
高频等离子体电源
通快霍廷格 TruPlasma 高频发生器为所有等离子体激发电源提供最高流程稳定性。因此,该高频工艺尤其适合注重极高精确度和可重复性的流程。在能效和耐用性方面,该款高频发生器同样是市场中的佼佼者——因此,它是高要求应用的首选,例如制造半导体元件、微型芯片、太阳能电池或纯平显示屏。
通快霍廷格 TruPlasma 高频发生器为所有等离子体激发电源提供最高流程稳定性。因此,该高频工艺尤其适合注重极高精确度和可重复性的流程。在能效和耐用性方面,该款高频发生器同样是市场中的佼佼者——因此,它是高要求应用的首选,例如制造半导体元件、微型芯片、太阳能电池或纯平显示屏。