Bu Web sitesini sunmak için çerezlerden yararlanıyoruz. Bu Web sitesini, çerez ayarlarını değiştirmeden kullanmaya devam ederseniz, çerezlerin kullanımına onay veriyorsunuz demektir.
VHF Generator 3000 Serisi
VHF Generator 3000 Serisi
Plazma uyarımlar
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF 3000 Serisi

Her ihtiyacı karşılar

Yenilikçi, modüler, ölçeklenebilir: Yeni TRUMPF Hüttinger jeneratör platformu

TruPlasma VHF 3000 Serisi jeneratörler, en yüksek yoğunluklara olanak sağlayan ve en zorlu proses gerekliliklerini bile karşılayan yenilikçi bir platform konseptini temel alır. Tamamen su soğutmalı modüler yapı, çıkış gücünün 80 kW seviyesine kadar ölçeklenebilmesine olanak sağlar. Kompakt VHF jeneratörler aynı zamanda yüksek verimlilikleri ve sağlam tasarımlarıyla da ön plana çıkar.

Hızlı ve kesin sonuçlu isteğe bağlı pals biçimlendirme

Mevcut Single ve Multi-Level Pulsing sistemlerine ek olarak bu yöntem en iyi plazma prosesi kontrolü sağlar.

Minimum rampa süresi < 150 ns

Bu sayede jeneratör ateşleme davranışı esnek şekilde kumanda edilebilir.

Akıllı otomatik frekans ayarı

Jeneratör ve Matchbox arasında ideal uyum oluşması için otomatik frekans uygunlaştırma.

Kolay ve güvenilir proses kontrolü

Yüksek hassasiyetli dijital frekans modülasyonu sayesinde tekrarlanabilir ve mükemmel proses sonuçları.

Kablo uzunluğundan bağımsız

Proses değişimlerinde artık HF kablosunda uzunluk ayarı yapmaya gerek yoktur, bu nedenle hazırlık süreleri de daha kısadır.

Sağlam tasarım

CombineLine teknolojisi sayesinde, hatalı ayar durumunda bile jeneratör güvenli şekilde çalışmaya devam eder.

TruPlasma VHF 3000 Serisi, tipik olarak solar hücre üretiminde kullanılır

Solar hücre oluşturma

Fotovoltaik alanında, uygulamaya özel proses enerjisine yönelik sayısız uygulama alanı mevcuttur. Burada malzeme uygulama ve sıyırma için çeşitli plazma prosesleri kullanılır, örn. püskürtme prosesleri, PECVD ve dağlama prosesleri. TruPlasma VHF 3000 Serisi jeneratörler, ilgili prosese en uygun şekilde uyarlanabilir ve hızlı ark yönetimi, plazmanın dengeli şekilde yönetilebilmesine olanak sağlar. Böylece mükemmel proses sonuçlarının elde edilmesi ve yüksek verimliliğin sağlanması garanti edilir.

Dağlama ve kaplama prosesleri için idealdir

Yarı iletken üretimi

Yarı iletkenlerin üretiminde, kuru dağlama ile malzeme sıyırma proseslerinden saf silisyum üretimindeki bölgesel çekmeye kadar çeşitli plazma prosesleri kullanılır. TruPlasma VHF 3000 Serisi jeneratörler, ilgili prosese göre uyarlanmış, dengeli ve optimal bir elektrik beslemesinin elde edilmesini sağlar, böylece tekrarlanabilir nitelikte mükemmel sonuçlar elde edilir.

Düz ekranları kaplamak için birinci sınıf MF elektrik beslemesi

Düz ekranların kaplanması için idealdir

TruPlasma VHF 3000 Serisi radyo frekansı jeneratörleri RIE, ALD, PECVD ve RF saçtırma gibi plazma işlemleri için ideal bir tercihtir. Bu proses temel olarak yarı iletken yapı elemanlarının ve mikromekanik sistemlerin (MEMS) üretilmesinde ve düz ekranların ve solar hücrelerin kaplanmasında kullanılır.

- / -
TruPlasma VHF 3005
RF çıkışı  
Çıkış gücü 5 kW
Nominal güç 5 kW
Nominal yük empedansı 50 Ω
Çıkış frekansı 40,68 MHz
Şebeke bağlantı verileri  
Şebeke gerilimi 200 - 480 V
Şebeke frekansı 50-60 Hz
Şebeke giriş gücü 18 kVA
Güç faktörü 0,95
İletişim arabirimleri  
Sync arabirimler Evet
Analog/dijital Evet
RS 232 / RS 485 Evet
PROFIBUS Evet
EtherCAT Evet
DeviceNet Evet
Gövde  
Ağırlık 55 kg
Koruma sınıfı IP 30
Soğutucu talepleri  
Maks. su basıncı 7 bar
Min. basınç farkı 2 bar
Min. akış miktarı 8 l/dak
Soğutma maddesi sıcaklığı 5 °C - 35 °C 1
Genel  
Toplam etki derecesi 75 %
Sertifikalar / Standartlar Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
Çevre şartları  
Dış sıcaklık 5 °C - 40 °C
Hava nem oranı 5 % - 85 %
Barometrik basınç 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Teknik veri sayfası

Tüm ürün çeşitlerinin teknik verilerini indirebilirsiniz.

TruPlasma VHF 3000 Serisi Combine-line teknolojisi

Prosesle esnek uyum

TruPlasma VHF 3000 Serisi modüler platform konsepti, çıkış gücünün 80 kW seviyesine kadar ölçeklenebilmesine olanak sağlar. Uygulanan CombineLine teknolojisi sayesinde, hatalı ayar durumunda bile jeneratör son derece sağlam çalışmaya devam eder. Geniş frekans aralığı, esnek şebeke gerilimi ve kablo uzunluğu, farklı uygulamalara ve kullanım alanlarına esnek şekilde uyarlanabilme olanağı sunar.

Paralel salınımlı devreler için radyo frekansı jeneratörü

En verimli ve en ekonomik

TruPlasma VHF 3000 Serisi radyo frekansı jeneratörleri, tamamen en modern yarı iletken teknolojisi kullanılarak LDMOS güç transistörleri ile yapılandırılmıştır. Yüksek entegrasyonlu düzlemsel yapı teknolojisi, en yüksek yoğunlukların ve aynı zamanda en yüksek enerji verimliliğinin elde edilmesine ve dolayısıyla soğutma gücünün düşürülmesine olanak sağlar. Ayrıca bu ürün ailesi, bu frekans aralığında daha önce hiç olmadığı kadar ekonomik şekilde sunulan çözümlerden oluşur ve piyasa standartlarındaki işletme giderlerini düşürür.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPort, RF sinyalini doğrudan Matchbox girişinde ve çıkışında ölçerek kapalı kontrol sistemi sağlar. RF jeneratörüne tüm ölçüm değerleri sunulur. Bu şekilde proses parametreleri daha iyi denetlenebilir, Matchbox korunur ve erken ark algılaması sağlanabilir. Komple RF sistemi aynı zamanda tek bir jeneratör arabiriminden kumanda edilebilir.

Farklı opsiyonlar sayesinde, VHF jeneratörünüzü uygulamanıza en uygun şekilde uyarlayabilirsiniz.

Akıllı otomatik frekans ayarı

Patentli Auto Freuquency Tuning sistemi, eşzamanlı ve hızlı frekans uygunlaştırması sağlayarak jeneratör ve Matchbox arasında ideal uyum oluşturur. Bu patentli teknik sayesinde, lokal minimum sonuçlar artık engel olmaktan çıkıyor. RF sistemi en iyi sonuca ulaştırarak sürdürülebilir ve ideal üretim sonuçları sağlamaktadır.

Ark yönetimi

Kapsamlı ark yönetimi, en iyi plazma prosesi kontrolü için ideal modüldür. Hedef odaklı ark algılaması, maksimum verimlilik sağlar ve aynı zamanda ürünü ve sisteminizi korur.

Esnek pals oluşturma

Esnek pals oluşturma: Çıkış sinyalinin biçimi, ilgili proses gerekliliklerine göre istenen şekilde uyarlanabilir.

Kullanıcı dostu TruControl Power yazılımı

TruControl Power

Kullanıcı dostu kontrol yazılımı TruControl Power, radyo frekansı jeneratörünün veya TRUMPF RF sisteminin proses devam ederken konforlu şekilde işletmeye alınmasına ve güvenli şekilde denetlenmesine olanak sağlanır.

VHF jeneratörü, uygun sistem bileşenlerini seçerek uygulamanızdaki şartlara göre optimum şekilde uyarlayabilirsiniz.

RF sistem çözümü: En yüksek proses istikrarı için Matchbox
Matchbox

TruPlasma Match uygunlaştırma devreleri, jeneratörden plazma deşarjına optimum bir güç transferinin gerçekleştirilmesini sağlar. Matchbox tek başına veya SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matchbox bağlantısı üzerinden çalıştırılabilir.

TruPlasma VHF Serisi aksesuar seti
Aksesuar seti

Set içinde; su bağlantıları, HARTING AC besleme seti, Interlock fonksiyonu için Jumper, BNC female üzeri LEMO EPL adaptörü (Clock and Pulse sync fişi için) yer alır.

Kritik senkron plazma proseslerinin stabilizasyonu için ana osilatör
Ana osilatörler

Ana osilatörler sayesinde, kritik önemdeki senkron plazma proseslerini stabilize ve optimize edebilirsiniz. Entegre dijital frekans ve faz birleştirici, yüksek frekans ve faz stabilitesini sağlar ve faz sisteminin çok küçük adım genişlikleriyle ayarlanabilmesine olanak sağlar. 13,56 MHz frekans değeri ve farklı frekans kombinasyonları için seçebilecek farklı ana osilatör modelleri mevcuttur.

VHF Generator 3000 Serisi
Yüksek frekans çevirici

Yüksek frekans çevirici, bir radyo frekansı jeneratörünün farklı plazma proses istasyonlarında, örneğin elektrik beslemesi, sıralı prosesler veya farklı besleme noktalı sistemler için çoklu kullanıma olanak verir. İki güç sınıfında olan ve 2, 3 veya 4 çıkışlı farklı yüksek frekans çeviriciler mevcuttur.

Belirtilmiş güçlerin transferi için coax kablo
Coax kablo

TRUMPF Hüttinger, 50 Ohm sistemlerde kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmış, yüksek frekans güç transferine yönelik bir coax kablo sunar.

Jeneratör ve Matchbox: Birbiriyle mükemmel uyumlu bir sistem

Birbirleriyle mükemmel uyumlu: TRUMPF RF sistemi

Plazma prosesleri, elektrik beslemesinin jeneratör ile sürekli olarak revize edilmesi gereken karmaşık, değişken bir yük gibi davranır. Bu özellikler, Matchbox adı verilen ve optimum 50 Ohm empedans değerindeki hassas ayarın her zaman garanti edilmesini sağlayan aktif uyarlama şebekeleriyle sağlanır. Bu sayede, birbirleriyle mükemmel bir uyum içinde olan TRUMPF RF sistem çözümü ortaya çıkmıştır. EtherCAT gibi çeşitli arabirimler aracılığıyla, jeneratörü ve Matchbox'ı mevcut proses ortamınıza son derece kolayca entegre edebilirsiniz ve SystemPort adı verilen akıllı jeneratör Matcbox bağlantısı ile ideal sistem çözümüne ulaşabilirsiniz.

Ülkeye göre bu ürün yelpazesinde ve bu bilgilerde farklılıklar mevcut olabilir. Teknik, donanım, fiyat ve aksesuar seçeneklerinde değişiklik yapma hakkı saklıdır. Ürünün ülkenizde mevcut olup olmadığını öğrenmek için lütfen irtibat yetkiliniz ile yerinde görüşün.

Dipnotlar
  • Soğutma suyu sıcaklığı, yoğuşmayı önlemek için mekan sıcaklığının yoğuşma noktasını aşmalıdır.

İlginizi çekebilecek diğer konular

Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
Plazma prosesiniz için elektrik beslemeleri

TRUMPF Hüttinger plazma jeneratörleri, geniş güç ve frekans yelpazesine sahiptir. Ürünlerimiz hakkında buradan bilgi alabilirsiniz.

RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
Gerçek zamanlı ölçüm sayesinde akıllı eşleştirme

TruPlasma Match 1000 Serisi (G2/13) makinaların radyo frekansı jeneratörlerimiz ile ideal bir takım oluşturan yeni Matchbox'ları, bütünlüklü bir çözüm olan TRUMPF RF sistemine destek sunar.

Services_Electronics_Training
Ayrıcalıklarımızdan biri de müşteriye özel eğitimlerimiz

Katılımcıların gereksinimleri dikkate alınarak oluşturulan içeriklerin yer aldığı temel bilgiler, deneyimli servis teknisyenlerimiz tarafından sunulur.

İletişim

Satış
Faks +90 216 570 4510
E-posta

İndirebileceğiniz dosyalar

TruPlasma RF Sistemi broşürü
TruPlasma RF Sistemi broşürü
pdf - 6 MB
TruPlasma VHF 3000 Serisi broşürü
pdf - 1 MB
Whitepaper LDMOS
pdf - 3 MB
Whitepaper Precision in Processing
pdf - 2 MB
Servis ve iletişim