菜单

关闭

主菜单

概览产品产品

概览企业企业

概览杂志杂志

概览 MyTRUMPF MyTRUMPF

中国 ZH

关闭

机床与系统
激光器
VCSEL 解决方案 & 光电二极管
功率电子装置
电动工具
智能工厂
软件
服务

概览产品

通快集团
责任
全球新聞稿
职业发展

概览企业

概览 MyTRUMPF

概览机床与系统

概览激光器

概览 VCSEL 解决方案 & 光电二极管

概览功率电子装置

概览电动工具

概览智能工厂

概览软件

概览服务

概览通快集团

概览责任

概览全球新聞稿

概览职业发展

关闭

国家/地区及语言选择

保存设置

射频等离子体电源工艺图

高频等离子体电源

通快霍廷格 TruPlasma 高频发生器为所有等离子体激发电源提供最高流程稳定性。因此，该高频工艺尤其适合注重极高精确度和可重复性的流程。在能效和耐用性方面，该款高频发生器同样是市场中的佼佼者——因此，它是高要求应用的首选，例如制造半导体元件、微型芯片、太阳能电池或纯平显示屏。

TruPlasma RF Air 1000 系列

气冷型高频电源 TruPlasma RF 1001 Air 可提供高达 1000 瓦特的高频能量，其精度高、可再现且分辨率极为精细（以 100 mW 递增），因而适用于丰富多样的等离子体应用。无论是半导体制造、太阳能电池制造还是显示屏制造——得益于先进的工艺流程功能，已获专利的 TRUMPF 霍廷格电子技术可在各个领域确保最高可用性和最佳工艺结果。

进入产品页

TruPlasma RF 3006 高频电源

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列是最新一代的高频电源。得益于已获专利的 CombineLine 耦合技术或所有加工过程参数的实时测量等创新功能，即使在要求严苛的等离子体工艺中仍可确保可靠供电——这是可再现结果和高生产效率的最佳前提条件。

进入产品页

TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006 高频电源

TruPlasma RF 3000 系列

性能强劲的TruPlasma RF 3000 系列高频电源因极其高效和高工艺流程稳定性而出众。因此，其理想适用于高要求等离子体工艺，例如应用于纯平显示屏、太阳能电池或半导体制造。用于阻抗适配的阻抗匹配器与电源准确协调，随时确保从电源至等离子体的最佳稳定功率传输。

进入产品页

VHF 3000 系列电源

TruPlasma VHF 3000 系列

确保最高流程功率：TruPlasma VHF 3000 系列电源基于创新型平台理念，甚至满足极为严苛的工艺流程要求。VHF 电源的模块化纯水冷结构可将输出功率最高扩展至 80 kW，同时确保所用空间最小！

进入产品页

射频系统解决方案：实现极高工艺稳定性的阻抗匹配器

TruPlasma Match 1000 (G2/13) 系列

精确适配高频电源的输出阻抗，对于最佳控制等离子体工艺流程至关重要。这项工作由 TruPlasma Match 1000 (G2/13) 系列阻抗匹配器完成，其可作为电源与工艺流程间的链节。以此种方式生成用于工艺流程电源的整体解决方案——通快 RF 系统。

进入产品页

联系方式

通快霍廷格电子

电话 +86 21 6171 9160

电子邮件

服务

技术服务部

服务 & 联系人

Close

Country/region and language selection

Please take note of

You have selected China. Based on your configuration, United States might be more suitable. Would you like to keep or change the selection?

China

United States

Remember selection

Or, select a country or a region.

Remember selection