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晶体外延生长 | TRUMPF

晶体外延生长

最纯净的逐层生长

取向附生

晶体外延生长是在相同材料的单晶衬底上生成单晶层(如单晶硅层)的过程。衬底位于由石墨制成的感应加热基座上——在此对温度均匀性提出了非常高的要求。晶体外延生长主要用于生产 LED。通快霍廷格电子中频发生器可靠而稳定地提供所需工艺电源。

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