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TruPlasma Bipolar 4040 双极电源
TruPlasma Bipolar 4040 双极电源
等离子体激发
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列

在多种可变的波形下输出最高功率

双极脉冲技术满足最严苛工艺要求

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的进程供电是专门针对借助 PVD(物理气相沉积)、PECVD(等离子体增强化学气相沉积)和反应式溅射进程的等离子辅助涂层而研发的。凭借其灵活可塑的输出信号和精湛的电弧管理使最新款发生器的双极脉冲发射器具有广泛用途。无论是半导体和太阳能电池制造还是建筑玻璃涂层,任何情况下都可期待高效涂层质量和涂覆率。

极低电弧能量

全数字化电弧管理确保出色的涂层质量和生产效率。

可调波形

通过输出信号变化轻松适配不同工艺。

一台发生器,多种用途

直流电、被动脉冲式直流电和双极脉冲:得益于多种调整选项可节约成本。

集成的水冷

无需外部部件,因此空间需求极低。

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的典型应用领域:耐磨涂层制造

顶级供电系统

典型应用领域为半导体及光伏生产、建筑玻璃涂层以及质量顶尖的装饰性耐磨涂层制造。此外可特别用于 PVD (物理气相沉积)和 PECVD (等离子体增强化学气相沉积)。

输出端          
标称功率 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
最大输出电流 25 A eff 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff
最高输出电压 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff
标称工作频率 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
光弧参数          
最大光弧比率 20000 1 次/秒 20000 1 次/秒 20000 1 次/秒 20000 1 次/秒 20000 1 次/秒
光弧能量 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW
点火电压          
附带助燃 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
标称连接数据          
电源供应器电压 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
电源频率 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
功率系数 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
通信接口          
模拟/数字
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
Ethercat
-
DeviceNet
-
外壳          
宽度 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
高度 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
深度 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
重量 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
防护等级 IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
冷却要求          
冷却介质
最高水压 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
最小压差 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
最小流量 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
冷却介质温度 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
通用          
总效率 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
周围条件          
外部温度 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
空气湿度 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
气压计压力 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
技术数据页

所有产品款型的技术数据以供下载。

电弧管理

完美涂层、提高生产效率

具有极少电弧能量的全数字化电弧管理实现较高的涂层质量和沉积速率。即使在要求严苛的反应工艺中,TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列仍始终确保稳定的工艺电源,从而保障稳定的等离子体状态。

通过灵活选择输出信号可多样化使用

灵活性更高、成本更低

凭借可调波形,TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列电源能够相当轻松地适配不同工艺要求。得益于输出信号的灵活选择(直流电、被动脉冲式直流电或双极脉冲),可多样化使用该电源,因此有助于降低总体运行成本 (TCO)。

TruPlasma Bipolar 4060 双极电源

全部集成于一个外壳之中

由于水冷装置完整集成于不受环境影响的发生器壳体内,因此无需外部部件。

易于操作的 PVD Power 软件

PVD Power

PVD Power 多语种软件易于操作,提供多种操作、配置及诊断选项,以此优化工艺质量并高效排除故障:显示所有相关工艺参数的实际值以及警告和报警消息,由操作人员规定目标值并以较高的时间分辨率记录重要运行参数并实现可视化(示波器功能)。

通过选择不同的系统元件,让您能够以最优方式使双极脉冲电源适配您的系统环境。

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列电源的后视图
电源线

提供多种电缆和插头规格,可用于不同的连接标准。

受国别影响,此产品分类与此说明 可能有所不同。保留技术、装备、价格与配件范围方面的更改权利。 请与您当地的联系人取得联系,以便了解您所在国家 是否可提供该产品。

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联系方式

Klaus Nock
等离子体销售部
传真 +49 761 89711150
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