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射频等离子体电源 | TRUMPF

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射频等离子体电源工艺图

高频等离子体电源

通快霍廷格 TruPlasma 高频发生器为所有等离子体激发电源提供最高流程稳定性。因此，该高频工艺尤其适合注重极高精确度和可重复性的流程。在能效和耐用性方面，该款高频发生器同样是市场中的佼佼者——因此，它是高要求应用的首选，例如制造半导体元件、微型芯片、太阳能电池或纯平显示屏。

TruPlasma RF Air 1000 系列

气冷型高频电源 TruPlasma RF 1001 Air 可提供高达 1000 瓦特的高频能量，其精度高、可再现且分辨率极为精细（以 100 mW 递增），因而适用于丰富多样的等离子体应用。无论是半导体制造、太阳能电池制造还是显示屏制造——得益于先进的工艺流程功能，已获专利的 TRUMPF 霍廷格电子技术可在各个领域确保最高可用性和最佳工艺结果。

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TruPlasma RF 3006 高频电源

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列是最新一代的高频电源。得益于已获专利的 CombineLine 耦合技术或所有加工过程参数的实时测量等创新功能，即使在要求严苛的等离子体工艺中仍可确保可靠供电——这是可再现结果和高生产效率的最佳前提条件。

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TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006 高频电源

TruPlasma RF 3000 系列

性能强劲的TruPlasma RF 3000 系列高频电源因极其高效和高工艺流程稳定性而出众。因此，其理想适用于高要求等离子体工艺，例如应用于纯平显示屏、太阳能电池或半导体制造。用于阻抗适配的阻抗匹配器与电源准确协调，随时确保从电源至等离子体的最佳稳定功率传输。

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VHF 3000 系列电源

TruPlasma VHF 3000 系列

确保最高流程功率：TruPlasma VHF 3000 系列电源基于创新型平台理念，甚至满足极为严苛的工艺流程要求。VHF 电源的模块化纯水冷结构可将输出功率最高扩展至 80 kW，同时确保所用空间最小！

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射频系统解决方案：实现极高工艺稳定性的阻抗匹配器

TruPlasma Match 1000 (G2/13) 系列

精确适配高频电源的输出阻抗，对于最佳控制等离子体工艺流程至关重要。这项工作由 TruPlasma Match 1000 (G2/13) 系列阻抗匹配器完成，其可作为电源与工艺流程间的链节。以此种方式生成用于工艺流程电源的整体解决方案——通快 RF 系统。

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联系方式

Nikolas Hunzinger

等离子体销售部

电话 +49 761 89712163

传真 +49 761 89711150

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