark yönetimi, en iyi plazma prosesi kontrolü için ideal modüldür. Hedef odaklı ark algılaması, maksimum verimlilik sağlar ve aynı zamanda ürünü ve sistemi korur.

Otomatik frekans ayarı

Patentli Auto Freuquency Tuning sistemi, eşzamanlı ve hızlı frekans uygunlaştırması sağlayarak jeneratör ve Matchbox arasında ideal uyum oluşturur. Bu patentli teknik sayesinde, lokal minimum sonuçlar artık engel olmaktan çıkıyor. RF sistemi en iyi sonuca ulaştırarak sürdürülebilir ve ideal üretim sonuçları sağlamaktadır.

TRUMPF RF sistemini tüm komponentleri birbirleriyle optimum uyum içindedir.

RF sistem çözümü: En yüksek proses istikrarı için Matchbox
TruPlasma Match 1000 (G2/13) Serisi Matchbox

TruPlasma Match uygunlaştırma devreleri, jeneratörden plazma deşarjına optimum bir güç transferinin gerçekleştirilmesini sağlar. Matchbox tek başına veya SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matchbox bağlantısı üzerinden çalıştırılabilir.

Kritik senkron plazma proseslerinin stabilizasyonu için ana osilatör
Ana osilatörler

Ana osilatörler sayesinde, kritik önemdeki senkron plazma proseslerini stabilize ve optimize edebilirsiniz. Entegre dijital frekans ve faz birleştirici, yüksek frekans ve faz stabilitesini sağlar ve faz sisteminin çok küçük adım genişlikleriyle ayarlanabilmesine olanak sağlar. 13,56 MHz frekans değeri ve farklı frekans kombinasyonları için seçebilecek farklı ana osilatör modelleri mevcuttur.

Esnek plazma sistemlerinde radyo frekansı jeneratörü kullanımı için yüksek frekans çevirici
Yüksek frekans çevirici

Yüksek frekans çevirici, bir radyo frekansı jeneratörünün farklı plazma proses istasyonlarında, örneğin elektrik beslemesi, sıralı prosesler veya farklı besleme noktalı sistemler için çoklu kullanıma olanak verir. İki güç sınıfında olan ve 2, 3 veya 4 çıkışlı farklı yüksek frekans çeviriciler mevcuttur.

Belirtilmiş güçlerin transferi için coax kablo
Coax kablo

TRUMPF Hüttinger, 50 Ohm sistemlerde kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmış, yüksek frekans güç transferine yönelik bir coax kablo sunar.

Jeneratör ve Matchbox: Birbiriyle mükemmel uyumlu bir sistem

Birbirleriyle mükemmel uyumlu: TRUMPF RF sistemi

Plazma prosesleri, elektrik beslemesinin jeneratör ile sürekli olarak revize edilmesi gereken karmaşık, değişken bir yük gibi davranır. Bu özellikler, Matchbox adı verilen ve optimum 50 Ohm empedans değerindeki hassas ayarın her zaman garanti edilmesini sağlayan aktif uyarlama şebekeleriyle sağlanır. Bu sayede, birbirleriyle mükemmel bir uyum içinde olan TRUMPF RF sistem çözümü ortaya çıkmıştır. EtherCAT gibi çeşitli arabirimler aracılığıyla, jeneratörü ve Matchbox'ı mevcut proses ortamınıza son derece kolayca entegre edebilirsiniz ve SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matcbox bağlantısı ile ideal sistem çözümüne ulaşabilirsiniz.

Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.

Dipnotlar
  • Soğutma suyu sıcaklığı, yoğuşmayı önlemek için mekan sıcaklığının yoğuşma noktasını aşmalıdır.

İlginizi çekebilecek diğer konular

İletişim

Satış
Faks +90 216 570 4510
E-posta

İndirebileceğiniz dosyalar

TruPlasma RF 1000 3000 Serisi broşürü
TruPlasma RF 1000 3000 Serisi broşürü
pdf - 337 KB
TruPlasma RF Sistemi broşürü
pdf - 6 MB
Servis ve iletişim

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Turkey . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Turkey
United States

Or select a country or region.