Bu web sitesinin fonksiyonlarının hazırlanması için çerez kullanıyoruz. Çerezleri daha başka amaçlar için kullanmamıza izin verirseniz lütfen buraya tıklayın. Çerezleri devre dışı bırakmak ve gizlilik ile ilgili bilgiler
TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006 radyo frekansı jeneratörleri
TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006 radyo frekansı jeneratörleri
Plazma uyarımlar
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF 3000 Serisi

Ödünsüz radyo frekansı teknolojisi

Mükemmel proses sonuçları garanti

Bu radyo frekansı jeneratörleri ile her zaman emin olabilirsiniz: TruPlasma RF 3000 Serisi, sağlam yapıları ve yüksek verimlilik ile ön plana çıkar. Bu nedenle düz ekranların, solar hücrelerin veya yarı iletkenlerin üretilmesi gibi zorlu üretimlerde stabil ve tekrarlanabilir plazma üretim süreçlerinin yürütülmesi için idealdir. Dünya genelinde binlerce uygulaması gerçekleştirilen bu jeneratörler, yüksek verimliliği ve olağanüstü proses sonuçlarını garanti eder.

Verimli ve ekonomik

Verimlilik oranında %80'lere varan artış elde edilmesi, enerji maliyetlerinin %50'ye yakın azaltılmasına olanak sağlar.

Mükemmel RC ark yönetimi

Zorlu ve yeni üretim prosesleri de güvenle gerçekleştirilebilir.

Yüksek sağlamlık ve proses istikrarı

CombineLine teknolojisi: Hatalı ayar durumunda yansıyacak güçlere karşı güvenilir koruma sağlar.

Maksimum esneklik

Sürekli veya palslı güç çıkışı vardır, bu nedenle çok yönlü kullanılabilir.

Dağlama ve kaplama prosesleri için idealdir

Dağlama ve kaplama prosesleri

TruPlasma RF 3000 Serisi radyo frekansı jeneratörleri, özellikle dağlama ve kaplama prosesleri için uygundur, örn. plazma dağlama, reaktif iyon dağlama, ALD ve PECVD.

Metal iş parçalarını kaplamak için idealdir

Metal iş parçalarını kaplama

Plazma prosesleri aracılığıyla yüzeylere malzeme uygulaması yapılabileceği gibi mevcut malzemelerin sıyrılması da mümkündür, örneğin metal iş parçalarının aşınma koruyucu katman ile kaplanması veya elektronik yapı elemanlarının plazma dağlama veya fotorezist plazma küllendirme işlemiyle yapılandırılması için.

Düz ekranları kaplamak için birinci sınıf elektrik beslemesi

Düz ekranları ve solar hücreleri kaplama

TruPlasma RF 3000 Serisi radyo frekansı jeneratörleri RIE, ALD, PECVD ve RF saçtırma gibi plazma işlemleri için ideal bir tercihtir. Bu prosesler temel olarak düz ekranların ve solar hücrelerin kaplanmasında kullanılır.

- / -
RF çıkışı          
Çıkış gücü 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Nominal güç 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Nominal yük empedansı 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Çıkış frekansı 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Şebeke bağlantı verileri          
Şebeke gerilimi 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
Şebeke frekansı 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
Şebeke giriş gücü 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
Güç faktörü 0,93 0,93 0,93 - -
İletişim arabirimleri          
Sync arabirimler Evet Evet Evet Evet Evet
Analog/dijital Evet Evet Evet Evet Evet
RS 232 / RS 485 Evet Evet Evet Evet Evet
PROFIBUS Evet Evet Evet Evet Evet
EtherCAT Evet Evet Evet Hayır Hayır
DeviceNet Evet Evet Evet Evet Evet
Gövde          
Ağırlık 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
Koruma sınıfı IP 20 20 20 54 54
Soğutucu talepleri          
Maks. su basıncı 7 bar 7 bar 7 bar 6 bar 6 bar
Min. basınç farkı 2 bar 2 bar 2 bar 2,5 bar 2,5 bar
Min. akış miktarı 10 l/dak 20 l/dak 20 l/dak 46 l/dak 56 l/dak
Soğutma maddesi sıcaklığı 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
Genel          
Toplam etki derecesi 78 % 75 % 75 % - -
Sertifikalar / Standartlar SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
Çevre şartları          
Dış sıcaklık 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Hava nem oranı 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrik basınç 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Teknik veri sayfası

Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.

Entegre CombineLine teknolojisi

En yüksek verimlilik ve proses istikrarı

Mükemmel verimlilik oranı sayesinde güç kaybı yarıya iner ve soğutma suyu tüketimi düşer - böylece işletim masraflarınız da azalır. Jeneratörlerin son derece sağlam yapıları, kritik önemdeki proseslerde bile daha uzun çalışma süreleri boyunca kullanılmalarına ve dolayısıyla daha yüksek kaplama hızları elde edilmesine olanak sağlar. Gerçek 50 Ohm çıkış empedansı ile CombineLine teknolojisi kullanılarak plazma dalgalanmaları etkin şekilde önlenir - bu sayede mutlak proses istikrarı sağlanabilir.

TruPlasma RF 3012 radyo frekansı jeneratörü

Tüm koşullar altında güvenlik

Sağlam yapısı sayesinde, proseslerinizde maksimum güvenilirlik ve verimlilik elde etmenizi sağlar. Yanlış ayarlamaya karşı %100 koruma sağlayan sistem, kritik yüklenme durumlarında bile güvenli bir işletim sağlar. Tercihen sürekli veya palsli güç çıkışının kullanılabilmesi, geniş bir yelpazedeki proses gerekliliklerini karşılayabilme olanağı sunar. Dünya genelinde 20.000'i aşın ünitenin kurulumu gerçekleştirilmiştir - diğer tüm plazma elektrik beslemelerinden çok daha fazla sayıdadır.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPort, RF sinyalini doğrudan Matchbox girişinde ve çıkışında ölçerek kapalı kontrol sistemi sağlar. RF jeneratörüne tüm ölçüm değerleri sunulur. Bu şekilde proses parametreleri daha iyi denetlenebilir, Matchbox korunur ve erken ark algılaması sağlanabilir. Komple RF sistemi aynı zamanda tek bir jeneratör arabiriminden kumanda edilebilir.

Farklı opsiyonlar sayesinde, radyo frekansı jeneratörünüzü uygulamanıza en uygun şekilde uyarlayabilirsiniz.

Ark yönetimi

Kapsamlı ark yönetimi, en iyi plazma prosesi kontrolü için ideal modüldür. Hedef odaklı ark algılaması, maksimum verimlilik sağlar ve aynı zamanda ürünü ve sistemi korur.

Kullanıcı dostu TruControl Power yazılımı

TruControl Power

Kullanıcı dostu kontrol yazılımı TruControl Power, radyo frekansı jeneratörünün veya TRUMPF RF sisteminin proses devam ederken konforlu şekilde işletmeye alınmasına ve güvenli şekilde denetlenmesine olanak sağlanır.

TRUMPF RF sistemini tüm komponentleri birbirleriyle optimum uyum içindedir.

RF sistem çözümü: En yüksek proses istikrarı için Matchbox
TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13)

TruPlasma Match uygunlaştırma devreleri, jeneratörden plazma deşarjına optimum bir güç transferinin gerçekleştirilmesini sağlar. Matchbox tek başına veya SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matchbox bağlantısı üzerinden çalıştırılabilir.

Kritik senkron plazma proseslerinin stabilizasyonu için ana osilatör
Ana osilatörler

Ana osilatörler sayesinde, kritik önemdeki senkron plazma proseslerini stabilize ve optimize edebilirsiniz. Entegre dijital frekans ve faz birleştirici, yüksek frekans ve faz stabilitesini sağlar ve faz sisteminin çok küçük adım genişlikleriyle ayarlanabilmesine olanak sağlar. 13,56 MHz frekans değeri ve farklı frekans kombinasyonları için seçebilecek farklı ana osilatör modelleri mevcuttur.

Esnek plazma sistemlerinde radyo frekansı jeneratörü kullanımı için yüksek frekans çevirici
Yüksek frekans çevirici

Yüksek frekans çevirici, bir radyo frekansı jeneratörünün farklı plazma proses istasyonlarında, örneğin elektrik beslemesi, sıralı prosesler veya farklı besleme noktalı sistemler için çoklu kullanıma olanak verir. İki güç sınıfında olan ve 2, 3 veya 4 çıkışlı farklı yüksek frekans çeviriciler mevcuttur.

Belirtilmiş güçlerin transferi için coax kablo
Coax kablo

TRUMPF Hüttinger, 50 Ohm sistemlerde kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmış, yüksek frekans güç transferine yönelik bir coax kablo sunar.

Jeneratör ve Matchbox: Birbiriyle mükemmel uyumlu bir sistem

Birbirleriyle mükemmel uyumlu: Jeneratör ve Matchbox

Plazma prosesleri, elektrik beslemesinin jeneratör ile sürekli olarak revize edilmesi gereken karmaşık, değişken bir yük gibi davranır. Bu özellikler, Matchbox adı verilen ve optimum 50 Ohm empedans değerindeki hassas ayarın her zaman garanti edilmesini sağlayan aktif uyarlama şebekeleriyle sağlanır. Bu sayede, birbirleriyle mükemmel bir uyum içinde olan TRUMPF RF sistem çözümü ortaya çıkmıştır. EtherCAT gibi çeşitli arabirimler aracılığıyla, jeneratörü ve Matchbox'ı mevcut proses ortamınıza son derece kolayca entegre edebilirsiniz ve SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matcbox bağlantısı ile ideal sistem çözümüne ulaşabilirsiniz.

Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.

Dipnotlar
  • Soğutma suyu sıcaklığı, yoğuşmayı önlemek için mekan sıcaklığının yoğuşma noktasını aşmalıdır.

İlginizi çekebilecek diğer konular

İletişim

Satış
Faks +90 216 570 4510
E-posta

İndirebileceğiniz dosyalar

TruPlasma RF 3000 Serisi broşürü
TruPlasma RF 3000 Serisi broşürü
pdf - 1 MB
TruPlasma RF Sistemi broşürü
pdf - 6 MB
Servis ve iletişim

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Turkey . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Turkey
United States

Or select a country or region.